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Patent Searching and Data


Title:
A manufacturing method of a synthetic quartz glass substrate
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5907081
Kind Code:
B2
Inventors:
長谷川 良平
松井 晴信
原田 大実
竹内 正樹
Application Number:
JP2013008295A
Publication Date:
April 20, 2016
Filing Date:
January 21, 2013
Export Citation:
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Assignee:
信越化学工業株式会社
International Classes:
B24B37/00; C03C19/00; C09K3/14
Domestic Patent References:
JP2000354966A
JP2010016064A
JP2003165058A
Attorney, Agent or Firm:
小島 隆司
重松 沙織
小林 克成
石川 武史
正木 克彦