Title:
圧電薄膜デバイス及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2004088840
Kind Code:
A1
Abstract:
振動用空間（２０）を有する基板（１２）と、この基板の上面側に形成された圧電積層構造体（１４）とを有しており、この圧電積層構造体は圧電体膜（１６）とその両面にそれぞれ形成された下部電極（１５）及び上部電極（１７）とを含み、振動用空間（２０）は圧電積層構造体（１４）の少なくとも一部及び絶縁体層（１３）の一部を含んで構成される振動部（２３）の振動を許容するように形成されている圧電薄膜デバイス（１０）。振動用空間（２０）は、基板内に中間面（２５）を形成するように基板（１２）の下面から上面に向けて形成された第１のビアホール（２１）と、上下方向に見て第１のビアホール（２１）の内側に位置するように中間面（２３）から基板の上面に向けて形成された第２のビアホール（２２）とにより構成されている。
More Like This:
| JP2012209540 | CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT |
| JP2001342061 | PIEZOELECTRIC CERAMIC AND PIEZOELECTRIC RESONATOR |
Inventors:
Keigo Nagao
Kosuke Nishimura
Tetsuo Yamada
Otani Osamu
Sakae Matsuzaki
Kosuke Nishimura
Tetsuo Yamada
Otani Osamu
Sakae Matsuzaki
Application Number:
JP2005504238A
Publication Date:
July 06, 2006
Filing Date:
March 30, 2004
Export Citation:
Assignee:
Ube Industries,Ltd.
International Classes:
H03H9/17; H01L41/08; H01L41/09; H01L41/18; H01L41/22; H01L41/316; H03H3/02; H03H9/10; H03H9/56
Attorney, Agent or Firm:
Jyohei Yamashita
Previous Patent: DISPLACEMENT ENLARGING MECHANISM
Next Patent: MICRO FLUID DEVICE, MICROPUMP, MICROPUMP DRIVING-GEAR, AND FLUID TRANSFER METHOD
Next Patent: MICRO FLUID DEVICE, MICROPUMP, MICROPUMP DRIVING-GEAR, AND FLUID TRANSFER METHOD