Title:
セラミックス材料、静電チャック装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017131159
Kind Code:
A1
Abstract:
高出力のプラズマに曝露しても破損しにくい静電チャック用複合焼結体を提供する。また、このような静電チャック用複合焼結体を用いた静電チャック装置、および静電チャック用複合焼結体の製造方法を提供する。絶縁性セラミックスと炭化ケイ素との複合焼結体であり、炭化ケイ素の結晶粒は、絶縁性セラミックスの結晶粒が焼結してなる主相の結晶粒界および結晶粒内に分散しており、炭化ケイ素の結晶粒の全体に対して、β−ＳｉＣ型の結晶構造を有する結晶粒を６０体積％より多く含み、複合焼結体は、結晶粒界に存在する気孔を含み、複合焼結体が気孔を含まないとしたときの仮想真密度に対する、複合焼結体の見掛け密度の割合は９７％以上である静電チャック用複合焼結体。
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Inventors:
Yoshiki Yoshioka
Hidaka High Nobuhiro
Kunimoto
Hidaka High Nobuhiro
Kunimoto
Application Number:
JP2017511963A
Publication Date:
February 01, 2018
Filing Date:
January 27, 2017
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
International Classes:
C04B35/117; C04B35/577; H01L21/683; H02N13/00
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Suzuki Mitsuyoshi
Tadashi Takahashi
Suzuki Mitsuyoshi