Title:
金属マグネシウムの予備処理装置と方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017508062
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明は、酸化マグネシウムによる汚染を防止し、且つ不良率を下げる、金属マグネシウムの予備処理装置と方法を提供する。【解決手段】本発明の装置は、チャンバーと、チャンバー内に取付けられた加熱装置と、チャンバー上に設けられた吸気口と、チャンバー上に設けられた排気口とからなる。吸気口は外部の希ガス注入設備と互いに連通し、チャンバー内に希ガスを注入する。排気口は外部の真空排気装置と互いに連通し、チャンバー内が真空になるように排気する。加熱装置は、表面が酸化された金属マグネシウムを加熱するために用いられ、且つ真空環境下で金属マグネシウム表面における一層の酸化マグネシウムを揮発させることで、純金属マグネシウムが得られる。本発明は、表面の酸化マグネシウムを除去して、酸化マグネシウム含量を低減させることで、コーティングチャンバーにおいて少量の酸化マグネシウムを処理するだけで済むようになる。【選択図】図１
Inventors:
Zhou Seika
Wu Liuyuan
Zhang Kin
Wu Liuyuan
Zhang Kin
Application Number:
JP2016533601A
Publication Date:
March 23, 2017
Filing Date:
January 21, 2014
Export Citation:
Assignee:
SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
International Classes:
C22B26/22; C22B9/04; C23C14/24; F27B17/00; F27D7/06; F27D11/02; H01L51/50; H05B33/26
Domestic Patent References:
| JP2005344152A | 2005-12-15 | |||
| JPH10206035A | 1998-08-07 |
Foreign References:
| CN101386919A | 2009-03-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoneda Koichiro
Seishiro Suzuki
Seishiro Suzuki