Title:
基板製造工程のマイクロ波乾燥装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3221295
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】基板製造工程で用いるマイクロ波乾燥装置を提供する。【解決手段】マイクロ波チャンバ１０と、搬送プラットフォーム２０と、少なくとも1つのマイクロ波発生器３０とを備える、基板製造工程のマイクロ波乾燥装置であって、マイクロ波チャンバ１０は、マイクロ波を遮断することができる金属材料で形成されており、マイクロ波チャンバ１０の内部にマイクロ波作用室が形成されると共に、マイクロ波チャンバ１０の前端に前方開口１１が形成され、マイクロ波チャンバ１０の後端に後方開口が形成され、搬送プラットフォーム２０は、マイクロ波チャンバ１０の前方開口１１と後方開口を貫通し、且つ搬送方向が設定されており、少なくとも1つのマイクロ波発生器３０が、マイクロ波チャンバ１０のマイクロ波作用室内に設けられ、且つマイクロ波を放射する。【選択図】図１
Inventors:
Su Katsuyoshi
Takako Kobayashi
Lu Rie
Shrine star
Takako Kobayashi
Lu Rie
Shrine star
Application Number:
JP2019000696U
Publication Date:
May 16, 2019
Filing Date:
February 27, 2019
Export Citation:
Assignee:
Fenghwa Technology Co., Ltd.
International Classes:
H05K3/22; F26B15/12; F26B23/08; H05B6/64
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation r&c