Title:
薄い研磨パッド内の窓
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019508272
Kind Code:
A
Abstract:
研磨パッドが、研磨面、底面、および研磨面から底面への開孔を有する研磨層スタックを含む。研磨層スタックは、研磨面を有する研磨層を含む。流体不透過層が、開孔および研磨パッドに及ぶ。第１の接着材料の第１の接着剤層が、研磨層の底面に接触し、研磨層の底面を流体不透過層に固定する。第１の接着剤層は、開孔および研磨パッドに及ぶ。光透過物体は、開孔内に位置決めされており、第１の接着剤層に接触して固定された下面を有し、間隙によって開孔の側壁から隔置されている。異なる第２の材料の接着性密閉材が間隙内に配置され、間隙を横方向に充填する。
Inventors:
Fu Young Ji
Narendolnas Kad Sara Ramaya
Terry Thomas Lawrence
Narendolnas Kad Sara Ramaya
Terry Thomas Lawrence
Application Number:
JP2018544883A
Publication Date:
March 28, 2019
Filing Date:
February 26, 2016
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
B24B37/24; B24B37/22; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JP2004343090A | 2004-12-02 | |||
| JP2006190826A | 2006-07-20 | |||
| JP2003510826A | 2003-03-18 | |||
| JP2014104521A | 2014-06-09 | |||
| JP2009542451A | 2009-12-03 | |||
| JP2005322788A | 2005-11-17 | |||
| JP2013082035A | 2013-05-09 | |||
| JP2004098264A | 2004-04-02 | |||
| JP2003133270A | 2003-05-09 |
Foreign References:
| US20140057540A1 | 2014-02-27 | |||
| CN1506211A | 2004-06-23 | |||
| WO2003032379A1 | 2003-04-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
Disciple Maru Ken
▲吉▼田 和彦
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki
Disciple Maru Ken
▲吉▼田 和彦
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki