保持装置及び保持装置を装着した処理装置 - 東京エレクトロン株式会社

Title:

保持装置及び保持装置を装着した処理装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4173212

Kind Code:

B2

Inventors:

Junichi Arami
Hiroshi Henan
Endo Sho
Suzuki Nobuyuki

Application Number:

JP27544297A

Publication Date:

October 29, 2008

Filing Date:

October 08, 1997

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社

International Classes:

B23Q3/15; H01L21/683; C23C16/46; H01L21/203; H01L21/205; H01L21/302; H01L21/3065; H01L21/68

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Kimura Mitsuru

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