Feld der Erfindung

Die Erfindung legt ein Verfahren zur Überwachung eines Sensorsystems im Betrieb mit einem Sensorelement (WB), insbesondere einer piezoresistiven Wheatstone-Brücke (WB) eines Drucksensors, und die zugehörigen Vorrichtungen und Verfahrensmodifikationen offen.

Allgemeine Einleitung

Automobile Anwendungen setzen typischerweise zahlreiche sicherheitsrelevante Sensoren ein, die das Steuersystem des Fahrzeugs während ihres Betriebs typischerweise auf korrekte Funktion überwachen muss. Hierzu zählen beispielsweise Druckmessvorrichtungen in Bremssystemen.

Stand der Technik

Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Chopper-Verfahren zur Verbesserung des Signal-zu- Rauschverhältnisses in Verstärkern bekannt. Dabei multipliziert ein Multiplizierer vor dem Verstärker das Signal mit einem Chopper-Signal mit einer Chopper-Frequenz, dann verstärkt und dann wieder mit dem Chopper-Signal multipliziert. Dabei mischt diese Multiplikation das verstärkte Signal zum einen herauf- und zum anderen auch herunter. Da nur der heruntergemischte Anteil von Interesse ist, unterdrückt ein Tiefpassfilter die Signalanteile mit der Chopper-Frequenz und alle höheren Frequenzen. Dies unterdrückt typischerweise das 1/f-Rauschen der Verstärkerstufe.

Die Kombination eines solchen Verfahrens mit einem Sensorelement führt zu einem rauscharmen Sensorsystem.

Ein solches Sensorsystem realisiert somit dann ein Verfahren zum Betrieb eines Sensorsystems, bei dem das Sensorsystem ein Sensorelement aufweist, dass ein Eingangssignal mit einem zeitlichen Verlauf seines Eingangssignalwerts liefert. Ein solches Sensorsystem weist einen Signalpfad auf. Der Signalpfad umfasst an einer ersten Stelle des Signalpfads einen Verstärker mit einem Eingang und einem Ausgang. Der Signalpfad beginnt mit dem Eingangssignal des Sensorelements und endet mit einem ersten Ausgangssignal des Sensorsystems. Der Wert des ersten Ausgangssignals oder der Wert eines daraus abgeleiteten Signals stellt dabei den Messwert dar. Ein erster Schritt des Verfahrens aus dem Stand der Technik ist ein erstes Mischen des Signals im Signalpfad mit dem Chopper-Signal an einer zweiten Stelle im Signalpfad. Dabei befindet sich diese zweite Stelle im Signalpfad zwischen dem Eingangssignal des Sensorelements am Anfang des Signalpfads und dem Eingang des Verstärkers, der sich an der ersten Stelle im Signalpfad befindet. Das Chopper-Signal ist typischerweise monofrequent. Als weiterer Schritt erfolgt das zweite Mischen des Signals an einer dritten Stelle im Signalpfad. Das zweite Mischen des Signals ist typischerweise ein Heruntermischen des Signals mit dem Chopper-Signal zu einem ersten demodulierten Signal. Diese dritte Stelle befindet sich im Signalpfad zwischen dem Ausgang des Verstärkers, der sich an der ersten Stelle im Signalpfad befindet, und dem erstem Ausgangssignal des Sensorsystems, das sich am Ende des Signalpfads befindet. Ein erstes Filtern des ersten demodulierten Signals oder eines daraus abgeleiteten Signals erfolgt an einer vierten Stelle im Signalpfad. Die vierte Stelle im Signalpfad liegt zwischen der dritten Stelle im Signalpfad einerseits und dem Ausgangssignal des Sensorsystems am Ende des Signalpfads andererseits. Dabei erfolgt dieses erste Filtern mittels Anwendung einer ersten Filterfunktion auf das erste demodulierte Signal oder auf ein daraus abgeleitetes Signal. Die erste Filterfunktion beschreibt dabei den Zusammenhang zwischen dem zeitlichen Verlauf des ersten demodulierten Signals bzw. des daraus abgeleiteten Signals einerseits und dem zeitlichen Verlauf des Signals unmittelbar nach der ersten Filterung. Das erste Ausgangssignal ist von diesem Signal, das das Ergebnis der ersten Filterung ist, abhängig oder ist das Ergebnis dieser ersten Filterung.

Die erste Filterfunktion Fl[] ist so gewählt, dass im Wesentlichen eine Filterung des Chopper-Signals Cs mit der ersten Filterfunktion F[] verschwindet, also Fl[Cs]=0 gilt, und dass eine Filterung einer Konstanten Fl[l]=ßi mit ßi als reellem oder komplexen Wert in Form einer Konstanten ergibt.

Der Nachteil ist, dass das Steuersystem solche Sensorsysteme für eine Überprüfung der Funktionstüchtigkeit im Betrieb typischerweise abschalten muss.

Aufgabe

Aufgabe des Vorschlags ist daher, eine Lösung zu schaffen die diesen Nachteil des Stands der Technik nicht aufweist und weitere Vorteile aufweist. Ein Verfahren gemäß der unabhängigen Ansprüche löst diese Aufgabe. Lösung der Aufgabe

