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Title:
レーザスクライビング装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020506067
Kind Code:
A
Abstract:
本発明はレーザスクライビング装置に関し、レーザビームを出力するレーザ光源と、前記レーザビームを第1レーザビーム及び第2レーザビームに分割するスプリッタと、前記第1レーザビームまたは第2レーザビーム経路上で発散角を調節するビームエキスパンダテレスコープと、前記第1レーザビーム及び第2レーザビームを結合するビームコンバイナ、及び前記ビームコンバイナによって結合された第1レーザビーム及び第2レーザビームを集光する集光レンズを含む。この時、前記第1レーザビーム及び第2レーザビームの焦点距離が異なることを特徴とする。【選択図】図1

Inventors:
ユ・ビョンソ
キム・ハクヨン
キム・グァンユ
シン・ドンウ
ソン・ソンホ
キム・ジャンヒョン
Application Number:
JP2019563997A
Publication Date:
February 27, 2020
Filing Date:
February 20, 2018
Export Citation:
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Assignee:
QMC. INC.
International Classes:
B23K26/064; B23K26/00; B23K26/062; B23K26/067
Attorney, Agent or Firm:
金高 寿裕
小磯 貴子