Title:
感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、酸拡散制御剤及び化合物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017122697
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、第１酸解離性基を含む第１構造単位を有する第１重合体と、感放射線性酸発生体と、下記式（１）で表される化合物とを含有する感放射線性樹脂組成物である。下記式（１）中、ｎは、１又は２である。ｎが１の場合、Ｒ１は水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。ｎが２の場合、Ｒ１は炭素数１〜２０の２価の有機基である。Ｒ２は、水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。Ｅは、下記式（ｉ）で表される基である。Ｒ２とＥとは互いに合わせられ、これらが結合する窒素原子と共に構成される環員数３〜２０の環構造を表してもよい。下記式（ｉ）中、Ｘは、炭素数１〜２０の２価の有機基である。Ｒ３は、酸の作用により解離してスルホ基を生じる第２酸解離性基である。
Inventors:
Natsuko Kinoshita
Katsutoshi Nishikori
Kota Furuichi
Katsutoshi Nishikori
Kota Furuichi
Application Number:
JP2017561143A
Publication Date:
December 06, 2018
Filing Date:
January 11, 2017
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/004; C07C309/14; C07D205/04; C07D211/44; C07D235/08; C07D295/088; C07D295/15; C07D309/06; G03F7/038; G03F7/039; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2011138111A | 2011-07-14 | |||
| JP2009086354A | 2009-04-23 | |||
| JP2014085475A | 2014-05-12 | |||
| JP2014062082A | 2014-04-10 | |||
| JP2015113292A | 2015-06-22 | |||
| JP2006512301A | 2006-04-13 |
Foreign References:
| WO2015179441A2 | 2015-11-26 | |||
| US20090105254A1 | 2009-04-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano
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