Zur Lösung des Problems schlägt die hier vorgelegte Schrift hier ein Verfahren zur Überwachung eines Sensorsystems im Betrieb vor, bei dem das Sensorsystem ein Sensorelement WB aufweist, das ein Eingangssignal Si mit einem zeitlichen Verlauf Si(t) seines Eingangssignalwerts liefert. Das Sensorsystem weist einen Signalpfad auf, in dem verschiedene Vorrichtungselemente das Signal im Signalpfad modifizieren und auswerten. Der Signalpfad umfasst an einer ersten Stelle des Signalpfads einen Verstärker DV mit einem Eingang und einem Ausgang. Der Signalpfad beginnt mit dem Eingangssignal Si, das das Ausgangssignal des Sensorelements WB ist. Der Signalpfad endet bei dem ersten Ausgangssignal outl des Sensorsystems. Der Wert des ersten Ausgangssignals outl des Sensorsystems oder der Wert eines daraus ggf. beispielsweise durch Verstärkung, Filterung oder sonstige weitere Aufbereitung abgeleiteten Signals stellt dann typischerweise den Messwert dar. Das vorgeschlagene Verfahren umfasst als einen beispielhaften ersten Schritt ein erstes Mischen des Signals im Signalpfad mittels eines ersten Mischers, beispielsweise eines ersten Multiplizierers Ml, mit einem Chopper-Signal Cs an einer zweiten Stelle im Signalpfad, die typischerweise von der ersten Stelle, an der sich der Verstärker DV befindet, abweicht. Bevorzugt befindet sich also der Mischer bzw. erste Multiplizierer Ml an dieser zweiten Stelle im Signalpfad. Natürlich ist es auch denkbar, diese Mischung durch eine entsprechende Konstruktion des Verstärkers DV im Verstärker DV durchzuführen, wobei dann beispielsweise die Verstärkung des Verstärkers DV von dem Chopper- Signal Cs abhängen würde. Beispielsweise kann hierzu der Verstärker DV einen Gilbert-Multiplizierer als eine Verstärkerstufe umfassen. Es hat sich aber stattdessen allgemein bewährt, den Signalpfad differentiell auszuführen und den ersten Multiplizierer Ml als Umschalter zu realisieren, der in Abhängigkeit von dem Chopper-Signal Cs die beiden Signale des differentiellen Signals im Signalpfad vertauscht. Dies ist insbesondere bei der Verwendung einer Wheatstone-Brücke als Sensorelement WB sinnvoll, da diese bereits ein differentielles Signal liefert. Diese zweite Stelle für die Durchführung dieser ersten Mischung, also beispielsweise die Positionierung des ersten Multiplizierers, befindet sich typischerweise im Signalpfad zwischen dem Eingangssignal Si, das das Ausgangssignal des Sensorelements ist, am Anfang des Signalpfads und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Signalpfad. Damit die Unterdrückung des 1/f-Rauschens zuverlässig funktioniert, ist das Chopper-Signal Cs bevorzugt bandbegrenzt oder monofrequent. Diese Maßnahme hebt das Sensorausgangssignal, also der zeitliche Verlauf Si(t) des typischerweise sehr niederfrequenten Eingangssignals Si, um die Frequenz des Chopper-Signals Cs im Frequenzspektrum an. Die nachfolgenden Verstärkerstufen, Analog-zu-Digital-Wandler-Stufen und Filterstufen kontaminieren hierdurch den Frequenzbereich des somit frequenzangehobenen Eingangssignals Si nur noch mit weißem Rauschen und das Signal zu Rauschverhältnis verbessert sich. Um das verstärkte und digitalisierte Sensorsignal dann wieder nutzen zu können, muss das Sensorsystem diesen Vorgang wieder rückgängig machen. Hierzu führt typischerweise ein zweiter Mischer, der typischerweise ein zweiter Multiplizierer M2 ist, ein zweites Mischen des Signals an einer dritten Stelle im Signalpfad mit dem Chopper-Signal Cs zu einem ersten demodulierten Signal DM1 aus. Bevorzugt befindet sich diese dritte Stelle im Signalpfad zwischen dem Ausgang des Verstärkers DV, der sich ja an der ersten Stelle im Signalpfad befindet, und dem ersten Ausgangssignal outl des Sensorsystems am Ende des Signalpfads. Ein erstes Filtern des ersten demodulierten Signals DM1 oder eines daraus abgeleiteten Signals erfolgt an einer vierten Stelle im Signalpfad zwischen der dritten Stelle im Signalpfad einerseits und dem Ausgangssignal outl des Sensorsystems am Ende des Signalpfads andererseits. Typischerweise führt ein erster Tiefpass LP1 diese erste Filterung mit einer ersten Filterfunktion Fl[] durch. Somit erfolgt dieses erste Filtern mittels der Anwendung der besagten ersten Filterfunktion Fl [] auf das erste demodulierte Signal DM1 oder des daraus abgeleiteten Signals durch den ersten Tiefpassfilter LP. Statt eines Tiefpassfilters sind anwendungsabhängig auch andere Filter denkbar. Die hier vorgelegte Schrift geht aber davon ausg, dass der zu ermittelnde Messwert sich nur langsam und nicht vorhersehbar zyklisch ändert und dass somit der Gleichanteil des Messwerts die wesentliche Information darstellt. Die erste Filterfunktion Fl [] beschreibt dabei den Zusammenhang zwischen dem zeitlichen Verlauf DMl(t) des ersten demodulierten Signals DM1 bzw. des daraus abgeleiteten Signals einerseits und dem zeitlichen Verlauf des Signals unmittelbar nach der ersten Filterung. Das erste Ausgangssignal outl hängt von diesem Signal unmittelbar nach der ersten Filterung unter Anwendung der ersten Filterfunktion Fl[] ab. Das erste Ausgangssignal outl kann aber auch direkt das Ergebnis dieser ersten Filterung unter Anwendung der ersten Filterfunktion Fl[] sein. Um nun im Gegensatz zum Stand der Technik die Signalverarbeitungsvorrichtungen im Signalpfad zu zumindest zu großen Teilen überwachen zu können, speist das Sensorsystem nun ein Testsignal TSS in den Signalpfad ein. Das Sensorsystem entnimmt das modifizierte Testsignal TSS nach dem Durchlaufen des Signalpfads wieder aus dem Signalpfad. Das Sensorsystem bewertet anschließend dieses wieder entnommene Testsignal. Die Konstruktion gestaltet die erste Filterfunktion Fl[] und das Testsignal TSS sind dabei vorzugsweise so , dass bevorzugt das erste Ausgangssignal outl keine wesentlichen Anteile des Testsignals TSS mehr enthält. Ein erster Tiefpassfilter LP1, der die erste Filterfunktion Fl[] in dem Sensorsystem implementiert, sperrt also die Transmission von Signalanteilen entsprechend dem Testsignal TSS von seinem Eingang zu seinem Ausgang. Um diese Testsignalinjektion und -extraktion im Signalpfad vornehmen zu können umfasst das vorgeschlagene Verfahren zusätzliche Schritte. Hierzu gehört insbesondere das Addieren eines orthogonalen Chopper-Signals Cs90 oder eines daraus abgeleiteten Testsignals TSS zu dem Signal in dem Signalpfad. Diese Addition findet an einer fünften Stelle im Signalpfad statt. Diese fünfte Stelle befindet sich bevorzugt zwischen dem Eingangssignal Si, das das Ausgangssignal des Sensorelements WB ist, am Beginn des Signalpfads und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Signalpfad. Das Chopper-Signal Cs weist einen zeitlichen Verlauf Cs(t) des Chopper-Signals Cs auf und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 weist analog dazu einen zeitlichen Verlauf Cs90(t) des orthogonalen Chopper-Signals Cs auf. Der zeitliche Verlauf Cs(t) des Chopper-Signals Cs muss einigen Bedingungen, die diese Schrift später angibt, genügen. Solange diese Bedingungen erfüllt sind, ist die Wahl des zeitlichen Verlaufs des Chopper-Signals Cs relativ frei. Die hier vorgelegte Schrift empfiehlt allerdings, die Frequenzbandbreite des Chopper-Signals nicht zu breit zu wählen, da ansonsten unter Umständen die Reaktionszeit des Sensorsystems leiden kann. Der zeitliche Verlauf Cs90(t) des orthogonalen Chopper-Signals Cs muss ebenfalls einigen, allerdings engeren Bedingungen, die diese Schrift später ebenfalls angibt, genügen. Solange diese Bedingungen erfüllt sind, ist die Wahl des zeitlichen Verlaufs des orthogonalen Chopper-Signals Cs90 relativ frei. Diese Schrift empfiehlt allerdings, die Frequenzbandbreite des orthogonalen Chopper-Signals Cs90 ebenfalls nicht zu breit zu wählen, da ansonsten unter Umständen die Reaktionszeit des Sensorsystems ebenfalls leiden kann. Der zeitliche Verlauf Cs90(t) des orthogonalen Chopper-Signals Cs weist bezüglich der besagten ersten Filterfunktion Fl[] im Wesentlichen bis auf Rauschen und ähnliche Signalfehlern die Eigenschaft

