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Title:
顕微鏡及び試料観察方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2004083930
Kind Code:
A1
Abstract:
観察対象の試料となる半導体デバイスＳに対し、半導体デバイスＳの観察を行うための画像取得部１と、対物レンズ２０を含む光学系２とを設置する。また、半導体デバイスＳの画像を拡大するための固浸レンズ（ＳＩＬ）３を、半導体デバイスＳから対物レンズ２０への光軸を含み、半導体デバイスＳの表面に密着して設置される挿入位置と、光軸を外れた待機位置との間を移動可能に設置する。そして、ＳＩＬ３を挿入した際にＳＩＬ３からの反射光を含む画像を取得し、その画像を参照して、ＳＩＬ駆動部３０によってＳＩＬ３の挿入位置を調整する。これにより、半導体デバイスの微細構造解析などに必要な試料の観察を容易に行うことが可能な半導体検査装置（顕微鏡）、及び半導体検査方法（試料観察方法）が実現される。

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Inventors:
寺田 浩敏
荒田 育男
Application Number:
JP2005503756A
Publication Date:
June 22, 2006
Filing Date:
March 19, 2004
Export Citation:
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Assignee:
浜松ホトニクス株式会社
International Classes:
G02B21/24; G01N21/17; G01N21/88; G01N21/95; G02B21/02; G02B21/36; H01L21/66; G01N21/03
Domestic Patent References:
JP2000121930A2000-04-28
JP2002236087A2002-08-23



 
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