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Title:
研削方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021150347
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】リング状補強部の裏面側に生じる欠けの量を低減する研削方法を提供する。【解決手段】研削方法において、チャックテーブル6の直径よりも小さな直径を有し、且つ、チャックテーブルの上方に配置された研削ホイール18をスピンドル14eの周りで回転させ、且つ、研削ホイールのうちチャックテーブルの外周部側の上方に位置する第1部分の底部がチャックテーブルの中心部側の上方に位置する第2部分の底部よりも高くなる様に、出力軸8に対してスピンドル14eを傾けた状態で、研削ホイール18とチャックテーブル6とが出力軸に平行な方向に沿って互いに近づく様に両者を相対的に移動させることにより、被加工物11の裏面側の中央部を研削して、円盤状の凹部11cを裏面側に形成する傾斜研削ステップと、スピンドルが出力軸と平行になる様にスピンドルの傾きを徐々に変化させながら裏面側を研削する傾き変化及び研削ステップと、を備える。【選択図】図4

Inventors:
Suzuki Kaichi
Application Number:
JP2020045924A
Publication Date:
September 27, 2021
Filing Date:
March 17, 2020
Export Citation:
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Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B24B5/06; B24B7/04; B24B41/06
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Kasahara Takahiro
Ei Okamoto
Takayuki Okano