Die Erf indung betrif ft ein Bauteil mit einem Grundkörper und einer Sensorschicht , welche den Grundkörper zumindest teilweise bedeckt . Weiterhin betrif ft die Erf indung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils .

Aus der DE 199 54 164 Al ist ein Sensor zur Messung von aktuellen Belastungen bekannt , welche auf die Oberf läche einer mechanischen Komponente einwirken . Als Sensor wird eine piezoresistive , amorphe Kohlenstof f schicht eingesetzt , welche über zugeordnete Leiterbahnen mit einer Einrichtung zur Erfassung des elektrischen Widerstandes verbunden ist . Die Abscheidung langer Leiterbahnen stellt j edoch hohe Anforderungen an die Prozesstechnik und die Schichtqualität . Daher ist die Herstellung der bekannten Bauteile aufgrund einer hohen Ausschussquote aufwändig und teuer . Darüber hinaus sind Leiterbahnen auf der Bauteiloberf läche mechanischen Belastungen oder korrosiven Angrif fen ausgesetzt , so dass die Betriebssicherheit der bekannten Bauteile leidet .

Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erf indung somit die Aufgabe zugrunde , Bauteile der eingangs genannten Art zuverlässig herzustellen und die Betriebssicherheit solcher Bauteile zu erhöhen .

Die Aufgabe wird erf indungsgemäß durch ein Bauteil gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren nach Anspruch 9 gelöst . Vorteilhafte Weiterbildungen der Erf indung f inden sich in den Unteransprüchen . Erf indungsgemäß wird ein Bauteil mit einem Grundkörper und einer Sensorschicht vorgeschlagen . Das Bauteil kann beispielsweise eine Maschinenbaukomponente sein, wie beispielsweise eine Lagerschale bzw . ein Lagerring , ein Zahnrad oder Teil eines Zahnrades , ein Turbinenrad, eine Turbinenschaufel , eine Nockenwelle , eine Schleifringdichtung oder ein anderes , hier nicht explizit genanntes Bauteil . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann das Bauteil ein Werkzeug oder ein Teil eines Werkzeuges sein, beispielsweise eine Wendeschneidplatte , ein Fräser , ein Presswerkzeug oder eine Gussform . Das Bauteil weist zumindest einen Grundkörper auf . Der Grundkörper kann aus einem Metall oder einer Legierung , einem Kunststof f oder einer Keramik gefertigt sein . In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann der Grundkörper aus verschiedenen Materialien gefertigt sein und beispielsweise einen schichtweisen Aufbau aufweisen . Der Grundkörper weist zumindest eine Wirkf läche bzw . eine Wirkzone auf , welche im Betrieb einer Kraft - oder einer Temperatureinwirkung ausgesetzt sein kann . Dementsprechend kann die Wirkf läche beispielsweise die Schneide eines Werkzeuges , die Laufbahn eines Lagers , die Dichtf läche einer Schleifringdichtung oder eine andere Fläche des Grundkörpers sein, welche einer thermischen und/oder mechanischen und/oder korrosiven Belastung ausgesetzt ist .

Zumindest ein Teil des Grundkörpers bzw . zumindest ein Teil der Wirkf läche ist mit zumindest einer Sensorschicht versehen . Die Sensorschicht kann dazu eingerichtet sein, eine Temperatur und/oder eine mechanische Belastung und/oder eine Verformung und/oder einen pH-Wert zu erfassen . Hierzu kann die Sensorschicht piezoresistiv und/oder thermoresistiv sein . Somit kann durch Messung des elektrischen Widerstandes der Sensorschicht die Temperatur , der pH-Wert , die einwirkende Kraft oder die Verformung erfasst werden .

Weiterhin enthält das Bauteil zumindest eine elektrische

Leitung mit einem ersten Ende und einem gegenüberliegenden zweiten Ende . Das erste Ende der Leitung steht mit der Sensorschicht an zumindest einer Stelle in Kontakt , so dass die Messung des elektrischen Widerstandes der Sensorschicht ermöglicht wird . Das gegenüberliegende zweite Ende der elektrischen Leitung ist dazu eingerichtet , direkt oder indirekt mit einer Strom- oder Spannungsquelle oder einem Messgerät verbunden zu werden . Im Falle einer indirekten Verbindung kann das zweite Ende der elektrischen Leitung mit einem Steckverbinder , einem Schleifring oder einem aktiven oder passiven Bauelement verbunden sein .

