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Title:
ポリシリコン・シードを有するトランジスタ及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4106231
Kind Code:
B2
Inventors:
ファリボルズ・アサデラギー
ツー・チァン・チュン
ケイ・ポール・ミラー
エドワード・ジェイ・ノワク
ガーヴァム・ジー・シャヒディー
Application Number:
JP2002123022A
Publication Date:
June 25, 2008
Filing Date:
April 24, 2002
Export Citation:
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Assignee:
INTERNATIONAL BUSINESS MASCHINES CORPORATION
International Classes:
H01L21/28; H01L29/786; H01L21/336; H01L29/41; H01L29/78
Domestic Patent References:
JP3077378A
JP2228041A
JP10004198A
JP6045358A
Attorney, Agent or Firm:
坂口 博
市位 嘉宏



 
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