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Patent Searching and Data


Title:
ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4668042
Kind Code:
B2
Inventors:
廣崎 貴子
安藤 友之
北條 卓馬
Application Number:
JP2005336825A
Publication Date:
April 13, 2011
Filing Date:
November 22, 2005
Export Citation:
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Assignee:
東京応化工業株式会社
International Classes:
G03F7/039; C08F212/14; C08F220/22; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2003277443A
JP2003002925A
JP2003302754A
JP2004149754A
JP2002091001A
JP2002220417A
JP2004045448A
JP2004217533A
JP2004271844A
JP2004333548A
Attorney, Agent or Firm:
棚井 澄雄
志賀 正武
青山 正和
鈴木 三義
柳井 則子