Erf indungsgemäß wird vorgeschlagen, die elektrische Leitung in den Grundkörper einzubetten, so dass das erste Ende zumindest teilweise an der Wirkf läche des Grundkörpers hervortritt , so dass beim Beschichten des Grundkörpers mit der Sensorschicht ein elektrischer Kontakt zwischen dem ersten Ende der elektrischen Leitung und der Sensorschicht erzeugt wird . Das zweite Ende der elektrischen Leitung verlässt den Grundkörper an einer vorgebbaren Stelle , welche zum Anschluss einer Strom- oder Spannungsquelle oder eines Messgerätes vorgesehen ist . Hierdurch ist die elektrische Leitung innerhalb des Bauteiles geschützt angeordnet . Eine mechanische oder korrosive Beschädigung der elektrischen Leitung während es Betriebs des Bauteils ist damit ausgeschlossen oder zumindest reduziert . Weiterhin kann der Querschnitt der elektrischen Leitung gegenüber einer strukturierten Dünnschicht vergrößert sein, so dass der elektrische Widerstand bzw . elektrische Verluste der Leitung reduziert sein können . Darüber hinaus kann eine elektrische Leitung mit größerem Querschnitt zuverlässiger hergestellt werden, so dass bei der Herstellung des Bauteils weniger Ausschuss produziert wird .

Erf indungsgemäß kann der Grundkörper zumindest ein Polymer enthalten oder daraus bestehen . Ein solches Polymer kann mit oder ohne eingebrachte Faserverstärkung in einem generativen Fertigungsverfahren in an sich bekannter Weise verarbeitet werden, beispielsweise durch lagenweises Aufträgen des verf lüssigten Polymers mittels einer Düse oder durch Auf schmelzen eines Pulvers durch lokale Wärmeeinwirkung , bei spielsweise durch Laserstrahlung . Für die Zwecke der vorliegenden Beschreibung werden die Begrif fe generatives Fertigungsverfahren und 3D-Druckverf ahren bzw . 3D-Druck synonym verwendet .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann der Grundkörper zumindest ein Metall oder zumindest eine Legierung enthalten oder daraus bestehen . Ein solcher Grundkörper kann derzeit bekannte Bauteile , welche beispielsweise durch spanende Bearbeitung oder als Gussteil hergestellt sind, nahezu identisch ersetzen, da aufgrund des identischen oder ähnlichen Werkstof fes identische oder ähnliche mechanische und thermische Eigenschaften erhalten werden . Auch ein metallischer Werkstof f kann in einem generativen Fertigungs verfahren in an sich bekannter Weise verarbeitet werden, beispielsweise durch Auf schmelzen eines Pulvers durch lokale Wärmeeinwirkung , beispielsweise durch Laserstrahlung .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann der Grundkörper zumindest eine Keramik enthalten oder daraus bestehen . In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann aus Keramikpartikeln mit einer vollständigen oder teilweisen Umhüllung aus einem Polymer durch Erwärmen und Auf schmelzen des Polymers ein Grünling mittels 3D-Druck hergestellt werden . Dieser solchermaßen hergestellte Grünling kann sodann durch Sintern zum fertigen Bauteil nachbearbeitet werden .

Ein Grundkörper aus einem Polymer oder einer Keramik kann ein elektrischer I solator mit einem spezif ischen Widerstand mit der als 10 ⁶ Q- cm oder mehr als 10 ⁷ Q- cm oder mehr als 10 ⁸ Q- cm sein oder solches Material enthalten, so dass auch mehrere elektrische Leiter im Grundkörper eingebettet werden können, ohne dass es zu unerwünschten Kurzschlüssen kommt . In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht Chrom enthalten oder daraus bestehen . Eine solche Sensorschicht kann thermoresistiv sein und zur Temperaturerfassung in der Wirkzone bzw . auf der Wirkf läche verwendet werden .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht Diamond-Like Carbon (DLC) enthalten oder daraus bestehen . Eine DLC- Schicht kann sowohl piezoresistiv als auch thermoresistiv sein und auf diese Weise mechanische Spannung bzw . Verformung und Temperatur gleichermaßen erfassen . Für die Zwecke der vorliegenden Beschreibung wird unter DLC eine überwiegend sp ³ -hybridisierte Kohlenstof f modif ikation nach VDI 2840 verstanden . Im Gegensatz zu Diamant ist die DLC- Schicht amorph . Die DLC- Schicht kann neben Kohlenstof f zusätzlich Wasserstof f oder zumindest ein Metall enthalten, um den elektrischen Widerstand auf vorgebbare Sollwerte einzustellen oder die mechanische Härte an gewünschte Eigenschaften anzupassen und/oder um die Haft festigkeit auf dem Bauteil zu erhöhen .

