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Patent Searching and Data


Title:
EIGA COIL HAVING ANNULAR TURNS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2021/028476
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to an EIGA coil (10) for melting an electrode (40). The EIGA coil (10) comprises a plurality of turns (12A, 12B, 12C), which are mutually coaxial with respect to a center axis (M) and are mutually axially spaced, each of the plurality of turns (12A, 12B, 12C) being in the form of a ring interrupted by a gap (14A, 14B, 14C), said ring being equidistant with respect to the center axis (M) and extending in a plane perpendicular to the center axis (M). Adjacent turns (12A, 12B; 12B, 12C) of the plurality of turns (12A, 12B, 12C) are interconnected by means of a connection portion (20AB, 20BC; 120AB, 120BC) in each case.

Inventors:
SPITANS SERGEJS (DE)
WINTON MARKUS (DE)
PFAHLS FRANZ (DE)
FRANZ HENRIK (DE)
RADTKE HANS-JÜRGEN (DE)
Application Number:
PCT/EP2020/072635
Publication Date:
February 18, 2021
Filing Date:
August 12, 2020
Export Citation:
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Assignee:
ALD VACUUM TECHN GMBH (DE)
International Classes:
B22F3/105; B22F9/08; B33Y80/00; H05B6/36; H05B6/44
Domestic Patent References:
WO2015092008A12015-06-25
WO2019002122A12019-01-03
Foreign References:
DE4102101A11992-07-30
DE4102101A11992-07-30
Attorney, Agent or Firm:
FUCHS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFT MBB (DE)
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Claims:
Ansprüche

1. EIGA-Spule (10) zum Anschmelzen einer Elektrode (40), umfassend eine Mehrzahl von in Bezug auf eine Mittelachse (M) koaxial zueinander angeordneten und axial voneinander beabstandeten Windungen (12A, 12B, 12C), wobei jede der Mehrzahl von Wndungen (12A, 12B, 12C) in Gestalt eines durch einen Spalt (14A, 14B, 14C) unterbrochenen Rings ausgebildet ist, der in Bezug auf die Mittelachse (M) äqui distant ist und sich in einer zu der Mittelachse (M) senkrechten Ebene erstreckt, und wobei benachbarte Wndungen (12A, 12B; 12B, 12C) der Mehrzahl von Wndungen (12A, 12B, 12C) jeweils über einen Verbindungsabschnitt (20AB, 20BC; 120AB, 120BC) miteinander ver bunden sind.

2. EIGA-Spule (10) nach Anspruch 1, wobei wenigstens zwei Wndungen (12A, 12B, 12C) der Mehrzahl von Wndungen (12A, 12B, 12C) unterschiedliche Innendurchmesser (L1, L3) ha ben.

3. EIGA-Spule (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei sich der Verbindungsabschnitt (120AB, 120BC) parallel zu der Mittelachse (M) erstreckt.

4. EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der Spalt (14A, 14B, 14C) zwischen 0,5 mm und 30 mm breit ist, vorzugsweise zwischen 2 mm und 20 mm, weiter bevorzugt zwischen 5 mm und 10 mm.

5. EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine Wndung (12A) der Mehrzahl von Wndungen (12A, 12B, 12C), die den größten Innendurchmesser (L1) auf weist, einen Innendurchmesser zwischen 40 mm und 300 mm hat.

6. EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine Wndung (12C) der Mehrzahl von Wndungen (12A, 12B, 12C), die den geringsten Innendurchmesser (L3) auf weist, einen Innendurchmesser zwischen 10 mm und 100 mm hat, vorzugsweise zwischen 20 mm und 50 mm.

7. EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche, die in Bezug auf Gestalt und/oder Dimensionen unterschiedliche Querschnittsgeometrien hat.

8. EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche, die aus keramikfreiem Kupfermaterial hergestellt ist.

9. EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche, die mittels eines additiven Fertigungsverfahrens hergestellt ist, vorzugsweise mittels eines 3D-Druck-Verfahrens.

10. Vorrichtung (30) zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens, umfassend eine EIGA-Spule (10) nach einem der vorangehenden Ansprüche; eine koaxial zu der Mehrzahl an Windungen (12A, 12B, 12C) angeordnete Elektrode (40), die sich abschnittsweise in die EIGA-Spule (10) hinein erstreckt und entlang einer Längsachse (A) der Elektrode (40) relativ zu der EIGA-Spule (10) verlagerbar ist, um mittels der EIGA-Spule (10) abgeschmolzen zu werden; und eine koaxial zu der Elektrode (40) und der Mehrzahl an Wndungen (12A, 12B, 12C) ange ordnete Düse (50) zum Verdüsen von abgeschmolzenem Elektrodenmaterial (44).

11. Verfahren zum Herstellen von hochreinem Metallpulver, das die Schritte umfasst: Verlagern einer Elektrode (40) relativ zu einer EIGA-Spule (10);

- Anlegen von Wechselstrom an die EIGA-Spule (10) zum Anschmelzen der Elektrode (40) durch Erzeugung von in Bezug auf eine Längsachse (A) der Elektrode (40) azi mutal symmetrischen Lorentz-Kräften (LK1, LK2); und Verdüsen von abgeschmolzenem Elektrodenmaterial (44).

Description:
EIGA-Spule mit ringförmigen Windungen

Die vorliegende Erfindung betrifft eine EIGA-Spule (EIGA, engl.: „Electrode Induction Melting (Inert) Gas Atomization“) zum Anschmelzen einer Elektrode für die Herstellung hochwertiger und reiner Metallpulver. Eine EIGA-Spule bezeichnet eine Induktionsspule für eine EIGA-An- lage zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens sowie ein EIGA-Verfahren zum Herstellen von hochreinem Metallpulver.

