Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beseitigung von Ablagerungen und/oder Nieder- schlag auf einem Substrat gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 , also eine Reinigungsvor- richtung.

Als Substrat kann beispielsweise eine Scheibe, eine Verbundglasscheibe, eine Linse eines opti- schen Systems, eine Schutz- oder Sichtscheibe oder eine sonstige Oberfläche verstanden wer- den. Oberflächen werden regelmäßig mittels manueller oder automatischer Vorrichtungen ge- gebenenfalls unter Zusatz von Reinigungsmitteln gereinigt. Zu solchen Vorrichtungen zählen beispielsweise Scheibenwischer, Wischer, Reinigungstücher und dergleichen.

Da ein manueller Eingriff in den Reinigungsvorgang oftmals nicht möglich ist, beispielsweise bei nicht zu öffnenden Fenstern, Windschutzscheiben von fahrenden Kraftfahrzeugen oder schwer zugänglichen Sichtscheiben in Maschinen oder unzugänglichen Kamerasystemen, werden Vor- richtungen zum Reinigen von Substratoberflächen vorgesehen, die keines manuellen Eingriffs bedürfen. Zudem ist es regelmäßig aus ästhetischen oder technischen Gesichtspunkten wün- schenswert, dass die zu reinigende Oberfläche so wenig wie möglich von der Reinigungsvor- richtung verdeckt wird.

Dies hat den Hintergrund, dass etwa bei Sichtscheiben ein größtmöglicher Sichtbereich wün- schenswert ist, oder, dass die Reinigungsvorrichtung beispielsweise im Falle von Scheibenwi- schern einen technischen Nachteil bietet. Ein solcher Nachteil kann mitunter darin bestehen, dass sich der Strömungswiderstand von Kraftfahrzeugen durch die Vorrichtung erhöht oder, dass sich Schmutz an der Reinigungsvorrichtung selbst anlagert. Auch bei Kamerasystemen, optischen Überwachungsvorrichtungen Rückspiegeln oder sonstigen optischen Systemen ist es wünschenswert, das Sichtfeld durch die Reinigungsvorrichtung möglichst wenig einzuschrän- ken.

Zur Vermeidung dieser Nachteile ist in der WO 2012/095643 A1 eine Vorrichtung zum Entfer- nen von Regen oder Sprühregen von der Oberfläche eines Fensters vorgesehen. Die

Vorrichtung umfasst das Fenster sowie ein oder mehrere piezoelektrische Wandler (Trans- ducer), die an dem Fenster befestigt sind. Die Vorrichtung nach WO 2012/095643 A1 ist dazu ausgebildet, den Regen oder Sprühregen durch Verwendung von Ultraschallwellen, also mittels Ultraschall zu verdampfen, wobei die Ultraschallwellen durch den mindestens einen piezoe- lektrischen Wandler erzeugt werden.

Für die Übertragung der Schallenergie von dem Transducer in das Substrat muss der jeweilige Transducer an dem Substrat in exakt definierter Weise und zuverlässig befestigt sein. Dies kann beispielsweise durch eine stoffschlüssige Verbindung erfolgen. Durch die Befestigung wird einerseits sichergestellt, dass der Transducer auch während dessen Betriebs auf dem Substrat verbleibt und andererseits die Schallenergie in das Substrat übertragen wird. Dabei ist es regel- mäßig der Fall, dass sich die Materialien von Transducer, der Verbindung und dem Substrat un- terscheiden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Beseitigung von Ablagerungen und/oder Niederschlag auf einem Substrat dahingehend zu verbessern, dass Verluste bei der Übertragung der Schallenergie zwischen dem Transducer und dem Substrat verringert werden.

Hauptmerkmale der Erfindung sind im kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 angegeben. Aus- gestaltungen sind Gegenstand der Ansprüche 2 bis 10. Die Erfindung betrifft weiterhin gemäß Anspruch 11 ein optisches System zur Umgebungsüberwachung mit einer optischen Überwa- chungsvorrichtung aufweisend die Vorrichtung zur Beseitigung von Ablagerungen und/oder Nie- derschlag auf einem Substrat.