Die Sensorschicht kann in einigen Ausführungsformen der Erf indung mittels eines PVD-Verf ährens aufgebracht werden . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht , insbesondere in Form einer DLC- Schicht , mittels eines CVD-Verf ährens aufgebracht werden . In wiederum anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht durch thermisches Spritzen, durch ein Atmosphärendruckverfahren, eine außenstromlose Beschichtung und/oder eine galvanische Beschichtung erzeugt werden . Fallweise können zwischen dem Grundkörper bzw . der Wirkf läche und der Sensorschicht optionale Zusatzschichten eingebracht werden, welche beispielweise eine elektrische I solierung der Sensorschicht vom Grundkörper ermöglichen oder welche die Haftfestigkeit der Sensorschicht erhöhen . In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann auf der Sensorschicht eine Deckschicht angeordnet sein, welche einen korrosiven Angrif f auf die Sensorschicht verhindert oder reduziert . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Deckschicht im Falle eines tribologisch belasteten Bauteils die Reibung der Sensorschicht bzw . der Wirkf läche gegenüber einem Reibpartner verringern . In wiederum anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Deckschicht den übermäßigen oder vorzeitigen Verschleiß der Sensorschicht verhindern .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann die elektrische Leitung zumindest ein Metall oder zumindest eine Legierung enthalten oder daraus bestehen . In anderen Aus führungsformen der Erf indung kann die elektrische Leitung leitfähige Partikel in zumindest einem Matrixmaterial ent halten oder daraus bestehen . Beispielsweise kann ein Polymer mit leitfähigen Partikeln gefüllt sein . Eine Keramik kann mit leitfähigen Partikeln gefüllt oder beschichtet sein . Durch Anwendung eines Multi -Nozzle-Druckverf ährens können somit einzelne Flächen- bzw . Raumbereiche des Grundkörpers aus elektrisch leitfähigem Material gedruckt werden . Andere Flächen bzw . Raumbereiche können mit einem elektrisch isolierenden Material gedruckt werden . Auf diese Weise lassen sich dreidimensionale Leiterbahnen auch in komplexen geometrischen Verläufen in einen isolierenden Grundkörper einbetten, so dass einerseits eine Sensorschicht auch an schwer zugänglichen Wirkf lächen kontaktiert werden kann und andererseits die elektrische Leitung durch Einbetten geschützt und mechanisch robust ausgeführt werden kann .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann die elektrische Leitung in Form eines Drahtes oder einer Metall schicht bereitgestellt und beim Herstellen des Grundkörpers im generativen Herstellungsprozess eingebettet werden . Hierzu kann eine elektrische Leitung beispielsweise als Draht abgewickelt und dem Grundkörper unmittelbar vor dem Umspritzen bzw . Einbetten mit dem Material des Grundkörpers zugeführt werden . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann eine elektrische Leitung abgelängt , in eine komplexe Form gebracht und im 3D-Druckverf ahren bereitgestellt werden, so dass diese spannungsfrei in den Grundkörper eingebettet werden kann .

Sofern der Grundkörper selbst aus einem elektrisch leit fähigen Material besteht , kann die elektrische Leitung zumindest abschnittsweise mit einem I solator umhüllt werden, ehe diese in den Grundkörper eingebettet wird . Hierdurch werden Kurzschlüsse über den Grundkörper vermieden .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann das zumindest erste Ende der elektrischen Leitung als Kontakt f läche ausgebildet sein . Die Kontaktf läche kann einen größeren Querschnitt aufweisen als der Querschnitt der elektrischen Leitung , so dass die Sensorschicht über eine größere Fläche kontaktiert werden kann . Hierdurch können elektrische Übergangswiderstände zwischen der elektrischen Leitung und der Sensorschicht reduziert sein .

In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann die elektrische Leitung eine Dicke und/oder eine Breite zwischen etwa 3 pm und etwa 1 mm aufweisen . In anderen Ausführungs formen der Erf indung kann die elektrische Leitung eine Dicke und/oder eine Breite zwischen etwa 10 pm und etwa 200 pm aufweisen . In wiederum anderen Ausführungsformen kann die elektrische Leitung eine Dicke und/oder eine Breite zwischen etwa 20 pm und etwa 100 pm aufweisen . Dies erlaubt es , elektrische Leitungen auch in kleine Grundkörper einzubringen oder elektrische Leitungen eng bzw . in geringem Abstand zueinander zu führen, so dass die Sensorschicht mit mehreren Leitungen mit großer räumlicher Auf lösung ausgelesen werden kann . In einigen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht eine Dicke zwischen etwa 1 pm und etwa 100 pm auf weisen . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht eine Dicke zwischen etwa 5 pm und etwa 70 pm aufweisen . In wiederum anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Sensorschicht eine Dicke zwischen etwa 10 pm und etwa 50 pm aufweisen . Solche Sensorschichten können die Maßhaltigkeit und/oder die Verformbarkeit des Bauteils nur in geringem Maße beeinträchtigen, so dass bekannte Bauteile ohne Sensorschicht ohne weitere Anpassung der Konstruktion durch die erf indungsgemäßen Bauteile ersetzt werden können .

Nachfolgend soll die Erf indung anhand von Figuren ohne Beschränkung des allgemeinen Erf indungsgedankens näher erläutert werden . Dabei zeigt

Figurl eine erste Ausführungsform eines erf indungsgemäßen Bauteils in der Ansicht .

Figur 2 zeigt die erste Ausführungsform des erf indungsgemäßen Bauteils im Schnitt .

Figur 3 zeigt eine zweite Ausführungsform eines erf indungs gemäßen Bauteils in der Ansicht .

Figur 4 zeigt die zweite Ausführungsform des erf indungs gemäßen Bauteils im Schnitt .

Anhand der Figuren 1 und 2 wird eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erf indung näher erläutert . Dargestellt ist ein Bauteil 1 , welches beispielsweise Teil eines Lagers , einer Schleifringdichtung , eines Schneidwerkzeuges , oder einer anderen, mechanisch belasteten Komponente sein kann . Dementsprechend ist die in Figur 1 und 2 dargestellte , quaderförmige Geometrie nur beispielhaft zu versehen . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann das Bauteil selbstverständlich eine andere , seinem Zweck entsprechende Form auf eisen .

Figur 1 zeigt eine teilweise geschnittene , räumliche Darstellung des Bauteils 1 . Unmittelbar übereinanderliegende bzw . miteinander in Kontakt stehende Bestandteile der Erf indung sind in Figur 1 nach Art einer Explosionszeichnung auseinandergezogen . Figur 2 zeigt demgegenüber einen Schnitt .

Das Bauteil 1 enthält einen Grundkörper 10 , welcher bei spielsweise aus einem Metall , einer Legierung , zumindest einem Polymer oder einer Keramik hergestellt sein kann . Der Grundkörper 10 kann mittels eines generativen Herstellungs verfahrens bzw . einem 3D-Druck hergestellt werden . Der Grundkörper 10 kann, wie in den Figuren dargestellt , homogen aus einem einzigen Material hergestellt sein . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann der Grundkörper 10 aus Einzelschichten unterschiedlichen Materials zusammengesetzt sein, um auf diese Weise die Verschleißfestigkeit und/oder die mechanische Belastbarkeit zu erhöhen oder an vorgebbare Aufgaben anzupassen .

Der Grundkörper 10 kann in einen generativen Herstellungs verfahren in der gewünschten Geometrie hergestellt werden, beispielsweise durch partielles Auf schmelzen eines Metall pulvers , durch strangweises Anlegen eines Polymers oder durch Versintern eines Keramikpulvers .

Der Grundkörper 10 weist eine Wirkf läche 11 auf , welche bei Betrieb des Bauteils 1 einer Temperatur und/oder einer Kraft ausgesetzt ist . Beispielweise kann die Wirkf läche 11 die Laufbahn eines Lagers , die Dichtf läche einer Schleifringdichtung oder die Kontaktf läche eines Werkzeuges sein .

