Title:
改善された感度を有するＭＥＭＳマイクロフォンおよびその製造するための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017520193
Kind Code:
A
Abstract:
改善されたマイクロフォンおよびこれを製造する方法が提示され、これらは局所的に異なるエッチング速度を有する犠牲層を用いている。【選択図】 図２２
Inventors:
Rombach, Pirmin Hermann Otto
Application Number:
JP2016575358A
Publication Date:
July 20, 2017
Filing Date:
May 18, 2015
Export Citation:
Assignee:
EPCOS AG
International Classes:
H04R19/04; H04R31/00
Domestic Patent References:
| JP2015502693A | 2015-01-22 | |||
| JP2015502692A | 2015-01-22 | |||
| JP2007295516A | 2007-11-08 |
Attorney, Agent or Firm:
Koji Nagato