Vorrichtung und Verfahren zum Verdampfen eines organischen Pulvers

Gebiet der Technik

[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verdampfen eines nicht gas förmigen Ausgangsmaterials, bei dem ein nicht gasförmiges Ausgangsmaterial in eine Verdampfungskammer eines Verdampfer gebracht wird, ein Verdamp- fungskörper des Verdampfers dem Ausgangsmaterial Wärme zuführt, sodass es zu einem Dampf verdampft, der Dampf mittels eines durch eine Gaszulei tung in die Verdampfungskammer eingespeisten Fördergasstroms, dessen Massenfluss von einem ersten Massenflusskontroller geregelt wird, durch einen Förderkanal an einem Sensor vorbeitransportiert wird, der die Konzentration oder den Partialdruck des Dampfs im durch den Förderkanal fließenden Gasstrom misst, und der Massenfluss des Dampfes durch den Förderkanal durch Variation des Fördergasstroms gegen einen Sollwert geregelt wird.

[0002] Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zum Verdamp fen eines nicht gasförmigen Ausgangsmaterials, mit einem Verdampfer, der eine Verdampfungskammer und einen beheizbaren Verdampfungskörper auf weist, mit dem das in die Verdampfungskammer gebrachte Ausgangsmaterial zu einem Dampf verdampft wird, mit einer in die Verdampfungskammer mündenden, einen ersten Massenflusskontroller aufweisenden Gaszuleitung zum Einspeisen eines Fördergasstroms in die Verdampfungskammer mit einem von der Verdampfungskammer ausgehenden Förderkanal zum Transport des Dampfes mit dem Fördergasstrom an einem im Förderkanal angeordneten Sen sor vorbei, der die Konzentration oder den Partialdruck des Dampfes im durch den Förderkanal fließenden Gasstrom misst, und mit einer Regeleinrichtung zur Regelung des Massenflusses des Dampfes durch den Förderkanal gegen einen Sollwert durch Variation des Fördergasstroms. Stand der Technik

[0003] In der DE 102020103822 wird eine Vorrichtung zum Verdampfen ei nes organischen Pulvers beschrieben. Mit einer Dosiervorrichtung wird eine quantifizierte Pulvermenge in einen Zwischenspeicher gebracht, von dem sie durch eine Einspeiseöffnung in eine Verdampfungskammer eines Verdampfers gebracht wird. In der Verdampfungskammer befindet sich ein auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizter Verdampfungskörper, der Verdampfungswärme an die zu verdampfenden Partikel abgibt. Der erzeugte Dampf wird mit einem in die Verdampfungskammer eingespeisten Fördergasstrom durch einen Förder kanal zu einem Gaseinlassorgan eines Reaktors gefördert, mit dem OLED- Schichten abgeschieden werden. Im Förderkanal befindet sich ein Sensor, der eine Depositionsfläche aufweist, auf der der Dampf in einer von der Konzentra tion oder dem Partialdruck abhängigen zeitlichen Rate aufgrund einer Tempe raturdifferenz kondensiert. Anhand der Rate kann die Konzentration oder der Partialdruck des Dampfes im Fördergasstrom ermittelt werden. Der Fördergas- ström wird mit einem ersten Massenfhisskontroller geregelt. Durch Variation des Fördergasstroms kann die Förderrate des Dampfes durch den Förderkanal gegen einen Sollwert geregelt werden. Einhergehend damit ändert sich die Strömungsgeschwindigkeit des durch den Förderkanal strömenden Mediums.

[0004] Die Verdampfungsrate im Verdampfer wird zum einen durch die Tem- peratur des Verdampfungskörpers und zum anderen durch die mittlere Korn größe des Pulvers beeinflusst. Zeitliche Variahonen der Verdampfung im Ver dampfer werden mit dem Ziel, einen möglichst konstanten Massenfluss des Dampfes zum Reaktor zu gewährleisten, durch eine Änderung der Strömungs geschwindigkeit im Förderkanal ausgeglichen. Dies erfolgt über einen PID- Regler, der auf den ersten Massenflusskontroller wirkt. Es wurde beobachtet, dass das Messverhalten des Sensors vom Gesamtfluss beziehungsweise der Strömungsgeschwindigkeit des Gases durch den Förderkanal beeinflusst wird. Um aus der Depositionsrate des Dampfes auf der Depositionsfläche des Sensors Werte für die Konzentration oder den Partialdruck des Dampfes im Fördergas strom zu berechnen, wird ein "tooling factor" verwendet, der gasflussabhängig ist. Bei sich änderndem Gasfluss kommt es daher zu verfälschten Messwerten.