Fl[Cs90(t) x Cs(t)]=0 zumindest zeitweise auf. Das bedeutet, dass das orthogonale Chopper-Signal Cs90 zu typischerweise vorbestimmbaren Zeiten orthogonal zum Chopper-Signal Cs ist.

Zur Erläuterung nehmen wir an, dass X(t) der zeitliche Verlauf eines beliebigen, nicht weiter definierten Signals ist. Wir nehmen beispielhaft an, dass die erste Filterfunktion Fl [X] das zeitliche unbestimmte Integral des zeitlichen Verlaufs des beispielhaften Signals X(t) ist. Wir nehmen also an, dass gilt:

Unter dieser Voraussetzung würde dann gelten:

Die erste Filterfunktion Fl[] wäre dann in diesem Beispiel nichts anderes als das L2-Produkt des Chopper-Signals Cs und des orthogonalen Chopper-Signals Cs90. Zum L2-Produkt verweisen wir beispielsweise auf https://de.wikipedia.Org/wiki/Lp-Raum#Der_Hilbertraum_L2 und dort auf den Abschnitt "Der Hilbertraum L ² ". Beim L2-Produkt handelt es sich um ein Skalarprodukt auf L ² . Eine andere Schrift ist beispielsweise das Skriptum "Einführung in die Differentialgeometrie" von Christopher R. Nerz, S198, Definition X.1.5, die der Leser zum Zeitpunkt der Anmeldung dieser Schrift unter https://www.math.uni-tuebingen.de/de/forschung/gadr/lehre/so se2015/diffgeo.pdf finden kann. Beispielsweise ist es vorstellbar, dass das Chopper-Signal Cs einer zeitlichen Sinusfunktion folgt und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 einer zeitlichen Cosinus-Funktion folgt. In einem solchen Fall ist dann offensichtlich, dass dann die Bedingung Fl[Cs90(t) x Cs(t)]=O nicht immer, sondern nur zu bestimmten Zeiten erfüllt ist. Führt der besagte erste Tiefpassfilter LP1 die erste Filterfunktion aus, ist es somit sinnvoll, wenn die Konstruktion des Sensorsystems am Ausgang dieses ersten Tiefpassfilters LP1 eine Halteschaltung vorsieht., Die Halteschaltung tastet immer dann, wenn die Bedingung Fl[Cs90(t) x Cs(t)]=O erfüllt ist, den aktuellen Wert der ersten Filterfunktion Fl[] des ersten Tiefpassfilters LP1 ab. Die Halteschaltung friert dann bis zur nächsten Erfüllung der Bedingung Fl[Cs90(t) x Cs(t)]=O diesen aktuellen Wert an ihrem Ausgang ein. Diese Abtastung durch die Halteschaltung überführt das unbestimmte Integral des Beispiels in ein bestimmtes Integral. r ^T p

Fl [Cs90(t) x Cs(t)J = Cs90(t) x Cs(t) dt

Jo

Hierbei sei angenommen, dass das Chopper-Signal Cs und das orthogonale Chopper-Signal bezüglich einer gemeinsamen Signalperiode T _p periodisch seien. Diese Abtastung des Filterausgangssignals eines Filters zu Zeitpunkten der tatsächlich vorliegenden Orthogonalität, also der Erfüllung der Randbedingungen soll auch für die im Folgenden noch erwähnten Filter und deren Filterungen gelten.

Als weiterer Schritt erfolgt ein drittes Mischen. Das dritte Mischen ist ein Mischen des ersten demodulierten Signals DM1 oder eines daraus abgeleiteten Signals einerseits mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 oder mit einem aus dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 abgeleiteten Signal andererseits. Das dritte Mischen erzeugt ein zweites demoduliertes Signal DM2. In diesem dritten Schritt filtert eine zweite Filterfunktion F2[] typischerweise als zweites Filtern auch das zweite demodulierte Signal DM2 oder ein daraus abgeleitetes Signal zu einem zweiten Ausgangssignal out2.

Die zweite Filterfunktion F2[] ist typischerweise so gewählt, dass im Wesentlichen die Bedingungen F2[Cs(t)]=0 und F2[Cs90(t)]=0 und F2[Cs(t)x Cs90(t)]=0 und F2[l]=ß2 mit ßz als reellen oder komplexen Werten gelten. Des Weiteren ist die erste Filterfunktion Fl[] typischerweise so gewählt, dass im Wesentlichen die Bedingungen Fl[Cs90(t)]=0 und Fl[Cs(t)]=O und Fl[Cs(t)x Cs90(t)]=0 und Fl[l]=ßi mit ßi als reellem oder komplexen Wert gelten. Hierbei erfolgt bevorzugt jeweils eine Abtastung des Filterausgangssignals des zweiten Tiefpassfilters LP2 mit der zweiten Filterfunktion F2[] immer zu den Zeitpunkten, an denen diese Bedingungen für die zweite Filterfunktion F2[] erfüllt sind. Hierbei erfolgt eine Abtastung des Filterausgangssignals des ersten Tiefpassfilters LP1 mit der ersten Filterfunktion Fl [] immer analog zu den Zeitpunkten, an denen diese Bedingungen für die erste Filterfunktion Fl[] erfüllt sind. Das zweite Ausgangssignal out2 besteht daher bevorzugt aus den Abtastwerten des Ausgangswerts der zweiten Filterfunktion F2[DM2] des zweiten Tiefpassfilters LP2, die das Sensorsystem zu Zeiten, an denen die Bedingungen für die zweite Filterfunktion F2[] erfüllt sind, abtastet. Das erste Ausgangssignal outl besteht daher bevorzugt aus den Abtastwerten des Ausgangswerts der ersten Filterfunktion F1[DM1] des ersten Tiefpassfilters LP1, die das Sensorsystem zu Zeiten, an denen die Bedingungen für die erste Filterfunktion Fl[] erfüllt sind, abtastet.

Um nun auf die korrekte Funktion der Vorrichtungsteile im Signalpfad zu schließen, erfolgt ein erster Vergleich des Werts des zweiten Ausgangssignals out2 oder des Werts eines daraus abgeleiteten Signals einerseits mit einem Erwartungswertintervall andererseits. Des Weiteren folgt das Schließen auf einen Fehler eines Vorrichtungsteils im Signalpfad, wenn der Wert des zweiten Ausgangssignals out2 bzw. des daraus abgeleiteten Signals außerhalb des Erwartungswertintervalls liegt.

Es ist dem Fachmann offensichtlich, dass er ggf. Teile des Signalpfads in einem Signalprozessor und einem zugehörigen Signalprozessorprogramm implementieren kann. Wenn hier von einem Signalpfad die Rede ist, wird aus der räumlichen Positionierung im Falle einer Realisierung als Programm in einem Signalprozessor eine zeitliche Positionierung. Somit wandeln sich dann die Positionen im Signalpfad zu Bearbeitungszeitpunkten in der Abfolge der Signalverarbeitungsschritte. Die Ansprüche umfassen daher, auch wenn sie von der Formulierung her eine örtliche Positionierung und Anordnung nahelegen, auch eine zeitliche Positionierung und Abfolge. Ein Dicke-Verfahren zur Reduktion des weißen Rauschens kann ggf. das vorgeschlagene Verfahren ergänzen. Die Grundidee eines Dicke-Receivers ist es das in einer rauschenden Umgebung platzierte Messobjekt mit einer Äquivalenzrauschquelle zu vergleichen.

Als Referenzrauschquelle verwendet unser Beispiel einer Wheatstone-Brücke WB daher eine zweite Wheatstone-Brücke, die Referenz-Wheatstone-Brücke RW, die die Konstruktion des Sensorsystem bevorzugt komplett gleich ausführt und die daher der Herstellungsprozess typischerweise gleich fertigt. Die Referenz-Wheatstone-Brücke RW kann typischerweise aber bevorzugt kein Messsignalzeigen . Ist das Sensorelement beispielsweise ein piezoresistiver mikromechanischer Drucksensor, bei dem eine Wheatstone-Brücke mit piezoresistiven Widerständen auf einer Membran über einer Kavität angeordnet ist, so kann beispielsweise das Referenzelement RW ein zweiter, exakt gleich gebauter und bevorzugt auf dem gleichen Silizium-Kristall realisierter zweiter Drucksensor mit einer zweiten gleich gebauten Wheatstone-Brücke sein. In dem nun folgenden Vorschlag erzeugt das Sensorsystem wird ein zweites Ausgangssignal out2, dass den Unterschied zwischen dem Ausgangssignal des Referenzelements, im Folgenden Referenzsignal Rs genannt, und dem Ausgangssignal des Sensorelements, hier das Eingangssignal Si, angibt. Für den Fall der Gleichheit von Sensorelement WB und Referenzelement RW, sollte dieses zweite Ausgangssignal out2 Null sein. Aufgrund von Fertigungstoleranzen und trotz aller Nähe doch leicht unterschiedlichen Betriebsparamatern wie der Temperatur und des unvermeidlichen Systemrauschens, wird dieses zweite Ausgangssignal out2 jedoch niemals in der Realität ganz Null sein. Vielmehr wird es sich wertmäßig innerhalb eines Erwartungswertintervalls bewegen müssen, was das Sensorsystem prüfen kann. Dies gilt auch für den Fall, dass das Referenzelement keinen Messwert liefern kann. Im Falle des beispielhaften mikromechanischen Drucksensors als Sensorelement, kann das Referenzelement RW beispielsweise auch nur die Referenz-Wheatstone-Brücke ohne eine Membran und ohne eine Kavität umfassen, sodass der Einfluss des Drucks massiv kleiner ist. In diesem Beispiel ist die Referenz-Wheatstone-Brücke gleich zur Wheatstone-Brücke gleich (englisch "matching") ausgeführt. In diesem Beispiel eines piezoresistiven Drucksensors sind die Wheatstone-Brücke des Drucksensors zusammen mit dessen Membran und dessen Kavität und zusammen mit der Referenz-Wheatstone- Brücke auf einem gemeinsamen Siliziumkristall untergebracht. In diesem beispielhaften Fall rauschen die Referenz-Wheatstone-Brücke und die Wheatstone-Brücke dann in gleicher Weise, was die Eliminierung des Rauschens ermöglicht. Das vorgeschlagene Verfahren zur Reduktion des Rauschens umfasst daher als erstes das Bereitstellen eines Referenzelements RW, das ein Referenzsignal Rs liefert. Bei diesem Referenzelement RW kann es sich beispielsweise um die beispielhaft erwähnte Referenz- Wheatstone-Brücke handeln. Analog zur Verarbeitung des Eingangssignals Si im Signalpfad erfolgt ein entsprechendes Verarbeiten des Referenzsignals Rs in einem Referenzsignalpfad. Dabei ist von besonderer Wichtigkeit, dass der Referenzsignalpfad gleich dem Signalpfad zur Verarbeitung des Eingangssignals Si gestaltet ist. Dies bedeutet, dass der Referenzpfad Positionen der Bearbeitung des Referenzsignals im Referenzpfad aufweist, die direkt mit entsprechenden Positionen der Bearbeitung des Signals im Signalpfad entsprechen. Nimmt eine Vorrichtung im Referenzpfad eine Bearbeitung an einer Position im Referenzpfad vor, so nimmt eine entsprechende gleich ausgeführte Vorrichtung im Signalpfad die gleiche Bearbeitung des Signals im Signalpfad in der gleichen Weise vor. Somit ist die Signalverarbeitung des Referenzsignals Rs im Referenzpfad zunächst eine räumlich parallele Verarbeitung zur Signalverarbeitung des Eingangssignals Si im Signalpfad, die in möglichst gleicher Weise wie die Signalverarbeitung des Eingangssignals Si im Signalpfad erfolgt.

