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Patent Searching and Data


Title:
リソグラフィで使用される自己組織化可能な重合体の秩序化された層を提供する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5802740
Kind Code:
B2
More Like This:
Inventors:
ピータース,エミール
ウイスター,サンダー,フレデリック
コール,ロエロフ
Application Number:
JP2013504173A
Publication Date:
November 04, 2015
Filing Date:
January 19, 2011
Export Citation:
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Assignee:
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
International Classes:
H01L21/027; G03F7/40
Domestic Patent References:
JP2008036491A
JP2008096596A
JP2009042760A
JP2008520450A
JP2005502917A
Attorney, Agent or Firm:
稲葉 良幸
大貫 敏史