Title:
静電容量式センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2002044649
Kind Code:
A1
Abstract:
基板（２０）上に容量素子用電極（Ｅ１〜Ｅ５）および接地された基準電極（Ｅ０）が形成されている。これらの電極（Ｅ０〜Ｅ５）に対向する位置には、外部から操作される検知部材（３０）がＺ軸方向に移動するのにともなってＺ軸方向に変位する変位電極（４０）が配置されている。変位電極（４０）は、容量素子用電極（Ｅ１〜Ｅ５）および基準電極（Ｅ０）との間で容量素子（Ｃ０〜Ｃ５）をそれぞれ構成している。各容量素子（Ｃ１〜Ｃ５）は外部から入力された信号に対してそれぞれ容量素子（Ｃ０）と直列に接続された関係となり、検知部材（３０）が移動したときの容量素子（Ｃ１〜Ｃ５）の静電容量値の変化が検出されることにより、検知部材（３０）の変位が認識される。
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Inventors:
森本 英夫
Application Number:
JP2002546152A
Publication Date:
April 02, 2004
Filing Date:
December 27, 2000
Export Citation:
Assignee:
ニッタ株式会社
International Classes:
G01L5/16; G01D5/12; G01L1/14