[0005] Zum Stand der Technik gehören ferner die US 2017/362701 Al,

KR 101179872 Bl, US 9,302,291 B2, EP 1 167569 Al und WO 2017/027581 Al.

[0006] Die DE 102015194240 Al beschreibt eine Vorrichtung, bei der mit ei nem Massenflusskontroller ein geregelter Massenfluss eines Trägergases, bei spielsweise Stickstoff, bereitgestellt wird. Der Massenfluss des Trägergases wird in einen Verdampfer eingespeist, in dem mittels eines Verdampfungskör pers ein nicht gasförmiger Ausgangsstoff verdampft wird. Der nicht gasförmige Ausgangsstoff wird mit Hilfe einer Dosiereinrichtung bereitgestellt. Die Dosier einrichtung ist in der Lage, zeitlich hintereinander eine Vielzahl von quantifi zierten Mengen des Ausgangsstoffs abzugeben. Der diskontinuierliche Fluss des Ausgangsstoffs wird in einem Trägergasstrom gefördert, in dem sich ein Aerosol bildet. Das Aerosol wird zum Verdampfungskörper gefördert. Strom abwärts des Verdampfungskörpers befindet sich ein QCM-Sensor, mit dem der Partialdruck beziehungsweise die Konzentration des Dampfes innerhalb des Trägergasstroms ermittelt werden kann. Unter Verwendung des vom Sensor bereitgestellten Wertes kann von einer Regeleinrichtung unter Variation des Trägergasstromes die Konzentration des Dampfes im Trägergas beziehungs weise die Dampftransportrate verändert werden. Diesbezügliche Sensoren werden auch in den DE 102017106967 Al oder DE 102017106968 Al be schrieben. Der Offenbarungsgehalt dieser Druckschriften wird deshalb vollin haltlich mit in den Offenbarungsgehalt dieser Anmeldung einbezogen. Zusammenfassung der Erfindung

[0007] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen anzugeben, mit denen in einer gattungsgemäßen Vorrichtung beziehungsweise bei einem gattungs gern äßen Verfahren die Förderrate des Dampfes in einem höheren Maße konstant gehalten werden kann, um insbesondere in einem OLED- Reaktor Schichten mit einer geringen bis mittleren Wachstumsrate mit repro duzierbarer Schichtdicke abzuscheiden.

[0008] Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Er findung. Die Unter ansprüche stellen nicht nur vorteilhafte Weiterbildungen der in den nebengeordneten Ansprüchen angegebenen technischen Lehre, sondern auch eigenständige Lösungen der Aufgabe dar.

