Es sind im Wesentlichen zwei Verfahren zur Herstellung eines Stampers bekannt. In einem ersten Verfahren ("Photoresist Mastering") wird ein Rohling in Form einer Glasplatte mit einer photosensiblen Oberfläche mittels eines fokussierten Laserstrahles belichtet. Bei der <BR> <BR> <BR> <BR> chemischen Entwicklung der photosensiblen Oberfläche bilden die belichteten Stellen Vertiefungen aus, während die Oberfläche zwischen den belichteten Stellen nicht angegriffen wird. In einem anderen Verfahren ("Non Photoresist Mastering") wird der Rohling mit einer Schicht aus organischem Material (organic dye) versehen. In diese Schicht werden mittels eines Laserstrahles Vertiefungen direkt eingebrannt bzw. eingeschmolzen.

Der auf eine der genannten Arten hergestellte Glasmaster wird mit einer dünnen Metallschicht überzogen, bevor in einem elektrolytischen Prozeß die Vertiefungen aufgefüllt und ein Sockel angeformt wird (Elektroforming). Der Sockel mit den erhabenen Datenstrukturen wird vom Glasmaster getrennt und gereinigt und ist danach als Stamper zu benutzen.

Die Fertigung der CD s erfolgt in einer Spritzgußkammer, in der optisches Polykarbonat unter hohem Druck auf den Stamper gespritzt wird. Danach werden der Stamper und die fertige CD mit Preßluft voneinander getrennt und die Oberfläche der CD verspiegelt und lackiert.

Nachteil der bekannten Verfahren ist, daß sie wegen der vielen Verfahrenschritte sehr aufwendig und teuer sind.

Außerdem sind die durch Elektroforming gefertigten Stamper vergleichsweise kurzlebig, da das im galvanischen Prozeß aufgebaute Metall eine geringe Festigkeit besitzt. So können mit einem Stamper lediglich einige Tausend CD's gepreßt werden, bevor die Qualität des Stampers wegen der extremen Verhältnisse in der Spritzgußmaschine (1800 atü und 380°C) verloren gegangen ist.

Aufgabe der Erfindung ist es ein Verfahren zu schaffen, mit dem sich bei geringen Zeitaufwand und geringen Kosten wiederstansfähige Stamper für die Abformung von optischen Speichermedien (Compact Disks) herstellen lassen.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Deckschicht auf einer Metalloberfläche aufliegt.

Dabei ist es besonders vorteilhaft, den Rohling als Scheibe aus Metall insbesondere aus Blech zu fertigen. Durch das erfindungsgemäße Verfahren lassen sich kostengünstig Stamper herstellen und damit die Kosten für die Fertigung von Compact Disks senken. Die Ersparnis resultiert zum einen aus der Einsparung von Verfahrensschritten. So wird einerseits die Ferigung der rohen Glasplatten eingegespart und andererseits wird das energieintensive Elektroforming durch einen weniger Strom verbrauchenden galvanischen Prozeß ersetzt, bei dem bedeutend weniger Metall abgeschieden werden muß.

Außerdem sind die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigten Stamper besonders-wiederstandsfähig, da ihre Sockelplatte aus kalt gewalztem Blech besteht, das in hochreinem Zustand mit spiegelnder Oberfläche auf dem Markt zu erhalten ist. Als Metall für den Rohling wird vorteilhafterweise Nickel einer Reinheit von insbesondere 99, 5 % verwendet. Das gewalzte Nickel-Blech ist aufgrund seiner verdichteten Kristallstruktur härter als das beim Elektroforming abgeschiedene Metall. Das gewalzte Blech braucht lediglich in der gewünschten Form ausgestanzt oder geschnitten zu werden. Durch Schleifen und Polieren kann die Qualität des Metallrohlings jedoch weiter erhöht werden.

Die reine Scheibe aus Metall wird vorteilhafterweise auf der zu beschreibenden Oberfläche zunächst mit einem Haftgrund (Primer) versehen, der für einen guten Halt der nachfolgend aufzubringenden Lackschicht sorgt und der ein Einsickern von Saure unter den Lack im galvanischen Bad verhindert. Um eine homogene Verteilung der auf den Primer aufzubringenden Lackschicht zu erhalten, wird der Lack oder ein Harz, in einer Zentrifuge auf den Metallrohling aufgespritzt. Damit kann eine gleichbleibende Stärke des Lackes von wenigen Mikrometern erzeugt werden.