Im Grundkörper 10 ist zumindest eine elektrische Leitung 3 angeordnet . Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind schematisch zwei elektrische Leitungen 3 dargestellt . In anderen Ausführungsformen der Erf indung kann die Anzahl der elektrischen Leitung größer oder auch geringer sein . Die Erf indung lehrt nicht die Verwendung von genau zwei elektrischen Leitungen 3 als Lösungsprinzip .

Jede elektrische Leitung 3 weist ein erstes Ende 31 und ein gegenüberliegendes zweites Ende 32 auf . Das erste Ende 31 endet in einer Kontaktf läche 35 , welche einen größeren Querschnitt aufweist als die elektrische Leitung 3 . Hierdurch können Übergangswiderstände zur Sensorschicht 2 reduziert sein .

Sofern der Grundkörper 10 aus einem elektrisch leitfähigen Material gefertigt ist , kann die elektrische Leitung 3 von einer I solationsschicht 4 umgeben sein . In anderen Aus führungsformen der Erf indung kann die I solationsschicht 4 auch entfallen, insbesondere wenn der Grundkörper 10 selbst elektrisch isolierend ist . Das zweite Ende 32 der elektrischen Leitung 3 ist dazu vorgesehen, mit einer Messeinrichtung und/oder einer elektrischen Stromquelle und/oder einer elektrischen Spannungsquelle verbunden zu werden, so dass der elektrische Widerstand der Sensorschicht 2 erfasst werden kann .

Auf der Wirkf läche 11 ist eine optionale I solationsschicht 5 angeordnet . Die I solationsschicht 5 kann beispielsweise ein Oxid oder ein Nitrit oder ein Oxynitrit oder ein Polymer enthalten oder daraus bestehen . Die I solationsschicht 5 kann selbst wieder einen mehrschichtigen Aufbau aus Einzel schichten aufweisen . Die I solationsschicht 5 kann mittels eines CVD-Verf ährens zumindest auf der Wirkf läche 11 des Grundkörpers 10 erzeugt werden . Die I solationsschicht 5 kann Öf fnungen 55 aufweisen, durch welche die Kontaktf lächen 35 zur Sensorschicht 2 geführt werden können . Auch die I solationsschicht 5 kann in einigen Ausführungsformen der Erf indung entfallen, insbesondere wenn der Grundkörper selbst aus einem elektrisch isolierenden Material gefertigt ist .

Auf der I solationsschicht 5 bef indet sich die Sensorschicht 2 . Die Sensorschicht 2 kann thermoresistiv und/oder piezoresistiv sein . Die Sensorschicht 2 kann beispielsweise Chrom oder Diamond-Like Carbon (DLG) enthalten .

Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Sensorschicht 2 strukturiert , d . h . nach vollf lächiger Abscheidung mittels eines Atmosphärendruckverfahrens , eines CVD-Verf ährens , eines PVD-Verf ährens , einer außenstromlosen Abscheidung und/oder einer galvanischen Abscheidung , kann die Sensorschicht 2 durch Maskieren und Ätzen so strukturiert werden, dass diese eine erste Kontaktf läche 21 , eine zweite Kontakt f läche 22 und zumindest einen die Kontaktf lächen miteinander verbindenden Leiter aufweist . Der Leiter kann f lächig ausgeführt werden oder wie in Figur 1 dargestellt , in Form mehrerer Mäander auf der Oberf läche der I solationsschicht 5 verlaufen . Die ersten und Kontaktf lächen 21 und 22 sind mit der Kontaktf läche 35 des elektrischen Leiters 3 verbunden . Im Falle einer Temperaturänderung des Bauteils 1 tritt eine Verformung der mäanderförmig verlaufenden Sensorschicht 2 auf . Sofern eine mechanische Spannung auf den Grundkörper 10 einwirkt , führt auch die Verformung des Grundkörpers 10 zur Verformung der mäanderförmig verlaufenden Sensorschicht 2 . Diese Verformung verursacht eine Änderung des elektrischen Widerstandes , welche über ein mit den elektrischen Leitungen 3 verbundenes Messgerät erfasst werden kann .

Auf der Sensorschicht 2 kann eine optionale Deckschicht 6 angeordnet sein . Die Deckschicht 6 kann als Verschleißschutzschicht , als Gleitschicht oder als Korrosionsschutz schicht ausgeführt sein und solchermaßen die Sensorschicht 2 vor Beschädigung bewahren und/oder die tribologischen Eigenschaften des Bauteils 1 verbessern . Anhand der Figuren 3 und 4 wird ein zweites Ausführungs - beispiel der vorliegenden Erf indung näher erläutert . Gleiche Bestandteile der Erf indung sind mit gleichen Bezugszeichen versehen, so dass sich die nachfolgende Beschreibung auf die wesentlichen Unterschiede beschränkt .