Eine alternative Konstruktion kann diesen Raummultiplex ggf. nun durch einen Zeitmultiplex in bestimmten Teilen des Signalpfads ersetzen, was den Vorteil hat, dass das Sensorsystem dann nicht nur gleiche Vorrichtungsteile und Verfahrensschritte verwendet, sondern identische. Dies erhöht gegenüber dem Raummultiplex die Gleichheit des Rauschens im Referenzsignalpfad und im Signalpfad.

Unter Raummultiplex verstehen wir hier die zeitlich PARALLELE Verarbeitung von Signalen in mehreren gleichen oder ähnlichen Vorrichtungen. Im Gegensatz verstehen wir hier unter Zeitmultiplex die zeitlich SERIELLE Verarbeitung von Signalen in einer Vorrichtung. Beim Zeitmultiplex erfolgt die Verarbeitung in Signalpaketen, die die besagte Vorrichtung zeitlich nacheinander verarbeitet.

Der Referenzsignalpfad beginnt am Referenzelement RW mit dem Referenzsignal Rs. Der Referenzsignalpfad endet an dem zweiten Ausgangssignal out2.

Um das Referenzelement RW nutzen zu können, muss allerdings der Referenzsignalpfad am Beginn des Referenzpfads beim Referenzsignal Rs vom Signalpfad am Beginn des Signalpfads beim Eingangssignal Si verschieden sein. In dem hier vorgelegten Vorschlag soll zumindest der Verstärker DV dem Referenzsignalpfad und dem Signalpfad gemeinsam sein. Der Referenzsignalpfad umfasst somit an einer ersten Stelle des Referenzsignalpfads den Verstärker DV mit dem Eingang und dem Ausgang. Diese erste Stelle des Referenzsignalpfads mit dem Verstärker DV mit seinem Eingang und Ausgang ist somit auch die erste Stelle des Signalpfads mit dem Verstärker DV mit seinem Eingang und Ausgang. Somit ist der Verstärker DV Teil des Referenzsignalpfads an einer ersten Stelle im Referenzsignalpfad und gleichzeitig auch Teil des Signalpfads an der ersten Stelle des Signalpfads. Das Referenzsignal Rs befindet sich am Beginn des Referenzpfads. Der Referenzpfad weist eine sechste Stelle im Referenzpfad zwischen dem Referenzsignal Rs und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Referenzpfad auf. Der Signalpfad weist eine sechste Stelle im Signalpfad an einer korrespondierenden sechsten Stelle im Signalpfad zwischen dem Eingangssignal Si, das sich am Beginn des Signalpfads befindet, und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Signalpfad, die Signalpfad und Referenzpfad gemeinsam ist, auf. In dem Referenzsignalpfad befindet sich und in dem Signalpfad befindet sich an einer gemeinsamen sechsten Stelle im Referenzpfad und Signalpfad ein dem Signalpfad und dem Referenzpfad gemeinsamer Umschalter DS mit einem ersten Eingang und einem zweiten Eingang. In dem Referenzsignalpfad befindet sich der gemeinsame Umschalter DS somit an der sechsten Stelle im Referenzpfad. In dem Signalpfad befindet sich der gemeinsame Umschalter DS somit an einer korrespondierenden sechsten Stelle im Signalpfad, die eine gemeinsame sechste Stelle im Referenzpfad und Signalpfad ist.

Der gemeinsame Umschalter DS wählt als seinen aktiven Eingang in Abhängigkeit von einem zweiten Chopper-Signal Cs2 zwischen seinem ersten Eingang und seinem zweiten Eingang aus.

Der Signalpfad umfasst dabei den ersten Eingang des Umschalters DS, während der Referenzpfad den zweiten Eingang des Umschalters DS umfasst. Entsprechend umfasst der Signalpfad den zweiten Eingang des Umschalters DS nicht und der Referenzpfad den ersten Eingang des Umschalters DS nicht.

Der gemeinsame Umschalter DS wählt seinen aktiven in Abhängigkeit von einem zweiten Chopper- Signal Cs2 gewählten Eingang aus und schaltet dementsprechend den aktuellen Wert an diesem aktiven Eingang des gemeinsamen Umschalters DS an seinen Ausgang des gemeinsamen Umschalters DS durch.

Der Referenzpfad und der Signalpfad sind somit in dem Abschnitt vom Ausgang des gemeinsamen Umschalters DS an der sechsten Stelle im Referenzsignalpfad und Signalpfad und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Referenzsignalpfad und Signalpfad identisch. Die erste Filterung mit der ersten Filterfunktion Fl[] ist hierbei aber ausgeklammert und ausdrücklich nicht Teil des Referenzsignalpfads. Typischerweise ist somit der angesprochene beispielhafte erste Tiefpassfilter TP kein Teil des Referenzsignalpfads.

Ein viertes Mischen des ersten demodulierten Signals DM1 oder eines daraus abgeleiteten Signals mit dem zweiten Chopper-Signal Cs2 erzeugt ein drittes demoduliertes Signal DM3. Dieses dritte Mischen kann in einem dritten Mischer, beispielsweise einem dritten Multiplizierer M3, erfolgen.

Ein drittes Filtern des dritten demodulierten Signals DM3 oder eines daraus abgeleiteten Signals mittels einer dritten Filterfunktion F3[] zu einem dritten Ausgangssignal out3 schließt die Signalverarbeitung zunächst hier ab. Dieses dritte Filtern kann beispielsweise in einem dritten Tiefpassfilter LP3 erfolgen, der die dritte Filterfunktion F3[] dann realisiert.