In die Deckschicht aus Lack brennt ein Laserstrahl entsprechend der zu speichernden Information Spuren in Form von Vertiefungen ein, deren Tiefe der Dicke der Deckschicht entspricht. Am Boden der Spuren wird die Oberfläche des Metallrohlings freigelegt. Dabei ist vorteilhaft, daB die Oberfläche des Rohlings unempfindlich gegen Intensitätsschwankungen des beschreibenden Laserstrahles ist, da der Laserstrahl bis auf den metallischen Boden des Metallrohlings brennt und dort nur unter Leistungssteigerung eine Beschädigung hervorrufen kann.

Um eine einfache Trennung des Stampers von der fertigen CD zu gewährleisten ist'es vorteilhaft die strukturierte Oberfläche des Stampers mit einer dünnen Schicht aus Platin zu versehen insbesondere zu bedampfen. Damit wird ein Ausgleich Rauhigkeiten auf dem Stamper erreicht, so daß sich der Kunststoff nicht in eventuellen Poren in den galvanisierten Spuren festsetzen kann.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird anhand der Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen : Figur 1 einen Schnitt durch die Oberfläche eines Rohlings beim Schreiben, Figur 2 einen Schnitt durch die Oberfläche eines Rohlings beim Galvanisieren und Figur 3 die Oberfläche eines fertigen Stampers.

Figur 1 zeigt einen Rohling 1, der als Basis eine Scheibe 2 aus Metall insbesondere aus Nickel einer Reinheit von 99, 5% aufweist. Die Scheibe 2 wurde in der entsprechenden Form aus Blech geschnitten oder gestanzt. Die Oberfläche 3 der Scheibe 2 ist geschliffen und hochglanzpoliert und mit einer Schicht Haftgrund 4 (Primer) überzogen. Der Primer 4 sorgt für die Versiegelung der Oberfläche 3 und bildet die Basis für eine Deckschicht 5. Die Deckschicht 5 ist ein Kunstharzlack, der gute Absorbtionseigenschaften für Licht definierter Wellenlänge aufweist. Die Dicke der Schichten ist in den Figuren nicht maßstabsgetreu dargestellt.

Während die Metallscheibe 2 eine Dicke von mehreren Millimetern aufweist, ist der Primer 4 sehr dünn aufgetragen. Die Dicke der Deckschicht 5 beträgt einige Mikrometer.

Ein Laserstrahl 6 brennt unter kontinuierlicher Drehung des Rohlings 1 eine Vertiefung 7 in die Deckschicht 5, wobei die Vertiefung 7 bis auf die Oberfläche 3 reicht, so daß die Oberfläche 3 blank liegt. Die Wellenlänge des Laserstrahles 6 ist auf die Absorbtionseigenschaften der Deckschicht 5 abgestimmt. Die Vertiefungen 7 bilden Spuren in denen die Information gespeichert ist. Dabei ist zu beachten, daß die Drehrichtung des Rohlings 1 beim Beschreiben entgegengesetzt der Laufrichtung der späteren Compakt Disk ist. Die Information wird spiegelbildlich auf den Rohling aufgebracht.

In Figur 2 ist der Schreibvorgang abgeschlossen. Der gereinigte Rohling 1 kommt in ein galvanisches Bad, wobei die Scheibe 2 über eine Leitung 8 auf ein entsprechendes Potential gelegt wird. Bei der Elektrolyse werden Metallionen 9 bewegt und setzen sich als Metallerhebung 10 auf der Oberfläche 3 ab. Die Zusammensetzung des elektrolytischen Bades ist so, daß sich Metall entsprechend der Metall der Scheibe 2 in diesem Falle also Nickel absetzt.

Bei der Elektrolyse werden somit die Vertiefungen 7 aufgefüllt. Die Stärke der Metallerhebung 10 wird über die Zeit, die die elektrische Spannung anliegt, eingestellt.

Der elektrolytische Prozeß wird abgebrochen sobald die Vertiefungen 7 bis etwa 1, 5 Mikrometer jedoch höchstens bis zur Oberfläche 11 der Deckschicht 5 aufgefüllt sind.

Nach dem galvanischen Prozeß wird die verbleibende Deckschicht 5 und der Primer 4 mittels eines Laserstrahles entfernt. Nach einer letzten Reinigung liegt der fertige Stamper 12 mit den Metallerhebungen 10 gebrauchsfertig vor (Figur 3). Zur Veredelung des Stampers 12 wird die Druckfläche 13 mit einer Schicht Platin 14 bedampft.

Mit dem beschriebenen Verfahren lassen sich nicht nur Stamper 12 direkt herstellen, wenn die Glasscheibe im bekannten Verfahren durch eine Metallscheibe ersetzt wird lassen sich auch sehr wiederstandsfähige Masterdisks zur Herstellung von Stampern fertigen.