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Title:
加振装置、動電型アクチュエータ、クロスガイドウェイ、リニアガイドウェイ及び振動テーブル
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016017744
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明の一実施形態に係る加振装置は、振動テーブルと、振動テーブルをＸ軸方向に加振するＸ軸加振ユニットと、振動テーブルをＹ軸方向に加振するＹ軸加振ユニットと、振動テーブルをＺ軸方向に加振するＺ軸加振ユニットと、振動テーブルとＺ軸加振ユニットとをＸ軸方向へスライド可能に連結する第１リニアガイドウェイと、振動テーブルとＺ軸加振ユニットとをＹ軸方向へスライド可能に連結する第２リニアガイドウェイと、を備え、Ｘ軸リニアガイドウェイが、Ｘ軸方向へ延びるＸ軸レールと、Ｘ軸レールとＸ軸方向にスライド可能に係合するＸ軸キャリッジと、を備え、Ｙ軸リニアガイドウェイが、Ｙ軸方向へ延びるＹ軸レールと、Ｙ軸レールとＹ軸方向にスライド可能に係合するＹ軸キャリッジと、を備え、Ｘ軸キャリッジがＹ軸キャリッジに直接固定されたものである。

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Inventors:
Shigeru Matsumoto
Hiroshi Miyashita
Kazuhiro Murauchi
Minoru Endo
Application Number:
JP2016538428A
Publication Date:
June 22, 2017
Filing Date:
July 30, 2015
Export Citation:
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Assignee:
International Measuring Instruments Co., Ltd.
International Classes:
G01M7/02
Domestic Patent References:
JP2001108570A2001-04-20
JPH10110727A1998-04-28
Foreign References:
WO2009011433A12009-01-22
WO2009130953A12009-10-29
US5724893A1998-03-10
Attorney, Agent or Firm:
Shuhei Matsuoka
Eihiro Oyama



 
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