[0009] Zunächst und im Wesentlichen wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass an einer Mischstelle im Förderkanal, die zwischen dem Verdampfer und dem Sensor liegt, ein Ausgleichsgasstrom in den Förderkanal eingespeist wird. Der Ausgleichsgasstrom wird von einer Ausgleichsgaszuleitung bereitgestellt, in der sich ein zweiter Massenflusskontroller befindet. Der zweite Massenfluss kontroller wird so geregelt, dass der Gesamtgasfluss des Mediums, das am Sen sor vorbeifließt, auch bei einer Variation des Fördergasstroms konstant gehalten wird. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Ausgleichsgasstrom derart gere gelt wird, dass am Sensor ein den Dampf fördernder Gasstrom mit einer kon- stanten Strömungsgeschwindigkeit vorbeifließt. Hierzu ist insbesondere vorge sehen, dass der durch die Ausgleichsgaszuleitung fließende Gasstrom um den Massenfluss verringert wird, um den der durch die Fördergaszuleitung strö mende Massenfluss erhöht wird und umgekehrt. Die Massenflusskontroller werden erfindungsgemäß somit im Gegentakt betrieben. Die Summe der Mas- senflüsse bleibt innerhalb einer Toleranz der Massenflusskontroller von bei spielsweise +/-2 Prozent während des gesamten Abscheidungsprozesses kon- stant. Hierdurch wird die Flussratenstabilität des Dampfes zum Gaseinlass organ des OLED-Reaktors gegenüber dem Stand der Technik erhöht. Die erfin dungsgemäß erreichte Verbesserung der Ratenstabilität der Verdampfungs quelle tritt insbesondere für kleine Verdampfungsraten auf. An der bewährten Technologie des Standes der Technik, den festen oder flüssigen Ausgangsstoff durch eine feste Ver dampf ertemperatur zu verdampfen und die Flussrate durch einen einstellbaren Trägergasfluss zu stabilisieren, kann festgehalten werden. Der hinsichtlich seines Massenflusses des Trägergases variierende För dergasstrom wird mittels eines Ausgleichsgasstroms derart verdünnt, dass der Gesamtmassenfluss des Trägergases, der am Sensor vorbeifließt, konstant ge halten wird. Der Fördergasfluss und der Ausgleichsgasfluss können von der selben Gasquelle, beispielsweise einer Stickstoff-Quelle, bereitgestellt werden. Dies hat den Vorteil, dass der Sensor, der bevorzugt ein Quarz-Kristall-Monitor (QCM) ist, mit einem nur für eine Strömungsgeschwindigkeit ermittelten too- ling factor betrieben werden kann. Mit einer PID-Regeleinrichtung können mit hilfe der vom Sensor gelieferten Messwerte zwei Massenflüsse, die in den För derkanal eingespeist werden, derart geregelt werden, dass eine Dampftrans portrate zeitlich konstantgehalten wird. Der erzeugte Dampf wird durch eine beheizte Transportleitung zu einem OLED-Reaktor transportiert, in dem sich ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, befinden kann, welches mit ein oder mehreren organischen Schichten beschichtet wird. Hierzu wird der durch den Förderkanal geförderte Dampf in ein Gaseinlassorgan eingespeist, welches eine Vielzahl zu einer Prozesskammer weisende Gasaustrittsöffnungen auf weist, durch die der vom Trägergas transportierte Dampf in die Prozesskam mer des Reaktors eingeleitet wird, sodass der Dampf auf dem auf einem ge kühlten Substrathalter liegenden Substrat kondensieren kann. Hinsichtlich der Ausgestaltung des Verdampfers wird auf die Ausführungen in der DE 102020 103822 verwiesen. Eine Reaktoranordnung mit Verdampfungsquel le zeigt beispielsweise die Figur 3 der DE 102019128515 oder der DE 102017106431 Al. Der Inhalt der Anmeldungen wird in den Offenba rungsgehalt dieser Anmeldung mit eingeschlossen.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

[0010] Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Figur beschrieben.

Beschreibung der Ausführungsformen [0011] Die Figur 1 zeigt schematisch eine Dampfquelle, die eine Dosiervorrich tung 12 zum Bereitstellen eines zu verdampfenden festen oder flüssigen Aus gangsstoffs, der über einen Zwischenspeicher 14 in eine Verdampfungskam mer 3 eines Verdampfers eingespeist wird, wo der Ausgangsstoff verdampft, um mittels eines Fördergasstroms durch einen Förderkanal 7 zu einem nicht dargestellten OFED-Reaktor transportiert zu werden.

[0012] Das in der Figur 1 dargestellte System zeigt eine Dosiervorrichtung 12, die einen Vorratsbehälter besitzen kann, in dem ein Pulver eines organischen Materials bevorratet wird. Das Pulver kann beispielsweise über ein Dosierrad mit einer Vielzahl von Dosierkammern zu einer Abgabestelle transportiert werden. Die Dosierkammern können von kreisförmig um eine Drehachse ange ordneten Föchern einer flachen Scheibe gebildet sein. Während der Drehung der flachen Scheibe füllen sich die zu den beiden Breitseiten der Scheibe hin offenen Föcher mit dem Pulver. An der Abgabestelle bläst ein Trägergasstrom durch eines dieser Föcher und transportiert die darin enthaltene quantifizierte Menge des Pulvers in eine Ableitung, an die sich eine Förderstrecke anschließt, mit der eine Vielzahl von nacheinander in den Trägergasstrom gebrachten Pul vermengen zu einem Zwischenspeicher 14 transportiert wird. [0013] Die Rate des transportierten Pulvers wird durch die Drehzahl des Do sierrades vorgegeben. Über die Zeit, innerhalb der Pulver bei gleicher Drehzahl des Dosierrades dem Zwischenspeicher 14 zugeführt wird, kann die dem Zwi schenspeicher zugeführte Pulvermenge bestimmt werden. Es ist aber auch möglich, andere Dosiereinrichtungen zu verwenden, die das dosierte Pulver entweder als Aerosol oder nicht als Aerosol in Richtung einer Verdampfungs kammer 3 eines Verdampfers 1 fördern. Zur Förderung des Aerosols kann durch eine Gaszuleitung 16 ein Trägergas in die Dosiervorrichtung 12 einge speist werden, dessen Massenfluss mittels eines Massenflusskontrollers 20 ge regelt werden kann.

