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Title:
薄膜トランジスタ、アレイ基板及び表示装置、並びに該薄膜トランジスタの製造方法、検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019503579
Kind Code:
A
Abstract:
薄膜トランジスタ、アレイ基板及び表示装置、並びに該薄膜トランジスタの製造方法、検査方法を提供する。該薄膜トランジスタ(100)は半導体層(120)、少なくとも3つのソース/ドレイン電極(130)及びゲート電極(110)を含んでおり、前記半導体層(120)は非ドープ部(129)、及び前記非ドープ部(129)に接続されるとともに連続してなる少なくとも3つのドープ部(120a)を含み、前記ドープ部(120a)は互いに間隔を開けて設置されかつ前記非ドープ部(129)の周辺に分布し、前記ソース/ドレイン電極(130)は互いに間隔を開けて設置されかつ前記ドープ部(129)の各々に電気的に接続され、前記ゲート電極(110)は前記半導体層(120)に垂直な方向において前記非ドープ部(129)と重なるとともに少なくとも前記非ドープ部と前記ドープ部との境界部まで延びる。該薄膜トランジスタ(100)は、それに含まれたサブ薄膜トランジスタの特性に関する比較結果の精度を向上できる。

Inventors:
石 磊
Application Number:
JP2017532085A
Publication Date:
February 07, 2019
Filing Date:
November 08, 2016
Export Citation:
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Assignee:
BOE TECHNOLOGY GROUP CO.,LTD.
International Classes:
H01L29/786; G02F1/1368; G09F9/30; H01L21/336
Domestic Patent References:
JP2003188389A2003-07-04
JPH0492475A1992-03-25
JPH0225067A1990-01-26
JPH11167123A1999-06-22
JP2003302917A2003-10-24
JPH0756192A1995-03-03
Foreign References:
WO2005074578A22005-08-18
Attorney, Agent or Firm:
村山 靖彦
実広 信哉