Bei einer Vorrichtung zur Beseitigung von Ablagerungen und/oder Niederschlag auf einem Sub- strat aufweisend mindestens einen mit dem Substrat durch eine Verbindungsschicht verliersi- cher verbundenen Transducer, wobei die Verbindungsschicht zwischen dem Substrat und dem Transducer angeordnet ist, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass die Verbindungsschicht ein Verbindungsmaterial und ein Füllmaterial aufweist.

Als Substrat kann beispielsweise in einer Weiterbildung der Erfindung ein transparentes Mate- rial, eine Sichtscheibe, eine Linse ein Spiegel oder eine Schutzscheibe vorgesehen sein, wobei das Substrat ein oder mehrlagig sein kann. Als Transducer kann ein piezoelektrischer Wandler, insbesondere ein Bleizirkonattitanat-Wandler (PZT) vorgesehen sein, wobei der Transducer auf der dem Substrat zugewandten Seite Elektrodenanordnungen aufweisen kann, die in einer nä- heren Ausgestaltung kammartig oder reißverschlussartig ineinandergreifen (Inter-Digital Trans- ducer).

Optional sind durch den jeweiligen Transducer bei einem entsprechenden Antrieb durch eine hier nicht näher beschriebene Treibereinrichtung und gegebenenfalls eine Steuer- und/oder Re- geleinrichtung verschiedene Wellenmoden erzeugbar. So können durch den Transducer Ober- flächenwellen und/oder Raumwellen erzeugbar sein. Raumwellen sind beispielsweise Longitu- dinalwellen oder Transversalwellen. Longitudinalwellen schwingen in deren Ausbreitungsrich- tung. Transversalwellen schwingen quer zu deren Ausbreitungsrichtung. Oberflächenwellen entstehen beispielsweise durch Brechung von Raumwellen an Grenzschichten. Die Oberflä- chenwellen breiten sich senkrecht zu deren Schwingungsrichtung entlang einer Grenzfläche zwischen zwei akustisch unterschiedlichen Medien aus. Beispielsweise schwingen Love-Wellen an der Grenzfläche in horizontaler Richtung und breiten sich senkrecht zu der Schwingungsrich- tung aus. Rayleigh-Wellen schwingen, bezogen auf die Grenzfläche in vertikaler Richtung und breiten sich senkrecht zu der Schwingungsrichtung entlang der Grenzfläche aus. Die Oberflä- chenwellen erfahren in das jeweilig jenseits der Grenzfläche liegende Material eine starke Dämpfung. Die durch den Transducer erzeugten Schallwellen sind bevorzugt Ultraschallwellen. Ultraschall ist der Frequenzbereich, der oberhalb des Hörfrequenzbereichs des Menschen liegt und beginnt bei etwa 16 kHz. Die Verbindungsschicht ist in einer Weiterbildung der Erfindung eine Schicht, die den Trans- ducer mit dem Substrat stoffschlüssig verbindet. Dies kann optional durch eine Klebeschicht vorgesehen sein. Optional sorgt das Verbindungsmaterial für die Adhäsion des Transducers auf dem Substrat und weist materialspezifische mechanische und akustische Verbindungsmateri- aleigenschaften auf. Optional kann das Füllmaterial ebenfalls zur Adhäsion beitragen aber zu- dem auch einen Abstand zwischen dem Substrat und dem Transducer definieren. Das Füllma- terial weist ebenfalls materialspezifische mechanische und akustische Füllmaterialeigenschaf- ten auf. In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Verbindungsschicht den Transducer das Substrat und/oder das Füllmaterial miteinander verbindet, insbesondere stoff- schlüssig miteinander verbindet, wobei in einer näheren Ausgestaltung der Erfindung vorgese- hen ist, dass die Verbindungsschicht im Wesentlichen gasfrei ist.