Hintergrund der Erfindung

Das EIGA-Verfahren zur keramikfreien Herstellung hochreiner Metall- bzw. Edelmetallpulver, wie beispielsweise Pulver aus Titan-, Zirkonium-, Niob- und Tantallegierungen, basiert auf der Durchführung eines Elektroden-Induktionsschmelzvorgangs. Eine vertikal aufgehängte, rotie rende Elektrode wird unter Vakuum oder unter Inertgasatmosphäre kontinuierlich einer darunter angeordneten konischen Induktionsspule (EIGA-Spule) zugeführt und mittels dieser berüh rungslos an- bzw. abgeschmolzen. Die Rotationsbewegung der Elektrode um die eigene Längs achse sorgt dabei für ein gleichförmiges Schmelzen der Elektrode. Ein durch das An- bzw. Ab schmelzen erzeugter Schmelzstrahl fließt sodann durch eine unter der Induktionsspule (EIGA- Spule) angeordnete Inertgasdüse und wird hier verdüst und zerstäubt. Anschließend erstarrt der Nebel aus Mikrotropfen in dem nachgelagerten Verdüsungsturm und bildet ein sphärisch geformtes, feinkörniges Pulver. Das gebildete Pulver wird in einem vakuumdichten Behälter auf gefangen und gesammelt.

Für das EIGA-Verfahren können Stangenelektroden aus einem gewünschten Metall oder einer Speziallegierung verwendet werden. Insbesondere können diese Elektroden einen Durchmes ser von bis zu 150 mm und eine Läng von bis zu 1000 mm haben.

Die konische Gestalt der EIGA-Spule (Induktionsspule) und eine eingestellte Generatorfrequenz sind auf das Schmelzen der Elektrode und das Abtropfen der Schmelze von einem Ende der Elektrode optimiert. Herkömmliche EIGA-Spulen sind in Form einer konischen Helix oder ko nisch verlaufenden Schraubenlinie ausgebildet. Hierzu wird in der Praxis ein Kupferrohr, das die Windungen der EIGA-Spule bildet, über eine vordefinierte Form gewickelt.

Ein EIGA-Verfahren der beschriebenen Art sowie eine zugehörige EIGA-Anlage sind beispiels weise in dem Dokument DE 41 02 101 A1 offenbart. Bei der Durchführung des EIGA-Verfahrens kann es bei bekannten EIGA-Anlagen dazu kom men, dass von der Elektrode abgeschmolzene Tropfen geschmolzenen Metalls nicht exakt durch die Inertgasdüse hindurch fallen. Stattdessen fallen einige Tropfen beispielsweise auf den Rand oder einen Rahmen der kalten Inertgasdüse, erstarren dort und können unter Umständen die Düse teilweise oder vollständig verstopfen. Auch können abgeschmolzene Tropfen auf die Induktionsspule treffen und einen Kurzschluss verursachen, der den Verfahrensablauf unter bricht.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile aus dem Stand der Tech nik zu überwinden. Insbesondere besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, eine EIGA-Spule, eine Vorrichtung zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens und ein Verfahren zum Herstellen von hochreinem Metallpulver bereitzustellen, die eine Verunreinigung und/oder Beschädigung der EIGA-Anlage durch von der Elektrode abgeschmolzene Tropfen vermeideen.

Die Aufgaben werden durch eine EIGA-Spule zum Anschmelzen einer Elektrode, eine Vorrich tung zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens und ein Verfahren zum Herstellen von hochrei nem Metallpulver gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst. Weiterbildungen und Ausführungsformen der EIGA-Spule, der Vorrichtung und des Verfahrens sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche und der nachstehenden Beschreibung.

Beschreibung der Erfindung

Die erfindungsgemäße EIGA-Spule zum An- und Abschmelzen einer Elektrode umfasst eine Mehrzahl von in Bezug auf eine Mittelachse der EIGA-Spule koaxial zueinander angeordneten und axial voneinander beabstandeten Windungen. Die Mittelachse der EIGA-Spule ist koaxial zu einer Längsachse der Elektrode.

Im Sinne der vorliegenden Erfindung bezeichnet der Begriff EIGA-Spule eine Induktionsspule für eine EIGA-Anlage bzw. zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens. Die EIGA-Spule kann we nigstens zwei Windungen, vorzugsweise wenigstens drei Windungen oder auch mehr als drei Windungen umfassen.

Erfindungsgemäß ist jede der Mehrzahl von Windungen in Gestalt eines durch einen Spalt un terbrochenen Rings ausgebildet. Die EIGA-Spule umfasst somit eine der Anzahl von Windun gen entsprechende Anzahl von Ringen, wobei jeder der Ringe durch einen Spalt geringer Breite unterbrochen und somit nicht geschlossen ist. Genauer gesagt ist jeder der Ringe ein Ringseg ment mit einem ersten Ende und einem zweiten Ende, wobei der zugehörige Spalt zwischen den beiden Enden des Ringsegments liegt. Da jedes Ringsegment aufgrund der sehr geringen Breite des zugehörigen Spalts einen nahezu vollständigen Ring bildet, wird es im Rahmen der vorliegenden Erfindung als unterbrochener Ring bzw. Ring bezeichnet.

Gemäß der Erfindung ist jeder unterbrochene Ring in Bezug auf die Mittelachse äquidistant und erstreckt sich innerhalb einer zu der Mittelachse senkrechten, dem jeweiligen Ring zugehörigen Ebene. Mit anderen Worten erstreckt sich jede der Mehrzahl von Windungen innerhalb einer je weils zugehörigen Ebene, die senkrecht zu der Mittelachse ist. Die Ebenen in denen sich die einzelnen Ringe bzw. Windungen erstrecken sind somit zueinander parallel. Mit anderen Wor ten sind die Ringe bzw. Windungen zueinander parallel angeordnet. Im Betrieb sind die Ebenen in denen sich die einzelnen Ringe bzw. Windungen erstrecken horizontal. Es versteht sich, dass die Windungen bzw. Ringe dreidimensionale Objekte sind und dass die Erstreckung jeder Win dung bzw. jedes Rings (genauer gesagt Ringtorus) in nur einer Ebene, die senkrecht zu der Mit telachse ist, eine Erstreckung eines dreidimensionalen Objekts gemäß dieser Ebene bzw. in übereinstimmender Ausrichtung dieser Ebene beschreibt. Mit anderen Worten beschreibt die Erstreckung jeder Windung bzw. jedes Rings in nur einer Ebene, die senkrecht zu der Mittel achse ist, dass sich eine einen (nahezu vollständigen) Kreisring bildende horizontale Quer schnittsfläche der Windung bzw. des Rings nur in dieser Ebene erstreckt.

Benachbarte Windungen der Mehrzahl von Windungen sind jeweils über einen Verbindungsab schnitt miteinander verbunden. Der Verbindungsabschnitt kann mit den benachbarten Windun gen im Bereich der zugehörigen Spalte verbunden sein. Insbesondere kann jeder Verbindungs abschnitt ein zweites Ende einer Windung der Mehrzahl von Windungen mit einem ersten Ende einer dazu benachbarten Windung der Mehrzahl von Windungen verbinden.

Die EIGA-Spule kann insgesamt eine konische Gestalt aufweisen. Hierzu haben wenigstens zwei der Windungen bzw. kreisförmigen Ringe unterschiedliche Innendurchmesser. In einer Ausführungsform können alle Windungen der EIGA-Spule unterschiedliche Innendurchmesser haben. Alternativ können einige Windungen denselben Innendurchmesser haben und im Ver gleich zu weiteren Windungen der EIGA-Spule einen unterschiedlichen Innendurchmesser ha ben. Insbesondere kann die EIGA-Spule in Richtung einer nachgelagerten Inertgasdüse entlang der Mittelachse betrachtet eine insgesamt konisch zulaufende Gestalt haben. Hierzu hat eine Windung der EIGA-Spule, die näher in Richtung der nachgelagerten Inertgasdüse angeordnet ist, einen geringeren oder maximal denselben Innendurchmesser wie eine weiter von der Inert gasdüse beabstandete Windung, wobei die der Inertgasdüse am nächsten liegende Windung einen geringeren Innendurchmesser hat als die am weitesten von der Inertgasdüse beabstan dete Windung.

Da sich jede der Mehrzahl von Windungen nur innerhalb einer zugehörigen, zu der Mittelachse senkrechten Ebene erstreckt, sind mittels der erfindungsgemäßen EIGA-Spule azimutal sym metrische Lo re ntz- Kräfte erzeugbar, die auf die Elektrode wirken. Da sich diese auf die Elekt rode wirkenden azimutal symmetrischen Lorentz-Kräfte gegenseitig ausgleichen, wird eine late rale Auslenkung der Elektrode verhindert und die Elektrode bleibt während des gesamten EIGA-Verfahrens koaxial zu der Mittelachse der EIGA-Spule. Hierdurch wird sichergestellt, dass eine untere Spitze der Elektrode, die mittels der EIGA-Spule angeschmolzen wird, exakt über dem Zentrum der Inertgasdüse ausgerichtet bleibt, sodass ein erzeugter Schmelzstrahl oder Tropfen geschmolzenem Metalls stets mittig durch die Düse hindurch fällt, ohne den Rand der Düse zu berühren.

Bei der aus dem Stand der Technik bekannten helixförmigen Struktur der EIGA-Spule haben einander gegenüberliegende Windungsabschnitte unterschiedliche Abstände von der Elektrode. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben erkannt, dass die von solchen EIGA-Spulen er zeugten und auf die Elektrode wirkenden Lorentz-Kräfte daher azimutal asymmetrisch sind und die Elektrode aus ihrer vertikalen Orientierung auslenken. Es entsteht somit ein Auslenkungs winkel zwischen der Mittelachse der EIGA-Spule und der Längsachse der Elektrode. Die untere Spitze der Elektrode befindet sich nicht mehr zentral über der Inertgasdüse. Hierdurch können von der Elektrode abgeschmolzene Tropfen auf den Rand oder einen Rahmen der kalten Inert gasdüse treffen, dort erstarren und unter Umständen die Düse teilweise oder vollständig ver stopfen. Auch können abgeschmolzene Tropfen auf die Induktionsspule treffen und diese ver unreinigen oder einen Kurzschluss verursachen. Zudem kann es Vorkommen, dass die Elekt rode selbst mit der EIGA-Spule in Berührung gelangt, was zu einem Kurzschluss führen kann. Diese negativen Effekte werden noch zusätzlich verstärkt, da die Elektrode kontinuierlich um die ausgelenkte Längsachse rotiert. Diese Nachteile können durch die erfindungsgemäße EIGA-Spule und die damit erzeugbaren azimutal symmetrisch auf die Elektrode wirkenden Lor entz-Kräfte vermindert werden.

In einer Weiterbildung der EIGA-Spule kann sich der Verbindungsabschnitt in einer Ebene der Mittelachse erstrecken, d.h. in einer Ebene, in der die vertikale Mittelachse der EIGA-Spule liegt. Der Verbindungsabschnitt kann sich zum Beispiel parallel zu der Mittelachse der EIGA- Spule erstrecken. Der Verbindungsabschnitt kann sich im rechten Wnkel zu den Ebenen der Wndungen erstrecken. Insbesondere kann sich jeder der Verbindungsabschnitte, die jeweils benachbarte Wndungen miteinander verbinden, auf die vorstehend beschriebene Art relativ zu der Mittelachse der EIGA-Spule erstrecken. Im montierten Zustand können sich die Wndungen beispielsweise in horizontaler Richtung und/oder die Verbindungsabschnitte beispielsweise in vertikaler Richtung erstrecken. Gemäß einer Ausführungsform kann der Spalt zwischen 0,5 mm und 30 mm breit sein, vorzugs weise zwischen 2 mm und 20 mm, weiter bevorzugt zwischen 5 mm und 10 mm. Der Spalt kann wenigstens 0,5 mm breit sein, insbesondere wenigstens 2 mm, vorzugsweise wenigstens 5 mm. Der Spalt kann in Ausführungsformen 30 mm oder kleiner sein, insbesondere 20 mm oder kleiner, vorzugsweise 10 mm oder kleiner. Die Spaltbreite bezeichnet hier den Abstand zwi schen dem ersten Ende und dem zweiten Ende der zugehörigen Windung bzw. des zugehöri gen Rings. Die vorstehenden Bereiche der Spaltbreiten können für den Spalt jeder Windung der EIGA-Spule gelten. Die Spalte der verschiedenen Windungen können dieselbe Breite oder un terschiedliche Breiten haben. Eine Spaltbreite zwischen 0,5 mm und 30 mm vorzugsweise zwi schen 2 mm und 20 mm, weiter bevorzugt zwischen 5 mm und 10 mm kann sicherstellen, dass die Gesamtanordnung der EIGA-Spule ausreichend azimutal symmetrisch ist, um das Aufbrin gen im Wesentlichen und ausreichend azimutal symmetrischer Lorentz-Kräfte auf die Elektrode zu gewährleisten.

Eine Wndung der Mehrzahl von Wndungen der EIGA-Spule, die den größten Innendurchmes ser aufweist, kann einen Innendurchmesser zwischen 40 mm und 300 mm haben. Die Maße der Windungen der EIGA-Spule, insbesondere die Maße der obersten Wndung der EIGA- Spule, d.h. der der Aufhängung der Elektrode am nächsten liegende Wndung, kann nach Maß gabe der Dimensionen der abzuschmelzenden Elektrode gewählt werden. Eine Windung der Mehrzahl von Wndungen, die den geringsten Innendurchmesser aufweist, kann einen Innen durchmesser zwischen 10 mm und 100 mm haben, vorzugsweise zwischen 20 mm und 50 mm. Die Wndung mit dem geringsten Innendurchmesser kann einen Innendurchmesser von wenigs tens 10 mm, vorzugsweise von wenigstens 20 mm haben. Die Windung mit dem geringsten In nendurchmesser kann einen Innendurchmesser von 100 mm oder weniger, vorzugsweise von 50 mm oder weniger haben. Es versteht sich, dass EIGA-Spulen mit Wndungen vergleichs weise großen Innendurchmessers vergleichsweise große Spaltbreiten innerhalb der vorstehend definierten Bereiche aufweisen können. Entsprechend können EIGA-Spulen mit Windungen vergleichsweise geringen Innendurchmessers vergleichsweise geringe Spaltbreiten innerhalb der vorstehend definierten Bereiche aufweisen.

In einer Weiterbildung kann die EIGA-Spule in Bezug auf Gestalt und/oder Dimensionen unter schiedliche Querschnittsgeometrien haben. Beispielsweise kann die EIGA-Spule Abschnitte mit ovalem, kreisförmigem, rechteckigem, quadratischem, oder sonstigem Querschnitt aufweisen. Die Querschnittsgeometrie der EIGA-Spule kann zum Beispiel innerhalb derselben Wndung o- der zwischen verschiedenen Windungen in der Gestalt und/oder den Dimensionen unterschied lich sein.

Die EIGA-Spule kann insbesondere aus keramikfreiem Kupfermaterial hergestellt sein. Die EIGA-Spule kann mittels eines additiven Fertigungsverfahrens hergestellt sein. Insbeson dere kann die EIGA-Spule mittels eines 3D-Druck-Verfahrens hergestellt sein, beispielsweise mittels eines selektiven Laserschmelzverfahrens. Alternativ kann die EIGA-Spule mittels eines Elektronenstrahlschmelzverfahrens, mittels Binder Jetting oder einem sonstigen additiven Ferti gungsverfahren hergestellt sein. Die Herstellung der erfindungsgemäßen EIGA-Spule mittels eines additiven Fertigungsverfahrens äußert sich insbesondere darin, dass hierdurch sehr ge ringe Spaltbreiten der Ringe realisierbar sind. Zudem können mittels eines additiven Fertigungs verfahrens Verbindungsabschnitte zwischen benachbarten Windungen gebildet werden, die sich senkrecht zu den Windungen erstrecken. Dies ist beides mit herkömmlichen Herstellverfah- ren von EIGA-Spulen nicht erreichbar. Bei herkömmlichen Herstellverfahren von EIGA-Spulen werden mit Sand gefüllte Kupferrohre zur Formung der Windungen der EIGA-Spule mittels ei ner vordefinierten Form gebogen, was die Formgebung der Windungen jedoch stark limitiert.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Vorrichtung bzw. eine EIGA-Anlage zum Durch führen eines EIGA-Verfahrens. Die Vorrichtung umfasst eine EIGA-Spule der vorstehend be schriebenen Art. Ferner umfasst die Vorrichtung eine koaxial zu der Mehrzahl an Windungen angeordnete Elektrode aus abzuschmelzendem Metall bzw. abzuschmelzender Metalllegierung, die sich abschnittsweise in die EIGA-Spule hinein erstreckt und entlang einer Längsachse der Elektrode relativ zu der EIGA-Spule verlagerbar ist, um mittels der EIGA-Spule abgeschmolzen zu werden. Die Elektrode ist zudem um ihre Längsachse rotierbar. Des Weiteren umfasst die Vorrichtung eine koaxial zu der Elektrode und der Mehrzahl an Windungen angeordnete Düse bzw. Inertgasdüse zum Verdüsen von abgeschmolzenem Elektrodenmaterial.

Die Vorrichtung kann ferner einen Verdüsungsturm umfassen, in den das verdüste Elektroden material erstarren kann, um das sphärisch geformte, feinkörnige Pulver zu bilden.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein EIGA-Verfahren zum Herstellen von hochreinem Metallpulver. Das Verfahren umfasst die Schritte:

Verlagern einer Elektrode relativ zu einer EIGA-Spule, wodurch die Elektrode ab schnittsweise in das Innere der EIGA-Spule eingebracht wird;

- Anlegen von Wechselstrom an die EIGA-Spule zum Anschmelzen der Elektrode durch Erzeugung von in Bezug auf eine Längsachse der Elektrode azimutal symmetrischen Lorentz-Kräften; und

Verdüsen von abgeschmolzenem Elektrodenmaterial mittels einer der EIGA-Spule nachgelagerten Inertgasdüse.

Insbesondere kann die Elektrode mittels einer EIGA-Spule der vorstehend beschriebenen Art angeschmolzen werden. Die Elektrode kann während des Verfahrens um ihre Längsachse rotiert werden.

Obgleich einige Aspekte und Merkmale lediglich in Bezug auf die EIGA-Spule beschrieben wor den sind, können diese entsprechend für die Vorrichtung bzw. EIGA-Anlage und/oder für das

EIGA-Verfahren sowie entsprechende Weiterbildungen gelten und umgekehrt.

Kurzbeschreibunq der Figuren

Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachstehend in Bezug auf die beilie genden schematischen Figuren näher erläutert. Es stellen dar:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer EIGA-Spule gemäß einem Ausführungsbei spiel.

Fig. 2 eine Vorderansicht der EIGA-Spule gemäß dem Ausführungsbeispiel aus Fig. 1.

Fig. 3 eine Seitenansicht der EIGA-Spule gemäß dem Ausführungsbeispiel aus Fig. 1.

Fig. 4 eine schematische Draufsicht auf die EIGA-Spule gemäß dem Ausführungsbei spiel aus Fig. 1.

Fig. 5 eine schematische Darstellung der Verbindungsabschnitte einer EIGA-Spule ge mäß einem weiteren Ausführungsbeispiel.

Fig. 6 eine schematische Schnittdarstellung einer EIGA-Spule gemäß dem Ausfüh rungsbeispiel aus Fig. 1.

Fig. 7 eine schematische Schnittdarstellung einer EIGA-Anlage gemäß einem Ausfüh rungsbeispiel in einem Ausgangszustand.

Fig. 8 eine schematische Schnittdarstellung der EIGA-Anlage aus Fig. 9 in einem weite ren Zustand während des Betriebs.

Fig. 9 eine schematische Schnittdarstellung einer EIGA-Anlage aus dem Stand der

Technik in einem Ausgangszustand.

Fig. 10 eine schematische Schnittdarstellung der EIGA-Anlage aus Fig. 7 in einem aus gelenkten Zustand.

Fiqurenbeschreibunq

Gleiche Bezugszeichen in den Figuren deuten auf gleiche, gleichwirkende und/oder analoge Elemente hin.

Die Figuren 1 bis 3 zeigen ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen EIGA-Spule 10 zum An- und Abschmelzen einer Elektrode in einer perspektivischen Ansicht (Fig. 1), einer Vor deransicht (Fig. 2) und einer Seitenansicht (Fig. 3). Zudem zeigt Figur 4 eine schematische Draufsicht auf die EIGA-Spule 10.

Die EIGA-Spule 10, die eine Induktionsspule für eine EIGA-Anlage zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens ist, umfasst eine Mehrzahl von Windungen 12A, 12B, 12C. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel umfasst die EIGA-Spule 10 drei Wndungen 12A, 12B, 12C. In anderen Ausführungsbeispielen kann die EIGA Spule auch mehr als drei Wndungen umfassen.

Die Wndungen 12A, 12B, 12C sind in Bezug auf eine Mittelachse M der EIGA-Spule 10 koaxial zueinander angeordnet. Zudem sind die Windungen 12A, 12B, 12C in der Richtung der Mittel achse M betrachtet axial voneinander beabstandet. Die Wndungen 12A, 12B, 12C haben je weils unterschiedliche Innen- und Außendurchmesser, wobei die in den Figuren 1 bis 3 oberste Wndung 12A den größten Innen- und Außendurchmesser der drei Wndungen 12A, 12B, 12C hat und die in den Figuren 1 bis 3 unterste Wndung 12C den geringsten Innen- und Außen durchmesser der drei Windungen 12A, 12B, 12C hat. Der Innen- und Außendurchmesser der zwischen der obersten Windung 12A und der untersten Wndung 12C angeordneten mittleren Wndung 12B liegt zwischen den Innen- bzw. Außendurchmessern der obersten Windung 12A und der untersten Wndung 12C. Hierdurch weist die EIGA-Spule 10 in einer Gesamtbetrach tung eine konische Gestalt auf. Im Betrieb ist die EIGA-Spule 10 so angeordnet, dass die oberste Wndung 12A mit dem größten Innen- und Außendurchmesser einer Elektrodenaufhän gung (nicht gezeigt) zugewandt ist und die unterste Wndung 12B mit dem geringsten Innen- und Außendurchmesser einer Intergasdüse (nicht gezeigt) zugewandt ist. Beispielhafte Innen durchmesser sind im Zusammenhang mit Fig. 6 quantifiziert.

Jede der Wndungen 12A, 12B, 12C hat die Gestalt eines durch einen jeweils zugehörigen Spalt 14A, 14B, 14C unterbrochenen Rings, genauer gesagt Ringtorus. Im Vergleich zu den Di mensionen der EIGA-Spule 10, insbesondere zu den Dimensionen der Wndungen 12A, 12B, 12C, haben die Spalte 14A, 14B, 14C jeweils eine sehr geringe Breite B. Jeder der drei Spalte 14A, 14B, 14C kann beispielsweise eine Breite B zwischen 0,5 mm und 30 mm haben. Vor zugsweise sind die Spalte 14A, 14B, 14C jeweils mindestens 2 mm breit, um die Gefahr von Kurzschlüssen und/oder Funkenbildung zu minimieren. Da die Spalte 14A, 14B, 14C die Ringe 12A, 12B, 12C unterbrechen, sind diese nicht geschlossen, sodass jeder der Ringe 12A, 12B, 12C ein erstes Ende 16A, 16B, 16C und ein zweites Ende 18A, 18B, 18C aufweist. In dem ge- zeigten Ausführungsbeispiel sind die Breiten B der drei Spalte 14A, 14B, 14C gleich. In alterna tiven Ausführungsbeispielen können die verschiedenen Spalte jedoch auch unterschiedliche Breiten aufweisen.

Wie in den Figuren 1 bis 3 und insbesondere in Fig. 4 zu erkennen ist, ist jeder der Ringe 12A, 12B, 12C in Bezug auf die Mittelachse M der EIGA-Spule 10 äquidistant. Mit anderen Worten hat jeder der Ringe 12A, 12B, 12C entlang seiner Innenumfangsfläche betrachtet im Wesentli chen denselben Abstand von der Mittelachse M.

Ferner ist in den Figuren 1 bis 4 gezeigt, dass sich jede der Wndungen 12A, 12B, 12C bzw. je der der Ringe 12A, 12B, 12C nur in horizontaler Richtung ausgerichtet ist. Das heißt jede der Wndungen 12A, 12B, 12C erstreckt sich nur innerhalb einer zu der Mittelachse M senkrechten, der jeweiligen Windungen 12A, 12B, 12C zugehörigen Ebene, genauer gesagt in derselben Ausrichtung wie diese zugehörige Ebene. Die Wndungen 12A, 12B, 12C sind parallel zueinan der ausgerichtet. Dies stellt einen wesentlichen Unterschied zu herkömmlichen EIGA-Spulen mit helixförmigen Wndungen dar, bei denen sich die Wndungen schraubenförmig in alle drei Raumrichtungen erstrecken.

Da bei der erfindungsgemäßen EIGA-Spule 10 jede der Wndungen 12A, 12B, 12C gemäß ei ner zugehörigen Ebene ausgerichtet ist, die senkrecht zu der Mittelachse M ist, und jede der Wndungen bzw. jeder der Ringe 12A, 12B, 12C für sich äquidistant zu der Mittelachse M ist, können mittels der erfindungsgemäßen EIGA-Spule 10 auf die Elektrode wirkende azimutal symmetrische Lo re ntz- Kräfte erzeugt werden. Die daraus resultierenden Effekte und Vorteile sind nachstehend im Zusammenhang mit den Figuren 7 bis 10 näher erläutert.

Benachbarte Wndungen 12A und 12B bzw. 12B und 12C der EIGA-Spule 10 sind jeweils über einen Verbindungsabschnitt 20AB, 20BC miteinander verbunden. Genauer gesagt verbindet der Verbindungsabschnitt 20AB das zweite Ende 18A der Wndung 12A mit dem ersten Ende 16B der Wndung 12B. Entsprechend verbindet der Verbindungsabschnitt 20BC das zweite Ende 18B der Wndung 12B mit dem ersten Ende 16C der Wndung 12C. In dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 weisen die Verbindungsabschnitte 20AB, 20BC eine gegenüber der Mittelachse M quer verlaufende Anordnung auf. Jedoch kann in anderen Ausführungsbeispielen bevorzugt eine andersartige Ausrichtung der Verbindungsabschnitte vorgesehen sein, was im Zusammen hang mit Fig. 5 näher beschrieben ist.

Das erste Ende 16A der obersten Wndung 12A sowie das zweite Ende 18C der untersten Wn dung 12C sind jeweils über einen Anschlussabschnitt 22A, 22C mit einer Spannungsquelle zum Anlegen einer Wechselspannung an die EIGA-Spule 10 verbunden. Die Windungen 12A, 12B, 12C, die Verbindungsabschnitte 20AB, 20BC und die Anschlussab schnitte 22A, 22C sind aus keramikfreiem Kupfermaterial hergestellt. Insbesondere sind die Wndungen 12A, 12B, 12C, die Verbindungsabschnitte 20AB, 20BC und die Anschlussab schnitte 22A, 22C der EIGA-Spule 10 des gezeigten Ausführungsbeispiels hohlzylindrisch.

We aus Fig. 1 zu erkennen ist, haben die Verbindungsabschnitte 20AB, 20BC eine andere Querschnittsgeometrie als die Windungen 12A, 12B, 12C. In weiteren Ausführungsbeispielen können die Windungen und die Verbindungsabschnitte jedoch auch dieselbe Querschnittsgeo metrie aufweisen.

Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung eines vergrößerten Ausschnitts der EIGA-Spule ge mäß einem weiteren Ausführungsbeispiel. Der vergrößerte Ausschnitt zeigt eine besondere Ausgestaltung der Verbindungsabschnitte 120AB, 120BC, gemäß welcher sich die Verbin dungsabschnitte 120AB, 120BC jeweils in der Ebene der Mittelachse M und somit im Wesentli chen senkrecht zu den Wndungen 12A, 12B, 12C erstrecken. Die Windungen 12A, 12B, 12C erstrecken sich demnach im Betrieb und der gezeigten Darstellung horizontal, während sich die Verbindungsabschnitte 120AB, 120BC vertikal erstrecken. Diese strukturelle Ausbildung der Verbindungsabschnitte 120AB, 120BC in einer zu den Wndungen 12A, 12B, 12C senkrechten Richtung ermöglicht eine Bereitstellung einer EIGA-Spule mit Spalten 14A, 14B, 14C besonders geringer Breite B. Durch das Vorsehen einer besonders geringen Breite B der Spalte 14A, 14B, 14C können die Wndungen 12A, 12B, 12C in Form von nur geringfügig unterbrochenen und daher nahezu vollständigen Ringen ausgebildet sein, was die Symmetrie der Gesamtanordnung erhöht und das Aufbringen azimutal symmetrischer Lorentz-Kräfte auf die Elektrode weiter ver bessert.

