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Title:
薄膜の製造装置および製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4806109
Kind Code:
B2
Inventors:
本田 和義
柳 智文
篠川 泰治
末次 大輔
岡崎 禎之
Application Number:
JP2011508236A
Publication Date:
November 02, 2011
Filing Date:
April 02, 2010
Export Citation:
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Assignee:
パナソニック株式会社
International Classes:
C23C14/24; C23C14/14; C23C14/30; F27B14/04; F27B14/10; F27B14/14; F27B14/18; F27D11/08
Domestic Patent References:
JP8335316A
JP7041938A
JP2008195979A
JP7097680A
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人 有古特許事務所



 
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