[0014] Der optionale Zwischenspeicher 14 kann einen Auffangbehälter auf weisen, der in einem kalten Bereich 14' des Zwischenspeichers 14 kontinuierlich befüllt wird. Der Auffangbehälter kann in regelmäßigen oder unregelmäßigen Abständen zu einem heißen Bereich 14" des Zwischenspeichers 14 gebracht werden, um dort entleert zu werden. Der Inhalt des Auffangbehälters wird da bei mittels eines Gasstroms durch eine Einspeiseöffnung 5 in den Verdampfer 1 gefördert. Die Temperatur im heißen Bereich 14" des Zwischenspeichers 14 kann oberhalb der Ver dampf ungstemperatur des Ausgangsstoffs liegen. Es ist aber auch möglich, den Ausgangsstoff direkt von der Dosiervorrichtung 12 in den Verdampfer 1 einzuspeisen.

[0015] Der Verdampfer 1 besitzt eine erste Einspeiseöffnung 5, durch die der Ausgangsstoff mit oder ohne Trägergas in die Verdampfungskammer 3 des Verdampfers 1 gefördert wird. Der Verdampfer 1 besitzt eine zweite Einspeise öffnung. Durch die zweite Einspeiseöffnung kann ein durch eine Gaszulei tung 9 strömender Fördergasstrom in den Verdampfer 1 eingespeist werden. Der Fördergasstrom wird von einem Massenflusskontroller 10 geregelt. In der Gaszuleitung 9 befindet sich darüber hinaus ein Ventil 19. [0016] Der Ausgangsstoff wird in Form von festen oder flüssigen Partikeln, die Teil eines Aerosols sind, in die Verdampfungskammer 3 eingespeist. Die Partikel verteilen sich innerhalb des Verdampfungskörpers 4 unregelmäßig und können sich an den Oberflächen des Verdampfungskörpers 4 in unregelmäßi ger Materialstärke anlagern.

[0017] Der Verdampfer 1 besitzt eine Heizeinrichtung 2, mit der ein in der Verdampfungskammer 3 angeordneter Verdampfungskörper 4 auf eine Tempe ratur gebracht wird, bei der der in den Verdampfungskörper 4 eingespeiste Ausgangsstoff verdampfen kann. Der Verdampfungskörper 4 kann ein aus ei nem elektrisch leitenden Material bestehender Festkörperschaum sein. Durch Hindurchleiten eines elektrischen Stroms durch den Verdampfungskörper 4 kann diesem Energie zu geführt werden, mit der die Verdampfung des Aus gangsstoffs bewirkt wird. Der dabei entstehende Dampf wird mit dem Förder gasstrom zu einer Austrittsöffnung 6 des Verdampfers 1 transportiert, wo ein Förderkanal 7 entspringt, durch den der Dampf zu dem nicht dargestellten OLED-Reaktor transportiert wird.

[0018] Die Verdampfungsrate, mit der der Ausgangsstoff verdampft wird, hängt zum einen von der Verteilung der Partikel auf den Oberflächen des Ver dampfungskörpers 4 und zum anderen von der jeweiligen Materialstärke einer von zu verdampfenden Partikeln ausgebildeten Schicht auf den Oberflächen und darüber hinaus von den Partikelgrößen des Ausgangsstoffs ab. Da sich durch die stetige Verdampfung die Verteilung der Partikel und die Schichtdi cken von an den Oberflächen angelagerten Partikeln stetig ändert, unterliegt die Verdampfungsrate Schwankungen.

[0019] Mit der Bezugsziffer 8 ist ein QCM-Sensor bezeichnet, an dem der den Dampf und das Trägergas des Fördergasstroms beinhaltender Gasfluss vorbei- strömt. Mit dem Sensor 8 kann die Konzentration beziehungsweise der Partial druck des Dampfes innerhalb des Gasflusses bestimmt werden. Hierzu besitzt der Sensor 8 eine Depositionsfläche, die auf einer Temperatur unterhalb der Kondensationstemperatur des Dampfes gehalten wird, sodass auf der Deposi tionsfläche Kondensat abgeschieden wird. Die Abscheiderate wird von der Konzentration beziehungsweise dem Partialdruck des Dampfes innerhalb des Förderkanals 7 beeinflusst. Über einen tooling factor beziehungsweise eine Ka librierfunktion kann aus der Abscheiderate direkt die Konzentration bezie hungsweise der Partialdruck des Dampfes ermittelt werden. Ein Gasstrom, der mit dem Massenflusskontroller 21 geregelt wird, kann beispielsweise zu War tungszwecken oder zu Reinigungszwecken in den QCM-Sensor 8 eingespeist werden.