Fig. 6 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer EIGA-Spule 10 gemäß den vorstehen den Ausführungsbeispielen. In der EIGA-Spule 10 der Fig. 6 hat die oberste Wndung 12A den größten Innendurchmesser L1 der Mehrzahl von Wndungen 12A, 12B, 12C mit einem Betrag von bis zu 300 mm. Die unterste Wndung 12C hat den geringsten Innendurchmesser L3 der Mehrzahl von Wndungen 12A, 12B, 12C mit einem Betrag von wenigstens 10 mm.

Die EIGA-Spule 10 hat durch die gezeigte Anordnung der zueinander koaxialen und axial beab- standeten Wndungen 12A, 12B, 12C mit unterschiedlichen Durchmessern in der Gesamtbe trachtung eine konische Gestalt. Zwei an der Mittelachse M gespiegelte Linien K1 und K2, die jeweils durch Mittelpunkte P der vertikalen Querschnitte der Windungen 12A, 12B, 12C verlau fen, spannen einen Wnkel ß zwischen 30° und 180° auf, vorzugsweise von 90°. Die Mittel punkte P, durch welche die Linie K1 verläuft, liegen den Mittelpunkten P, durch welche die Linie K2 verläuft, in Bezug auf die Mittelachse M gegenüber. Fig. 7 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer EIGA-Anlage 30 zum Durchführen eines EIGA-Verfahrens, die eine EIGA-Spule 10, eine Elektrode 40 mit einer Längsachse A und eine Inertgasdüse 50 umfasst. In Fig. 7 befindet sich die EIGA-Anlage in einem Ausgangszustand zu einem Zeitpunkt t = 0, der dem Zeitpunkt eines ersten Einschaltens der EIGA-Spule 10 ent spricht. Zur verbesserten Darstellung der Ausrichtung der Komponenten der EIGA-Anlage zuei nander ist in den Fig. 7 bis 10 jeweils ein durch die Windungen der EIGA-Spule gebildeter ima ginärer Konus C durch strichlierte Linien dargestellt.

Die Elektrode 40 ist eine Stangenelektrode aus einem Metall oder einer Metalllegierung, die eine untere Spitze 42 umfasst. Die Elektrode 40 erstreckt sich im Bereich der unteren Spitze 42 in das Innere der EIGA-Spule 10 hinein, um mittels der mit Wechselstrom beaufschlagten EIGA-Spule 10 an- bzw. abgeschmolzen zu werden. Die Elektrode 40 ist koaxial zu den Win dungen 12A, 12B, 12C der EIGA-Spule 10, das heißt die Längsachse A der Elektrode 40 liegt in einer Linie mit der Mittelachse M der EIGA-Spule. Die Elektrode 40 ist während des EIGA-Ver- fahrens entlang ihrer Längsachse A in Richtung der Inertgasdüse 50 kontinuierlich nachführbar, nach Maßgabe des abgeschmolzenen Volumens, was durch den Pfeil P1 angedeutet ist. Fer ner ist die Elektrode 40 während des EIGA-Verfahrens um ihre Längsachse A rotierbar, um ein gleichmäßiges Abschmelzen sicherzustellen, was durch den Pfeil P2 angedeutet ist.

Die Inertgasdüse 50 ist der EIGA-Spule 10 und der Elektrode 40 nachgelagert, das heißt in der gezeigten Darstellung unterhalb dieser angeordnet. Die Inertgasdüse 50 umfasst eine Öffnung 52, die ebenfalls koaxial zu der Elektrode 40 und den Wndungen 12A, 12B, 12C der EIGA- Spule 10 sind. Mit anderen Worten verlaufen die Längsachse A der Elektrode 40 und die Mittel achse M der EIGA-Spule 10 genau durch die Mitte der Öffnung 52 der Inertgasdüse 50.

We in Fig. 7 zu erkennen ist, hat die Windung 12A an jeder Stelle der Wndung 12A denselben geringsten Abstand hi, h r von der Elektrode 40. Dies ist auf die koaxiale Ausrichtung der Elekt rode 40 und der EIGA-Spule 10 sowie auf die Erstreckung der Wndungen 12A, 12B, 12C in ei ner jeweils zu der Mittelachse M senkrechten Ebene zurückzuführen. Gleiches gilt auch für die Windung 12B sowie für die Wndung 12C der EIGA-Spule 10, was ebenfalls in Fig. 7 gezeigt, jedoch aus Gründern der Übersicht nicht durch Bezugszeichen verdeutlicht ist.

Durch die gleichmäßigen Abstände der Wndungen 12A, 12B, 12C von der Elektrode 40 werden von der EIGA-Spule 10 auf die Elektrode 40 wirkende azimutal symmetrische Lorentz-Kräfte er zeugt. Die azimutal symmetrischen Lorentz-Kräfte sind durch die Pfeile LK1 und LK2 gleicher Länge verbildlicht. Durch die Spalte eingebrachte Asymmetrien sind aufgrund der sehr geringen Breite der Spalte vernachlässigbar. Fig. 8 zeigt die EIGA-Anlage 30 der Fig. 7 zu einem späteren Zeitpunkt t = n, während eines Schmelzprozesses, bei dem durch das Abschmelzen der Elektrode 40 ein nahezu kontinuierli cher Schmelzstrahl aus Tropfen 44 abgeschmolzenen Materials von der Elektrode 40 tropft bzw. fließt. Da die von der EIGA-Spule 10 erzeugten Lo re ntz- Kräfte in Bezug auf die Elektrode 40 azimutal symmetrisch sind, heben sich die auf die Elektrode 40 wirkenden Lorentz-Kräfte ge genseitig auf, sodass die Elektrode 40 in dem in Fig. 8 gezeigten Zustand weiterhin gemäß dem Ausgangszustand ausgerichtet ist. Die Elektrode 40 wird also nicht gegenüber der Mittelachse M ausgelenkt, sondern bleibt während des gesamten EIGA-Prozesses koaxial zu der EIGA- Spule ausgerichtet. Demnach bleibt die Elektrode 40 während des Abschmelzens auch koaxial zu der Inertgasdüse 50 ausgerichtet. Der Schmelzstrahl bzw. die Tropfen 40 fallen somit stets in vertikaler Richtung (entlang der Längsachse A bzw. der Mittelachse M) zentral durch die Öff nung 52 der Inertgasdüse 50 hindurch und kommen somit nicht in Berührung mit der Wand der Inertgasdüse 50 oder den Windungen 12A, 12B, 12C der EIGA-Spule 10. Dies erhöht die Pro zesssicherheit und reduziert mögliche Verunreinigungen oder Beschädigungen der EIGA-An- lage 30.

