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Title:
マイクロ波加熱処理装置および処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5490087
Kind Code:
B2
Inventors:
池田 太郎
田中 澄
Application Number:
JP2011289025A
Publication Date:
May 14, 2014
Filing Date:
December 28, 2011
Export Citation:
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Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H05B6/64; F27D11/12; H05B6/72
Domestic Patent References:
JP11214143A
JP10172751A
JP2011066254A
JP2003187957A
JP2008275178A
JP2003217818A
JP2005268624A
Attorney, Agent or Firm:
渡邊 和浩
星宮 勝美
城澤 達哉