[0020] Aufgrund der schwankenden Verdampfungsrate würde der QCM- Sensor 8 bei einem konstant gehaltenen Fördergasstrom einen zeitlich stark va riierenden Partialdruck des Dampfes im Gasstrom messen.

[0021] Es ist eine Regeleinrichtung 11 vorgesehen, mit der der Massenfluss des Dampfes innerhalb des Förderkanals 7 variiert werden kann, um so den Mas senfluss des Dampfes innerhalb des Förderkanals 7 gegen einen Sollwert zu regeln. Hierzu wird der Massenflusskontroller 10 innerhalb der Gaszuleitung 9 angesteuert, um den Fördergasstrom zu variieren. Mit diesen Maßnahmen kann die starke Variation des Partialdrucks des Dampfes vermindert werden. Allerdings würde sich mit allein dieser Maßnahme auch der Gesamtfluss des am Sensor 8 vorbeiströmenden Gases ändern, was als nachteilig angesehen wird, da der Sensor nur auf eine Strömungsgeschwindigkeit kalibriert ist.

[0022] Mit einem Massenflusskontroller 22, der bevorzugt von derselben Gas quelle gespeist wird, von der auch die Massenflusskontroller 21, 22 und 10 ge- speist werden, wird ein Ausgleichsgas bereitgestellt, welches durch eine Aus gleichsgaszuleitung 15 in den Förderkanal 7 eingespeist wird. In der Aus gleichsgaszuleitung 15 befindet sich eine Heizeinrichtung 17, um das Aus gleichsgas auf dieselbe Temperatur aufzuheizen, auf die der Förderkanal 7 mit einer nicht dargestellten Heizeinrichtung beheizt wird. Mit den Bezugszif fern 23 und 24 sind Ventile bezeichnet, die sich im Förderkanal 7 beziehungs weise in der Ausgleichsgaszuleitung 15 befinden.

[0023] Die Mischstelle 18, an der die Ausgleichsgaszuleitung 15 in den För derkanal 7 mündet, befindet sich zwischen der Austrittsöffnung 6 und dem Sensor 8. Sie befindet sich stromaufwärts des Sensors 8.

[0024] Mit der Regeleinrichtung 11 wird der Massenflusskontroller 22 derart angesteuert, dass die Summe der Massenflüsse, die durch die Massenflusskon troller 10 und 22 fließen, konstant bleibt. Dies hat die gewünschte Folge, dass die Strömungsgeschwindigkeit des am Sensor 8 vorbeifließenden Gasstroms konstant bleibt. Eine zur Regelung des Massenflusses des Dampfes durch den Förderkanal 7 gegen einen Sollwert erfolgende Variation des Fördergasstroms in die eine Richtung, also beispielsweise eine Erhöhung, hat dieselbe, aber ent gegengerichtete Variation des Ausgleichsgasstroms, beispielsweise eine Ver minderung, zur Folge.

[0025] Mittels der Regeleinrichtung 11 und der von ihr angesteuerten Massen- fhisskontrollern 22, 10 kann der durch den Förderkanal 7 geförderte Dampf eine gleichbleibende Dampfrate, Dampfkonzentration oder dergleichen aufwei sen, wobei auch der Massenfluss des Trägergases innerhalb der Toleranzen konstantgehalten wird. Der Sensor 8 arbeitet bei der erfindungsgemäßen Maß nahme mit einer höheren Messgenauigkeit, da die Konzentrationen bezie- hungsweise Partialdrucke des Dampfes bei der Strömungsgeschwindigkeit er mittelt werden, bei der der Sensor kalibriert worden ist.

[0026] Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zu- mindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenstän dig weiterbilden, wobei zwei, mehrere oder alle dieser Merkmalskombinatio nen auch kombiniert sein können, nämlich:

[0027] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass an einer zwischen Verdampfer 1 und Sensor 8 angeordneten Mischstelle 18 ein Ausgleichsgas- ström in den Förderkanal 7 eingespeist wird, dessen Massenfluss von einem zweiten Massenflusskontroller 22 so geregelt wird, dass bei der Variation des Fördergasstroms der am Sensor 8 vorbeiströmende Gasstrom konstant bleibt.