Die durch die Inertgasdüse 50 fallenden Tropfen 44 werden mittels der Inertgasdüse 50 zer stäubt und erstarren anschließend in einem nachgelagerten Verdüsungsturm. Hierdurch bilden die erstarrten Tropfen ein sphärisch geformtes, feinkörniges Pulver, welches in einem vakuum dichten Behälter aufgefangen und gesammelt wird.

Die Vorteile der erfindungsgemäßen EIGA-Spule 10 gegenüber dem Stand der Technik werden aus einer Betrachtung der Figuren 9 und 10 weiter ersichtlich, welche eine herkömmliche EIGA- Anlage 70 in den in den Figuren 7 und 8 dargestellten Betriebszuständen zeigen.

Die EIGA-Anlage 70 des Standes der Technik umfasst eine helixförmige EIGA-Spule 72, eine Elektrode 74 und eine Inertgasdüse 76. In dem in Fig. 9 gezeigten Ausgangszustand t = 0, sind die EIGA-Spule 72, die Elektrode 74 und die Inertgasdüse 76 koaxial zueinander ausgerichtet. Das heißt eine Mittelachse V der EIGA-Spule 72 liegt mit einer Längsachse W der Elektrode 74 in einer Linie, die sich durch die Mitte der Inertgasdüse 76 erstreckt.

Im Unterschied zu der erfindungsgemäßen Anordnung haben die Windungen der EIGA-Spule 72 des Standes der Technik aufgrund der schraubenförmigen Struktur der EIGA-Spule 72 un terschiedliche Abstände zu der Elektrode 74. Dies ist durch die Abstände h 0 und h p beispielhaft verdeutlicht. Die unterschiedlichen Abstände der Windungen von der Elektrode 74 führen zu un terschiedlich starken auf die Elektrode 74 wirkenden Lorentz- Kräften, also zu einer azimutalen Asymmetrie der Lorentz-Kräfte. Dies ist in den Figuren 9 und 10 durch die Pfeile LK3 und LK4 unterschiedlicher Länge verbildlicht. Die beschriebene azimutale Asymmetrie der auf die Elektrode 74 wirkenden Lorentz- Kräfte führt zu einer Auslenkung der Elektrode 74, genauer gesagt der Längsachse W der Elektrode 74, um den Winkel a. Dies ist in Fig. 10 zu erkennen, welches die EIGA-Anlage 70 der Fig. 9 zu einem späteren Zeitpunkt t = n während eines Schmelzprozesses zeigt.

Die einen Schmelzstrahl bildenden Tropfen 78 abgeschmolzenen Materials fallen in dem ge zeigten Zustand in vertikaler Richtung von der um den Wnkel a ausgelenkten Elektrode 74 in Richtung der Inertgasdüse 76. Aufgrund der Auslenkung fallen die Tropfen 78 bzw. der Schmelzstrahl nicht zentral durch die Öffnung der Inertgasdüse 76 hindurch, sondern versetzt zu der Mittelachse V. Dies kann dazu führen, dass die Tropfen 78 auf einen Rand der Intertgas- düse 76 fallen, dort erstarren und unter Umständen die Öffnung der Inertgasdüse 76 vollständig oder teilweise verschließen. Der negative Effekt kann durch die in der Regel stattfindende Rota tion der Elektrode 74 weiter verstärkt werden. Auch kann es aufgrund der Auslenkung der Elekt rode 74 dazu kommen, dass die Tropfen 78 oder die Elektrode 74 selbst in Berührung mit den Wndungen der EIGA-Spule 72 gelangen, was zu Kurzschlüssen und einer Beschädigung der EIGA-Anlage 70 führen kann.

Diese Nachteile können durch die erfindungsgemäße EIGA-Spule und die damit erzeugbaren azimutal symmetrisch auf die Elektrode wirkenden Lorentz-Kräfte wirksam vermindert werden.

Bezuqszeichenliste

10 EIGA-Spule 70 EIGA-Anlage (St.d.T)

12A, 12B, 12C Windung 72 EIGA-Spule (St.d.T.)

14A, 14B, 14C Spalt 74 Elektrode (St.d.T.)

16A, 16B, 16C erstes Ende der Wndung 76 Inertgasdüse (St.d.T.)

18A, 18B, 18C zweites Ende der Wndung 78 Tropfen (St.d.T.)

20AB, 20BC Verbindungsabschnitt V Mittelachse (St.d.T.)

22 A, 22 B Anschlussabschnitt W Längsachse (St.d.T.)

120AB, 120BC Verbindungsabschnitt a Auslenkungswinkel (St.d.T.)

30 EIGA-Anlage LK3, LK4 Lorentz-Kräfte (St.d.T.)

32 Ausgangsöffnung h 0 , h p Abstände (St.d.T.)

40 Elektrode

42 Elektrodenspitze

44 T ropfen

50 Inertgasdüse

52 Öffnung

M Mittelachse

B Breite

K1, K2 Linien P Mittelpunkt L1 größter Innendurchmesser L3 geringster Innendurchmesser ß aufgespannter Winkel

P1 Pfeil Nachführbewegung

P2 Pfeil Rotationsbewegung

A Längsachse

C imaginärer Konus

LK1, LK2 Lorentz-Kräfte hi, h r Abstände