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Title:
高スループットのマルチ電子ビームシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024517545
Kind Code:
A
Abstract:
複数の電子ビームレットが、1本の電子ビームから分割される。電子ビームは、加速管と、ビーム制限アパーチャと、電子ビーム源と加速管の間に配置されたアノードと、ビーム制限アパーチャの下流の集束レンズと、加速管の下流のマイクロアパーチャアレイとを通過する。マイクロアパーチャアレイは、電子ビームからビームレットを生成する。電子ビームは、発散照射ビームからテレセントリック照射ビームに集束させることができる。

Inventors:
Jian Shin Rong
Application Number:
JP2023554311A
Publication Date:
April 23, 2024
Filing Date:
April 29, 2022
Export Citation:
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Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
H01J37/09; H01J37/073; H01J37/12; H01J37/14; H01J37/28
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office