Title:
熱処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5778363
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】温度分布を再現性良く制御することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置１は、筒状のヒータ２０と、ヒータ２０の両端に電気的に接続された電極３１、４１とを備る。ヒータ２０は、第１黒鉛管２１Ｂと、一方の端面が第１黒鉛管２１Ｂの一方の端面に接するように配置され、第１黒鉛管２１Ｂの電気抵抗よりも高い電気抵抗を有する第２黒鉛管２１Ｃと、一方の端面が第２黒鉛管２１Ｃの他方の端面に接するように配置され、第２黒鉛管２１Ｃの電気抵抗よりも低い電気抵抗を有する第３黒鉛管２１Ｄとを含む。【選択図】図２
Inventors:
Junichi Nakamura
Arakawa Eigo
Arakawa Eigo
Application Number:
JP2015009100A
Publication Date:
September 16, 2015
Filing Date:
January 21, 2015
Export Citation:
Assignee:
sec Carbon Co., Ltd.
International Classes:
F27B9/08; C01B31/04; F27D11/02
Domestic Patent References:
| JP2000211909A | ||||
| JP8198612A |
Attorney, Agent or Firm:
Hidetoshi Ueba
Takao Matsuyama
Go Sakane
Kawakami Keiko
Satoshi Komiyama
Takao Matsuyama
Go Sakane
Kawakami Keiko
Satoshi Komiyama