Das Sensorsystem muss eine saubere Trennung i) des Messsignalanteils des Sensorelements und ii) des Differenzsignalanteils aus der Differenz zwischen dem Messsignalanteil des Sensorelements WB und dem Referenzsignalanteil des Referenzelements RW und iii) des Testsignalanteils gewährleisten. Hierfür müssen a) die erste Filterfunktion Fl[] des beispielhaften ersten Tiefpassfilters LP1 und b) die zweite Filterfunktion F2[] des beispielhaften zweiten Tiefpassfilters LP2 und c) die dritte Filterfunktion F3[] des beispielhaften dritten Tiefpassfilters LP3 bestimmte Bedingungen erfüllen.

Daher wählt die Konstruktion des Sensorsystems die erste Filterfunktion Fl[] so, dass im Wesentlichen die folgenden Bedingungen erfüllt sind:

Fl[Cs(t)]=O und Fl[Cs2(t)]=O

Fl[Cs90(t)]=0

Fl[Cs(t)x Cs2(t)]=0

Fl[Cs(t)x Cs90(t)]=0

Fl[Cs2(t)x Cs90(t)]=0

Fl[Cs(t) x Cs2(t)x Cs90(t)]=0

Fl[l]=ßi ßi ist dabei ein reeller oder komplexer Wert. Wie zuvor erwähnt, tastet eine Vorrichtung des Sensorsystems bevorzugt der Ausgang des beispielhaften ersten Tiefpassfilters LP1 zu genau solchen Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind, wenn man von den unvermeidlichen leichten Abweichungen durch Rauschen und Fertigungsfehler etc. absieht.

Die Konstruktion des Sensorsystems wählt auch die zweite Filterfunktion F2[] so, dass im Wesentlichen die folgenden Bedingungen erfüllt sind:

F2[Cs(t)]=0

F2[Cs2(t)]=0

F2[Cs90(t)]=0

F2[Cs(t)x Cs2(t)]=0

F2[Cs(t)x Cs90(t)]=0

F2[Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F2[Cs(t) x Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F2[l]=ß ₂ . ß ₂ ist dabei ein reeller oder komplexer Wert. Wie zuvor erwähnt, tastet eine Vorrichtung des Sensorsystems bevorzugt den Ausgang des beispielhaften zweiten Tiefpassfilters LP2 zu genau solchen Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind. Dabei sieht die technische Lehre dieser Schrift von den unvermeidlichen leichten Abweichungen durch Rauschen und Fertigungsfehler etc. ab.

In gleicher Weise wählt die Konstruktion des Sensorsystem die dritte Filterfunktion F3[] so, dass im Wesentlichen die folgenden Bedingungen erfüllt sind:

F3[Cs(t)]=0

F3[Cs2(t)]=0

F3[Cs90(t)]=0

F3[Cs(t)x Cs2(t)]=0 F3[Cs(t)x Cs90(t)]=0

F3[Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F3[Cs(t) x Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F3[l]=ß ₃

Dabei ist ß ₃ ein reeller oder komplexer Wert. Bevorzugt tastet eine Halteschaltung des Sensorsystems bevorzugt den Ausgang des beispielhaften dritten Tiefpassfilters LP3 zu Abtastzeitpunkten ab. Diese Abtastzeitpunkt sind dabei genau solchen Zeitpunkten, zu denen die vorstehenden Bedingungen erfüllt sind. Dabei sieht die technische Lehre dieser Schrift von den unvermeidlichen leichten Abweichungen durch Rauschen und Fertigungsfehler etc. ab.

Um nun einen Defekt des Referenzelements oder des Sensorelements zu detektieren, erfolgt bevorzugt ein zweiter Vergleich des Werts des dritten Ausgangssignals out3 oder des Werts eines daraus abgeleiteten Signals mit einem dritten Erwartungswertintervall. Des Weiteren erfolgt das Schließen auf einen Fehler, wenn der Wert des dritten Ausgangssignals out3 bzw. der Wert des daraus abgeleiteten Signals außerhalb des dritten Erwartungswertintervalls liegt. Beispielsweise ein dritter Komparator und ein vierter Komparator oder ein Signalprozessor oder dergleichen können diesen Vergleich durchführen. Der dritte Komparator vergleicht dabei ggf. den Wert des dritten Ausgangssignals out3 mit einem dritten Schwellwert. Der vierte Komparator vergleicht dabei ggf. den Wert des dritten Ausgangssignals out3 mit einem vierten Schwellwert.

Der Nachteil der oben angegebenen Verfahren ist, dass das Sensorelement, hier die beispielhafte Wheatstone-Brücke WB, nicht Teil des mit dem Testsignal TSS geprüften Signalpfadteils ist. Die vorgeschlagene Verfahrensmodifikation behebt dies nun.

Somit schlägt diese Schrift nun ein modifiziertes Verfahren zur Überwachung eines Sensorsystems im Betrieb vor, bei dem das Sensorsystem wie zuvor ein Sensorelement WB aufweist, dass ein Eingangssignal Si mit einem Eingangssignalwert in Abhängigkeit von einem Testsignal TSS liefert.

Wie zuvor weist auch hier das Sensorsystem einen Signalpfad auf, der wieder an einer ersten Stelle im Signalpfad einen Verstärker DV mit einem Eingang und einem Ausgang umfasst. Wie zuvor beginnt der Signalpfad mit dem Eingangssignal Si des Sensorelements WB und endet mit einem ersten Ausgangssignal outl.

Auch hier stellt der Wert des Ausgangssignals outl den Messwert dar.

Wieder erfolgt ein erstes Mischen des Signals im Signalpfad mit einem Chopper-Signal Cs an einer zweiten Stelle im Signalpfad. Dabei befindet sich diese zweite Stelle im Signalpfad zwischen dem Eingangssignal Si des Sensorelements am Anfang des Signalpfads und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Signalpfad.

Das Chopper-Signal Cs ist wieder bandbegrenzt oder monofrequent.

Auch erfolgt wieder ein zweites Mischen des Signals an einer dritten Stelle im Signalpfad mit dem Chopper-Signal Cs zu einem ersten demodulierten Signal DM1. Dabei befindet sich die dritte Stelle im Signalpfad zwischen dem Ausgang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Signalpfad und dem ersten Ausgangssignal outl des Sensorsystems am Ende des Signalpfads.