[0028] Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass an einer zwi schen Verdampfer 1 und Sensor 8 angeordneten Mischstelle 18 eine einen zwei- ten Massenflusskontroller 22 aufweisende Ausgleichsgaszuleitung 15 mündet und die Regeleinrichtung 11 eingerichtet ist, den zweiten Massenflusskontrol- ler 22 derart anzusteuern, dass bei der Variation des Fördergasstroms der am Sensor 8 vorbeiströmende Gasstrom konstant bleibt.

[0029] Ein Verfahren oder eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet sind, dass der Sensor 8, an dem der Gasstrom mit einer konstanten Strömungsge schwindigkeit vorbeiströmt, eine Depositionsfläche aufweist, auf der der Dampf in einer vom Partialdruck oder der Konzentration abhängigen Rate kondensiert. [0030] Ein Verfahren oder eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet sind, dass die Summe der mit dem ersten Massenflusskontroller 10 und mit dem zweiten Massenflusskontroller 22 geregelten Massen-Flüsse mit einer Toleranz der Regelgenauigkeit der Massenflusskontroller konstant gehalten wird. [0031] Ein Verfahren oder eine Vorrichtung, die gekennzeichnet ist durch eine

Dosiervorrichtung 12, mit der aus einem Vorrat des Ausgangsmaterials eine abgemessene Menge an den Verdampfer 1 abgebbar ist.

[0032] Ein Verfahren oder eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet sind, dass das Ausgangsmaterial ein organisches Pulver ist und/ oder dass der Sen- sor ein QCM-Sensor ist und/ oder dass der Verdampfungskörper 4 ein offenpo riger Festkörperschaum ist und/ oder dass der Fördergasstrom und der Aus gleichsgasstrom von einer Inertgasquelle bereitgestellt werden.

[0033] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass mit dem erzeugten Dampf organische Schichten oder OLED-Schichten auf einem Substrat abge- schieden werden.

[0034] Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Förderka nal 7 in einem Gaseinlassorgan eines Reaktors mündet, der eine Prozesskam mer aufweist, in der organische Schichten oder OLED-Schichten auf einem Sub strat abgeschieden werden können. [0035] Ein Verfahren oder eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet sind, dass zwischen der Dosiervorrichtung 12 und dem Verdampfer 1 ein Zwischen speicher 14 zum Zwischenspeichern der abgemessenen Pulvermenge vorgese hen ist. [0036] Ein Verfahren oder eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet sind, dass der Zwischenspeicher 14 einen kalten Bereich 14' aufweist, in dem die mit der Dosiervorrichtung 12 abgemessene Menge des Ausgangsstoffs zwischenge speichert wird, und einen heißen Bereich 14" aufweist, in dem die abgemessene Menge des Pulvers gebracht wird, um durch eine Einspeiseöffnung 5 dem Ver dampfer 1 zugeführt zu werden und/ oder dass in der Dosiervorrichtung 12 eine Vorrichtung zur Bereitstellung einer quantifizierten Menge des Ausgangs materials angeordnet ist, wobei eine Vielzahl von quantifizierten Mengen zeit lich nacheinander in einem von einer Gaszuleitung 16 bereitgestellten Träger gasfluss gebracht werden, mit dem die quantifizierten Mengen als Aerosol- Fluss zum Zwischenspeicher 14 transportiert werden.

[0037] Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/ beigefügten Prioritäts unterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender An meldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbe sondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/ oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Er findung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorste henden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbeson dere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden kön nen. Liste der Bezugszeichen

1 Verdampfer

2 Heizeinrichtung

3 Verdampfungskammer

4 Verdampfungskörper

5 Einspeiseöffnung

6 Austrittsöffnung

7 Förderkanal

8 Sensor

9 Gaszuleitung

10 Massenflusskontroller

11 Regeleinrichtung

12 Dosiervorrichtung

13 Förderstrecke

14 Zwischenspeicher 14' kalter Bereich 14" heißer Bereich

15 Ausgleichsgaszuleitung

16 Gaszuleitung

17 Heizeinrichtung

18 Mischstelle

19 Ventil

20 Massenflusskontroller

21 Massenflusskontroller

22 Massenflusskontroller

23 Ventil

24 Ventil