Durch das Vorsehen einer Verbindungsschicht aus einem Verbindungsmaterial und einem Füll- material ergibt sich der Vorteil, dass die Verbindungsschicht durch Auswahl ihrer Materialzu- sammensetzung sowohl hinsichtlich ihrer mechanischen Eigenschaften, d.h. beispielsweise Dichte, Härte oder Viskosität, als auch hinsichtlich ihrer akustischen Eigenschaften, wie bei- spielsweise Schallausbreitungsgeschwindigkeit, beeinflussbar ist. Auf diese Weise lassen sich akustische Impedanzunterschiede bzw. akustische Impedanzkontraste zwischen der jeweiligen Feldimpedanz eines Material des Transducers und eines Material des Substrats einstellen. Dadurch kann in vorteilhafter Weise beeinflusst werden, ob und mit welchem Ausmaß eine Re- flexion der Schallenergie an einer Grenzfläche zwischen dem T ransducer und der Verbindungs- schicht und zwischen der Verbindungsschicht und dem Substrat auftritt. Zudem ist ein weiterer Vorteil dadurch gegeben, dass der Transducer insbesondere durch die Auswahl des Füllmateri- als, das der Verbindungsschicht eine mechanische Stabilität verleihen kann, präzise zu dem Substrat ausrichtbar ist. Eine präzise Ausrichtung des Transducers zu dem Substrat hat den Vorteil, dass die durch den Transducer erzeugten Schallwellen optimal in das Substrat einge- koppelt werden und sich dort in definierter Art und Weise ausbreiten.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die akustischen und/oder die mechanischen Eigenschaften der Verbindungsschicht durch das Masseverhältnis zwischen dem Verbindungsmaterial und dem Füllmaterial eingestellt sind. Optional ist vorgese- hen, dass das Massenverhältnis von dem Füllmaterial zu dem Verbindungsmaterial hinsichtlich der gewünschten akustischen und/oder mechanischen Eigenschaften der Vorrichtung optimiert ist. Über die Einstellung des Masseverhältnisses lassen sich in vorteilhafter und einfacher Weise die akustischen und/oder die mechanischen Eigenschaften der Verbindungsschicht be- einflussen, da das Verbindungsmaterial und das Füllmaterial lediglich abgewogen und ver- mengt werden müssen. Die gewünschten akustischen und/oder mechanischen Eigenschaften lassen sich in Abhängigkeit des Masseverhältnisses beispielsweise experimentell oder nume- risch bestimmen. Auf diese Weise sind entsprechend des gewünschten Einsatz-Frequenzbe- reichs des Transducers und des jeweiligen Mediums des Transducers und des Substrats die akustischen Impedanzkontraste zwischen dem Transducer und der Verbindungsschicht sowie zwischen der Verbindungsschicht und dem Substrat einstellbar.