Wie zuvor erfolgt auch wieder ein erstes Filtern des ersten demodulierten Signals DM1 oder eines daraus abgeleiteten Signals an einer vierten Stelle im Signalpfad zwischen der dritten Stelle im Signalpfad einerseits und dem Ausgangssignal outl am Ende des Signalpfads andererseits. Dabei erfolgt dieses erste Filtern mittels Anwendung einer ersten Filterfunktion Fl[] auf das erste demodulierte Signal DM1 oder auf ein daraus abgeleitetes Signals. Dabei beschreibt die erste Filterfunktion Fl[] den Zusammenhang zwischen dem zeitlichen Verlauf DMl(t) des ersten demodulierten Signals DM1 bzw. des daraus abgeleiteten Signals einerseits und dem zeitlichen Verlauf des Signals. Dieser Verlauf des Signals ist dabei der unmittelbar nach der ersten Filterung, also typischerweise der Verlauf des Filterausgangssignals. Das erste Ausgangssignal outl hängt wieder von diesem Signal unmittelbar nach der ersten Filterung ab oder ist selbst das Ergebnis dieser ersten Filterung.

Im Gegensatz zum Stand der Technik erfolgt nun jedoch auch das Erzeugen des Testsignals TSS in Abhängigkeit von einem orthogonalen Chopper-Signal Cs90. Dabei weist das Chopper-Signal Cs einen zeitlichen Verlauf Cs(t) des Chopper-Signals Cs auf. Das orthogonale Chopper-Signal Cs90 weist dabei einen zeitlichen Verlauf Cs90(t) des orthogonalen Chopper-Signals Cs auf. Der zeitliche Verlauf Cs90(t) des orthogonalen Chopper-Signals Cs weist dabei bezüglich der besagten ersten Filterfunktion Fl[] im Wesentlichen bis auf Rauschen und ähnliche Signalfehler die Eigenschaft Fl[Cs90(t) x Cs(t)]=O zumindest zeitweise auf. Zumindest weist der zeitliche Verlauf Cs90(t) des orthogonalen Chopper-Signals Cs diese Eigenschaften zu den bereits diskutierten Zeitpunkten auf.

Im Gegensatz zum Stand der Technik erfolgen des Weiteren ein drittes Mischen des ersten demodulierten Signals DM1 oder eines daraus abgeleiteten Signals mit dem orthogonalen Chopper- Signal Cs90 oder einem daraus abgeleiteten Signal und die Erzeugung eines zweiten demodulierten Signals DM2.

Ein zweites Filtern des zweiten demodulierten Signals DM2 oder eines daraus abgeleiteten Signals mittels einer zweiten Filterfunktion F2[] resultiert in einem zweiten Ausgangssignal out2.

Die zweite Filterfunktion F2[] ist dabei so gewählt, dass im Wesentlichen F2[Cs(t)]=0 und F2[Cs90(t)]=0 und F2[Cs(t)x Cs90(t)]=0 und und F2[l]=ß2, mit ßz als reellem oder komplexen Wert, gelten. Wie zuvor tastet eine zweite Halteschaltung (englisch: Sample & Hold) den Ausgangswert des beispielhaften zweiten Tiefpassfilters LP2, der bevorzugt die zweite Filterfunktion F2[DM2] implementiert, zu Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind.

Die erste Filterfunktion Fl[] ist dabei so gewählt, dass im Wesentlichen Fl[Cs(t)]=O und Fl[Cs90(t)]=0 und Fl[Cs(t)x Cs90(t)]=0 Fl[l]=ßi, mit ßi als reellem oder komplexen Wert, gelten. Wie zuvor tastes eine erste Halteschaltung (englisch: Sample & Hold) den Ausgangswert des beispielhaften ersten Tiefpassfilters LP1, der bevorzugt die erste Filterfunktion F1[DM1] implementiert, zu Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind.

Ggf. kann eine Sensorvorrichtung eine erste Trigger-Schaltung umfassen. Die erste Trigger-Schaltung signalisiert zu Zeitpunkten, an dem die Bedingungen Fl[Cs(t)]=O und Fl[Cs90(t)]=0 und Fl[Cs(t)x Cs90(t)]=0 und Fl[l]=ßi erfüllt sind, der ersten Halteschaltung eine Abtastung des Ergebnisses der ersten Filterfunktion Fl[], Hierbei ist ßi ein reeller oder komplexer Wert. Die erste Halteschaltung wendet die Abtastung auf das erste demodulierte Signal DM1 an. Die erste Halteschaltung bildet durch diese Abtastung das erste Ausgangssignal outl.

Ggf. kann eine Sensorvorrichtung eine zweite Trigger-Schaltung umfassen. Die zweite Trigger- Schaltung signalisiert zu Zeitpunkten, an dem die Bedingungen F2[Cs(t)]=0 und F2[Cs90(t)]=0 und F2[Cs(t)x Cs90(t)]=0 und F2[l]=ß ₂ erfüllt sind, der zweiten Halteschaltung eine Abtastung des Ergebnisses der zweiten Filterfunktion F2[], Hierbei ist ß2 ein reeller oder komplexer Wert. Die zweite Halteschaltung wendet die Abtastung auf das zweite demodulierte Signal DM2 an. Die zweite

Halteschaltung bildet durch diese Abtastung das zweite Ausgangssignal out2.

Abschließend erfolgt wieder ein erster Vergleich des Werts des zweiten Ausgangssignals out2 oder des Werts eines daraus abgeleiteten Signals mit einem Erwartungswertintervall und schließen auf einen Fehler, wenn der Wert des zweiten Ausgangssignals out2 bzw. des daraus abgeleiteten Signals außerhalb des Erwartungswertintervalls liegt. Hier verweisen wir auf die Ausführungen in den vorausgehenden Abschnitten.

Auch hier ist es wieder sinnvoll das Sensorelement und das Referenzelement in den geprüften Signalpfad mit einzubeziehen. In diesem Fall erfolgt auch hier ein Bereitstellen eines Referenzelements RW, das ein Referenzsignal Rs liefert. Das Sensorsystem verarbeitet das Referenzsignal Rs in dem Referenzsignalpfad. Der Referenzsignalpfad ist wieder gleich dem Signalpfad zur Verarbeitung des Eingangssignals Si gestaltet. An dieser Stelle verweist die hier vorgelegte Schrift auf das bereits beschriebene Verfahren. Wieder beginnt der Referenzsignalpfad mit dem Referenzsignal Rs und endet wieder mit dem zweiten Ausgangssignal out2.

