Title:
レーザスクライビング装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020506067
Kind Code:
A
Abstract:
本発明はレーザスクライビング装置に関し、レーザビームを出力するレーザ光源と、前記レーザビームを第１レーザビーム及び第２レーザビームに分割するスプリッタと、前記第１レーザビームまたは第２レーザビーム経路上で発散角を調節するビームエキスパンダテレスコープと、前記第１レーザビーム及び第２レーザビームを結合するビームコンバイナ、及び前記ビームコンバイナによって結合された第１レーザビーム及び第２レーザビームを集光する集光レンズを含む。この時、前記第１レーザビーム及び第２レーザビームの焦点距離が異なることを特徴とする。【選択図】図１
Inventors:
Yoo Byung Seo
Kim Hak Young
Kim Gwang Yu
Shin Dong Woo
Song Sung Ho
Kim Jang Hyun
Kim Hak Young
Kim Gwang Yu
Shin Dong Woo
Song Sung Ho
Kim Jang Hyun
Application Number:
JP2019563997A
Publication Date:
February 27, 2020
Filing Date:
February 20, 2018
Export Citation:
Assignee:
QMC. INC.
International Classes:
B23K26/064; B23K26/00; B23K26/062; B23K26/067
Domestic Patent References:
| JP2014028388A | 2014-02-13 | |||
| JP2011025304A | 2011-02-10 | |||
| JP2013071135A | 2013-04-22 | |||
| JP2015057296A | 2015-03-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Toshihiro Kindaka
Takako Koiso
Takako Koiso