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Title:
セラミック箔にギザギザをつけたプレートとガスアシストとを有する複合型ヒータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4633264
Kind Code:
B2
Inventors:
モスキーニ ローレンス アール.
Application Number:
JP2000607787A
Publication Date:
February 23, 2011
Filing Date:
February 18, 2000
Export Citation:
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Assignee:
ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
International Classes:
H01L21/027; H05B3/86; F27D11/02; H01L21/00; H01L21/02; H05B3/00; H05B3/10; H05B3/12; H05B3/20; H05B3/68; H05B3/74
Domestic Patent References:
JP9256153A
JP7153706A
JP11506821A
JP2002505795A
Attorney, Agent or Firm:
藤村 元彦



 
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