Eine weitere Ausprägung der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass das Verbindungsmate- rial mindestens eine Materialkomponente aufweist, die durch Strahlenhärtung, insbesondere durch UV-Strahlen, oder thermisch aushärtet, wobei über den Aushärteprozess vorzugsweise die akustischen und/oder mechanischen Eigenschaften der Vorrichtung beeinflussbar sind. Op- tional ist die Erfindung dadurch ausgestaltet, dass das Verbindungsmaterial ein Zwei-Kompo- nenten Material aufweist, das durch Strahlenhärtung oder thermisch härtet. Es kann vorgese- hen sein, dass das Verbindungsmaterial ein Epoxidharz ist. Strahlaushärtung und/oder thermi- sche Aushärtung gestaltet sich deshalb vorteilhaft, weil die Aushärtung auch indirekt erfolgen kann. Indirekt bedeutet in diesem Kontext, dass kein Kontakt zu einem anderen Aushärteme- dium, wie beispielsweise Sauerstoff, vorhanden sein muss. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn der Transducer durch die Verbindungsschicht an einem transparenten Substrat angebracht wird. Dann ist die Verbindungsschicht, bzw. das Verbindungsmaterial in der Verbin- dungsschicht durch das Substrat hindurch, beispielsweise von der dem Transducer gegenüber- liegenden Seite aus aushärtbar.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass die Schallausbreitungsgeschwindig- keit in dem Füllmaterial unterschiedlich zu der Schallausbreitungsgeschwindigkeit in dem Ver- bindungsmaterial ist. In einer näheren Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Schallausbrei- tungsgeschwindigkeit in dem Füllmaterial höher ist als die Schallausbreitungsgeschwindigkeit in dem Verbindungsmaterial. Es kann auch vorgesehen sein, dass die Dichte des Füllmaterials unterschiedlich, bevorzugt höher ist, als die Dichte des Verbindungsmaterials. Zudem kann vor- gesehen sein, dass die Härte des Füllmaterials unterschiedlich, bevorzugt höher ist, als die Härte des Verbindungsmaterials. Auf diese Weise lässt sich die Schallausbreitungsgeschwin- digkeit in der Verbindungsschicht zur Steuerung der Impedanzkontraste zwischen Transducer und Verbindungsschicht sowie Verbindungsschicht und Substrat in vorteilhafter Weise einstel- len. Die Dichte und die Härte sind weitere Materialeigenschaften, die in vorteilhafter Weise di- rekt oder indirekt die Schallausbreitungsgeschwindigkeit und die Impedanz des Verbindungs- material und des Füllmaterials und somit auch die Impedanz der Verbindungsschicht beeinflus- sen.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Schallausbreitung in der Verbindungsschicht anisotrop ist. Auf diese Weise wird vorteilhaft die Ausbreitung von Oberflä- chenwellen entlang der Grenzfläche zwischen Transducer und Substrat bei entsprechender mechanischer Anregung durch den Transducer begünstigt.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das Füllmaterial wenigstens teilweise aus einem Silikatglas, insbesondere einem Borosilikatglas besteht. Durch das Verwenden eines der obenstehenden Glase ergibt sich der Vorteil, dass die akustischen Eigenschaften der Ver- bindungsschicht über das Füllmaterial an die akustischen Eigenschaften des Substrats anpass- bar sind. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn das Substrat selbst ein Glas ist.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass das Füllmaterial ei- nen definierten Abstand zwischen dem Transducer und dem Substrat herstellt. Der durch das Füllmaterial definierte Abstand ist insbesondere in Hinblick auf die Kopplung des Transducers an das Substrat sowie für die Ausrichtung des Transducers relativ zu der Oberfläche des Sub- strats vorteilhaft.

In einer näheren Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass mindestens ein Formkörper aus dem Füllmaterial eine akustische Brücke durch eine Kopplung mit dem Trans- ducer und dem Substrat bildet. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der mindestens eine Formkörper ein Festkörper, vorzugsweise massiv ist. Die Erfindung kann dadurch weitergebildet sein, dass der mindestens eine Formkörper eine dem Abstand entspre- chende Abmessung aufweist. Somit ist in mechanischer Hinsicht ein Abstand zwischen dem T ransducer und dem Substrat durch das Füllmaterial in vorteilhafter Weise fest und eindeutig definiert. Der mindestens eine Formkörper kann eine das Füllmaterial aufweisende Matrix in dem Verbindungsmaterial ausbilden. Durch die akustische Koppelung des Transducers mit dem Substrat über die akustische Brücke des Füllmaterials, also den direkten Materialkontakt des Verbindungsmaterials mit dem Transducer und dem Substrat ergibt sich der weitere Vorteil, dass u.a. die akustischen Eigenschaften der Verbindungsschicht dadurch beeinflussbar sind. Auf diese Weise lassen sich die Impedanzkontraste zwischen Transducer und Verbindungs- schicht sowie zwischen der Verbindungsschicht und dem Substrat zusätzlich vorteilhaft beein- flussen.

Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass der mindestens eine Formkörper kugelförmig oder stabförmig ist. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Durch- messer des mindestens einen kugelförmigen oder stabförmigen Formkörpers einem Bruchteil einer Betriebsfrequenz des Transducers entspricht. Eine Weiterbildung sieht optional vor, dass der mindestens eine stabförmige Formkörper liegend oder stehend angeordnet ist. Durch die kugel- oder stabförmige Ausgestaltung des mindestens einen Formkörpers ergibt sich in vorteil- hafter Weise, dass der oder die Formkörper gut in dem Verbindungsmaterial verteilbar sind und stets in einer definierten Lage in dem Verbindungsmaterial vorliegen, was einen positiven Ein- fluss auf die Übertragung der Schallwellen von dem Transducer zu dem Substrat hat.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Verbindungs- material an einer Grenzfläche zwischen dem mindestens einen Formkörper und dem Trans- ducer und an einer Grenzfläche zwischen dem mindestens einen Formkörper und dem Substrat angeordnet ist. Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Verbindungsschicht zur Einkopplung von vom Transducer erzeugten Oberflächenwellen und/oder Raumwellen in das Substrat vorgesehen ist. Somit ist auf vorteilhafte Weise eine weitere Möglichkeit gegeben, die akustischen und mechanischen Eigenschaften der Verbindungsschicht zu beeinflussen.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass die Vorrichtung weiterhin einen Gene- rator zur Erzeugung eines Treibersignals in einem Frequenzbereich über 100 kHz zum Antrieb eines Transducers aufweist. Dadurch, dass ein Generator vorgesehen ist und das Treibersignal für den Transducer in einem Frequenzbereich über 100 kHz liegt, lassen sich Oberflächenver- unreinigungen, wie zum Beispiel Niederschlag oder sonstige Ablagerungen besonders effizient mittels der in den Niederschlag oder die sonstigen Ablagerungen eingeschalteten Ultraschall wellen durch deren Vaporisierung und/oder Bewegung entfernen.

Die Erfindung betrifft außerdem ein Optisches System zur Umgebungsüberwachung mit einer optischen Überwachungsvorrichtung mit einer Linse und/oder einem Sichtfenster und der oben- stehend beschriebenen Vorrichtung und deren Ausgestaltungen, wobei die Linse oder das Sichtfenster durch das Substrat gebildet ist. Der Einsatz der obenstehenden Vorrichtung gestal- tet sich insbesondere für ein optisches System zur Umgebungsüberwachung vorteilhaft, weil durch den Einsatz des mindestens einem Transducers auf der Linse oder dem Sichtfenster si- chergestellt ist, dass ein Sichtbereich bzw. Überwachungsbereich des optischen Systems wei- testgehend unbeeinträchtigt bleibt.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus dem Wortlaut der Ansprüche sowie aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische, perspektivische Ansicht des Substrats mit einem daran angeordne- ten Transducer;

Fig. 2 eine schematische, Schnittansicht des Substrats mit einem daran angeordneten Trans- ducer nach einer ersten Ausführungsform;

Fig. 3 eine schematische, Schnittansicht des Substrats mit einem daran angeordneten Trans- ducer nach einer zweiten Ausführungsform und

Fig. 4 eine schematische, Schnittansicht des Substrats mit einem daran angeordneten Trans- ducer nach einer dritten Ausführungsform.

Fig. 1 zeigt eine schematische, perspektivische Ansicht der Vorrichtung 1 zur Beseitigung von Ablagerungen und/oder Niederschlag auf einem Substrat 10 mit einem an dem Substrat 10 an- geordneten Transducer 20 nach einer ersten Ausführungsform, wobei der Transducer auf einer Oberfläche 11 des Substrats angeordnet ist.

Fig. 2 zeigt eine schematische, Schnittansicht der Vorrichtung 1 zur Beseitigung von Ablagerun- gen und/oder Niederschlag auf einem Substrat 10 mit einem an dem Substrat 10 angeordneten Transducer 20 nach einer ersten Ausführungsform. Der Transducer ist auf einer Oberfläche 1 1 des Substrats 10 angeordnet. Zwischen dem Substrat 10 und dem Transducer 20 liegt eine Verbindungsschicht 30, die ein Verbindungsmaterial 31 und ein Füllmaterial 32 aufweist.

In der vorliegenden ersten Ausführungsform liegt das Füllmaterial 32 in Form von als Kugeln o- der Zylindern ausgebildeten Formkörpern 34 in dem Verbindungsmaterial 31 ein. Die Formkör- per 34 bilden eine Matrix für das Verbindungsmaterial 31 , sodass die Verbindungsschicht 30 dementsprechend aus zwei Komponenten aufgebaut ist. Die Mächtigkeit der Verbindungs- schicht 30 wird durch den durch die Formkörper 34 vorgegebenen Abstand 33 definiert. Die Formkörper 34 liegen sowohl unmittelbar an dem T ransducer 20 als auch unmittelbar an dem Substrat 10 an und bilden eine akustische Brücke. Fig. 3 zeigt eine schematische, Schnittansicht der Vorrichtung 1 zur Beseitigung von Ablagerun- gen und/oder Niederschlag auf einem Substrat 110 mit einem an dem Substrat 110 angeordne- ten Transducer 120 nach einer zweiten Ausführungsform.

