Title:
検査装置及び方法、並びにプログラム及び記録媒体
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2021014645
Kind Code:
A1
Abstract:
センサ（２５）が検査対象の第１の方向における異なる位置において、第２の方向に延在する線状部分の外観又は表面形状を検知する。処理回路（３２）が、センサ（２５）での検知結果から、第１の方向における異なる位置において外観又は表面形状を表す表面データを取得し、表面データと第１の参照データ（Ｒａ）及び第２の参照データ（Ｒｂ）との第１及び第２の類似度を算出し、第１及び第２の類似度（ｐ、ｑ）を要素とする座標を算出する。検査対象又は検査対象と同一の外観又は表面形状を有する物の第１の方向における複数の位置について、上記と同様の処理を繰り返すことで座標の群を生成する。注目位置についての座標の、上記の座標の群に対する乖離度を孤立性指標として算出し、孤立性指標に基づいて、異常の有無を判定する。異常の有無の判定の誤りを減らすことができる。
Inventors:
Junji Hori
Daisuke Mizuno
Daisuke Mizuno
Application Number:
JP2021534515A
Publication Date:
December 09, 2021
Filing Date:
July 25, 2019
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Electric Corporation
International Classes:
G01N21/88; G01N21/892
Domestic Patent References:
| JP2007334766A | 2007-12-27 | |||
| JP2005164429A | 2005-06-23 | |||
| JP2008175550A | 2008-07-31 | |||
| JPS60250235A | 1985-12-10 | |||
| JP2016217877A | 2016-12-22 | |||
| JPS61194337A | 1986-08-28 |
Foreign References:
| WO2016157290A1 | 2016-10-06 | |||
| WO2016157289A1 | 2016-10-06 |
Attorney, Agent or Firm:
Youichi Yamagata
Kenkai Sato
Masahiko Shinohara
Minoru Maeda
Kenkai Sato
Masahiko Shinohara
Minoru Maeda