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Title:
METHOD AND APPARATUS FOR SUPPLY OF OZONE WATER
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015155083
Kind Code:
A
Abstract:
【解決課題】オゾン発生手段として放電式のオゾン発生手段を用いた場合に、循環系内への硝酸の蓄積を抑制することができるオゾン水供給方法及びそれを実施するためのオゾン水供給装置を提供すること。【解決手段】原料超純水を循環タンクに供給すると共に、ユースポイントで使用されなかった返送オゾン水を該循環タンクに返送しながら、該循環タンク内の被溶解水を、一定の供給量でオゾン溶解手段に供給し、該オゾン溶解手段で該被溶解水にオゾンを溶解させてオゾン溶解水を得、次いで、得られた該オゾン溶解水を、該ユースポイントに供給すること、放電式のオゾン発生手段に、原料酸素ガスとして、窒素ガスの含有量が０．０１体積％以下の酸素ガスを供給し、次いで、得られた該オゾン含有ガスを、該オゾン溶解手段に供給すること、該循環タンクに供給する該原料超純水の供給量を調節すること、該オゾン溶解水中の溶存オゾン濃度を調節すること、を特徴とするオゾン水供給方法。【選択図】図１

Inventors:
HAYASHI YOSHIFUMI
YAMASHITA KOFUKU
YAMANAKA KOJI
Application Number:
JP2014030742A
Publication Date:
August 27, 2015
Filing Date:
February 20, 2014
Export Citation:
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Assignee:
ORGANO KK
International Classes:
C02F1/78; B01F23/70; C01B13/10
Domestic Patent References:
JP2013202451A2013-10-07
JP2001149947A2001-06-05
JP2000014753A2000-01-18
JP2004217512A2004-08-05
JPH11278809A1999-10-12
JP2006295201A2006-10-26
JPH02150686A1990-06-08
JPH11201635A1999-07-30
JPH08325771A1996-12-10
JP2009219995A2009-10-01
JP2000271549A2000-10-03
Foreign References:
WO2005080263A12005-09-01
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Akatsuka
Yasuo Fukuda
Yasuyuki Sakata



 
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