Die dem Transducer 120 zugewandte Oberfläche 11 1 des Substrats 1 10 ist gekrümmt. Der Transducer 120 weist in der dem Substrat 1 10 zugewandten Oberfläche eine im Wesentlichen der Krümmung der Oberfläche 11 1 entsprechende Krümmung auf.

Auch in dieser Ausführungsform liegt das Füllmaterial 32 in Form von als Kugeln oder Zylindern ausgebildeten Formkörpern 34 in dem Verbindungsmaterial 31 ein, wobei die Formkörper 34 eine Matrix für das Verbindungsmaterial 31 ausbilden. Die Verbindungsschicht 30 ist demnach aus zwei Komponenten aufgebaut. Die Formkörper 34 liegen sowohl unmittelbar an dem Trans- ducer 120 als auch unmittelbar an dem Substrat 1 10 an und bilden eine akustische Brücke. Die Mächtigkeit der Verbindungsschicht 30 wird durch den durch die Formkörper 34 vorgegebenen Abstand 33 definiert.

Fig. 4 zeigt eine schematische, Schnittansicht der Vorrichtung 1 zur Beseitigung von Ablagerun- gen und/oder Niederschlag auf einem Substrat 110 mit einem an dem Substrat 110 angeordne- ten Transducer 20 nach einer dritten Ausführungsform.

In dieser Ausführungsform ist die dem T ransducer 20 zugewandte Oberfläche 11 1 des Sub- strats 1 10 gekrümmt, wobei die dem Substrat 1 10 zugewandten Oberfläche des Transducers 20 im Wesentlichen keine Krümmung aufweist. Demnach variiert der Abstand 233, 235 zwi- schen dem Transducer 20 und der Oberfläche 111 des Substrats 110.

Die Formkörper 234a, 234b aus dem Füllmaterial 32 weisen unterschiedliche Durchmesser auf, um den variierenden Abstand 233, 235 zwischen der Oberfläche 1 11 und dem Transducer 20 zu kompensieren. Die Formkörper 234a, 234b liegen hierbei sowohl an der Oberfläche 1 11 des Substrats 1 10, als auch an dem Transducer 20 an und bilden eine akustische Brücke aus.

Der Zwischenraum zwischen Transducer 20 und der Oberfläche 1 11 ist neben dem Füllmaterial 32 mit dem Verbindungsmaterial 31 aufgefüllt. Die Erfindung ist nicht auf eine der vorbeschriebenen Ausführungsformen beschränkt, sondern in vielfältiger Weise abwandelbar. Es kann beispielsweise vorgesehen sein, dass das Füllmate- rial 32 in dem Verbindungsmaterial 31 eingebettet ist und nicht aus diskreten Formkörpern 34 besteht, sondern vielmehr mit dem Verbindungsmaterial vermengt ist.

Alternativ dazu kann vorgesehen sein, dass der mindestens eine Formkörper 34, 234a, 234b ein Strukturkörper ist, der eine vorzugsweise regelmäßige Struktur, insbesondere eine Netz- struktur oder eine Wabenstruktur, aufweist.

Sämtliche aus den Ansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung hervorgehenden Merk- male und Vorteile, einschließlich konstruktiver Einzelheiten, räumlicher Anordnungen und Ver- fahrenssch ritten, können sowohl für sich als auch in den verschiedensten Kombinationen erfin- dungswesentlich sein.

Bezugszeichen liste

1 Vorrichtung 10,110 Substrat

11, 111 Oberfläche

20, 120 Transducer

30 Verbindungsschicht

31 Verbindungsmaterial

32 Füllmaterial 33,233 erster Abstand, 234a, 234b Formkörper

35, 235 zweiter Abstand