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Title:
A ceramics material and a sputtering target member
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014073387
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明のセラミックス材料は、マグネシウム、ジルコニウム、リチウム及び酸素を主成分とするセラミックス材料であって、酸化マグネシウムに酸化ジルコニウム及び酸化リチウムが固溶した固溶体の結晶相を主相とするものである。この固溶体は、CuKα線を用いたときの(200)面のXRDピークが酸化マグネシウムの立方晶のピークより小さい2θ=42.89°以下に現れることが好ましく、2θ=42.38°〜42.89°に現れることがより好ましく、2θ=42.82°〜42.89°に現れることが更に好ましい。更に、セラミックス材料は、LiとZrとのモル比Li/Zrが1.96以上2.33以下の範囲にあることが好ましい。

Inventors:
Yosuke Sato
Yoshinori Isoda
Yuji Katsuta
Application Number:
JP2014545645A
Publication Date:
September 08, 2016
Filing Date:
October 24, 2013
Export Citation:
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Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
C04B35/053; C23C14/34; G11B5/39; H01L21/8246; H01L27/105; H01L43/08; H01L43/10
Domestic Patent References:
JP2006080116A2006-03-23
JP2007305610A2007-11-22
JP2005330589A2005-12-02
JPH08281418A1996-10-29
Foreign References:
WO2012056808A12012-05-03
Other References:
岡本貴 他: "ZrO2強化MgOの耐熱衝撃性", 日本セラミックス協会学術論文誌, vol. 第97巻、第8号、第812−817頁, JPN6014002953, 1989, JP, ISSN: 0003582388
Attorney, Agent or Firm:
Aitec International Patent Office