Auch das Bauteil 1 gemäß der zweiten Ausführungsform weist einen Grundkörper 10 , wie vorstehend beschrieben . Im Grundkörper 10 sind zwei elektrische Leiter 3a , 3b dargestellt , welche j eweils ein erstes Ende 31 und ein zweites Ende 32 aufweisen . Jeder Leiter weist am ersten Ende 31 eine Kontaktf läche 35a bzw . 35b auf . Die Kontaktf läche 35a ist dabei länglich ausgeführt und die Kontaktf läche 35b weist eine runde Grundf läche auf .

Da der Grundkörper 10 aus einem elektrisch isolierenden Material gefertigt ist , beispielsweise einer Keramik , können die elektrischen Leiter 3 ohne zusätzliche I solationsschicht 4 eingebettet werden . Der Grundkörper 10 und die eingebetteten elektrischen Leiter 3 können in einem Multi -Nozzle- Druckverf ahren hergestellt werden, in dem polymerummantelte Keramikpartikel erwärmt und schichtweise aufgetragen werden, um den Grundkörper 10 als Grünling zu fertigen . Durch nachfolgendes Sintern kann daraus ein Keramikkörper hergestellt werden . Die elektrischen Leiter 3 enthalten dabei eine Keramik , welche mit elektrisch leitfähigen Partikeln gefüllt ist , so dass diese nach dem Sintern unmittelbar Kontakt zueinander haben und den elektrischen Strom leiten . Das verbleibende Volumen des Grundkörpers 10 ist mit Keramikpartikeln hergestellt , welche keinen elektrisch leitfähigen Füllstof f enthalten und damit zu einer isolierenden Keramik führen .

Da der Grundkörper 10 somit im Wesentlichen elektrisch nichtleitend ausgeführt ist , ist auch die Wirkf läche 11 elektrisch isolierend . Die Sensorschicht 2 kann daher unmittelbar auf der Wirkf läche 11 hergestellt bzw . abgeschieden werden . Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Sensorschicht 2 aus piezoresistiven Material gefertigt , so dass diese bei Einwirken einer mechanischen Kraft bzw . einer Verformung eine Änderung des elektrischen Widerstands erfährt . Eine weitergehende Strukturierung ist daher nicht notwendig . Die Sensorschicht 2 kann als vollf lächige Beschichtung auf der Wirkf läche 11 angeordnet werden . Die Sensorschicht 2 weist eine Öf fnung 25 auf , durch welche die Kontaktf läche 35a des Leiters 3a an die der Wirkf läche 11 abgewandte Seite der Sensorschicht 2 geführt ist .

Auf der Sensorschicht 2 ist eine elektrisch leitfähige Schicht als Gegenelektrode angebracht . Die Gegenelektrode 7 kann beispielsweise ein Metall oder eine Legierung enthalten und kann durch an sich bekannte Verfahren, wie beispiels weise ein PVD-Verf ahren, Sputtern, thermisches Spritzen oder ähnliche Verfahren aufgebracht werden .

Auf der Gegenelektrode 7 kann wiederum eine optionale Deckschicht 6 angeordnet werden, wie vorstehend beschrieben . Es ist j edoch darauf hinzuweisen, dass eine solche Deckschicht 6 auch entfallen kann, wenn diese für den Betrieb des Bauteils 1 nicht erforderlich ist .

Selbstverständlich ist die Erf indung nicht auf die dargestellten Ausführungsformen beschränkt . Die vorstehende Beschreibung ist daher nicht als beschränkend, sondern als erläuternd anzusehen . Die nachfolgenden Ansprüche sind so zu verstehen, dass ein genanntes Merkmal in zumindest einer Ausführungsform der Erf indung vorhanden ist . Dies schließt die Anwesenheit weiterer Merkmale nicht aus . Sofern die Ansprüche und die vorstehende Beschreibung „ erste" und „ zweite" Ausführungsformen def inieren, so dient diese Bezeichnung der Unterscheidung zweier gleichartiger Aus führungsformen, ohne eine Rangfolge festzulegen .