Wie zuvor, sind der Referenzsignalpfad am Beginn des Referenzsignalpfads beim Referenzsignal Rs und der Signalpfad am Beginn des Signalpfads beim Eingangssignal Si verschieden.

Wie zuvor, umfasst der Referenzsignalpfad an der ersten Stelle des Referenzsignalpfads den Verstärker DV mit dem Eingang und dem Ausgang. Somit ist auch hier, wie oben, der Verstärker DV Teil des Referenzsignalpfads an der ersten Stelle im Referenzsignalpfad und gleichzeitig Teil des Signalpfads an der ersten Stelle des Signalpfads.

Wie zuvor weist der Referenzsignalpfad eine sechsten Stelle im Referenzpfad zwischen Referenzsignal Rs am Beginn des Referenzpfads und Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Referenzpfad auf. Wiederum weist der Signalpfad eine sechste Stelle im Signalpfad zwischen Eingangssignal Si am Beginn des Signalpfads und Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Signalpfad auf, die Signalpfad und Referenzpfad gemeinsam ist. Wieder umfassen der Referenzsignalpfad und der Signalpfad an dieser gemeinsamen sechsten Stelle im Referenzpfad und Signalpfad ein dem Signalpfad und dem Referenzpfad einen gemeinsamen Umschalter DS mit einem ersten Eingang und einem zweiten Eingang. Der dem Signalpfad und dem Referenzsignalpfad gemeinsame Umschalter DS wählt seinen aktiven Eingang unter diesen beiden Eingängen, wie oben beschrieben, in Abhängigkeit von einem zweiten Chopper-Signal Cs2 zwischen seinem ersten Eingang und seinem zweiten Eingang aus.

Der Signalpfad umfasst dabei wieder den ersten Eingang des Umschalters DS und den zweiten Eingang des Umschalters DS nicht. Der Referenzpfad umfasst dementsprechend den zweiten Eingang des Umschalters DS und den ersten Eingang des Umschalters DS nicht.

Der gemeinsame Umschalter DS wählt seinen aktiven in Abhängigkeit von einem zweiten Chopper- Signal Cs2 gewählten Eingang aus und schaltet den Wert an diesem aktiven Eingang des gemeinsamen Umschalters DS an den Ausgang des gemeinsamen Umschalters DS durch.

Der Referenzpfad und der Signalpfad sind in dem Abschnitt vom Ausgang des gemeinsamen Umschalters DS an der sechsten Stelle im Referenzsignalpfad und Signalpfad und dem Eingang des Verstärkers DV an der ersten Stelle im Referenzsignalpfad und Signalpfad identisch.

Die erste Filterung mit der ersten Filterfunktion Fl[], also beispielsweise der erste Tiefpassfilter LP1 ist nicht Teil des Referenzpfads.

Ein drittes Filtern des dritten, demodulierten Signals DM3 oder eines daraus abgeleiteten Signals mittels einer dritten Filterfunktion F3[], beispielsweise in einem dritten Tiefpassfilter LP3, erzeugt ein drittes Ausgangssignal out3.

Das Sensorsystem muss eine saubere Trennung i) des Messsignalanteils des Sensorelements und ii) des Differenzsignalanteils aus der Differenz zwischen dem Messsignalanteil des Sensorelements WB und dem Referenzsignalanteil des Referenzelements RW und iii) des Testsignalanteils zu gewährleisten. Hierfür müssen die erste Filterfunktion Fl[] des beispielhaften ersten Tiefpassfilters LP1 und die zweite Filterfunktion F2[] des beispielhaften zweiten Tiefpassfilters LP2 und die dritte Filterfunktion des beispielhaften dritten Tiefpassfilters LP3 wieder bestimmte Bedingungen erfüllen.

Daher wählt die Konstruktion des Sensorsystems die erste Filterfunktion Fl[] so, dass im Wesentlichen die folgenden Bedingungen erfüllt sind:

Fl[Cs(t)]=O

Fl[Cs2(t)]=0 Fl[Cs90(t)]=0

Fl[Cs(t)x Cs2(t)]=0

Fl[Cs(t)x Cs90(t)]=0

Fl[Cs2(t)x Cs90(t)]=0

Fl[Cs(t) x Cs2(t)x Cs90(t)]=0

Fl[l]=ß

Hierbei ist ßi ein reeller oder komplexer Wert. Wie zuvor erwähnt tastet bevorzugt eine Abtastschaltung (Englisch Sample&Hold) bevorzugt den Ausgang des beispielhaften ersten Tiefpassfilters LP1 zu genau solchen Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind. Dabei sieht die technische Lehre dieser Schrift von den unvermeidlichen leichten Abweichungen durch Rauschen und Fertigungsfehler etc. ab.

Auch wählt die Konstruktion des Sensorsystems die zweite Filterfunktion F2[] so, dass im Wesentlichen die folgenden Bedingungen erfüllt sind:

F2[Cs(t)]=0

F2[Cs2(t)]=0

F2[Cs90(t)]=0

F2[Cs(t)x Cs2(t)]=0

F2[Cs(t)x Cs90(t)]=0

F2[Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F2[Cs(t) x Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F2[l]=ß ₂

Hierbei ist ß ₂ ein reeller oder komplexer Wert. Wie zuvor erwähnt, tastet bevorzugt eine Abtastschaltung (Englisch Sample&Hold) bevorzugt den Ausgang des beispielhaften zweiten Tiefpassfilters LP2 zu genau solchen Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind. Die technische Lehre dieser Schrift sieht dabei von den unvermeidlichen leichten Abweichungen durch Rauschen und Fertigungsfehler etc. ab.

In gleicher Weise wählt die Konstruktion des Sensorsystems die dritte Filterfunktion F3[] so , dass im Wesentlichen die folgenden Bedingungen erfüllt:

F3[Cs(t)]=0

F3[Cs2(t)]=0

F3[Cs90(t)]=0

F3[Cs(t)x Cs2(t)]=O

F3[Cs(t)x Cs90(t)]=0

F3[Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F3[Cs(t) x Cs2(t)x Cs90(t)]=0

F3[l]=ß ₃

Dabei ist ßs ein reeller oder komplexer Wert. Wie zuvor erwähnt, tastet bevorzugt eine Abtastschaltung (Englisch Sample&Hold) bevorzugt der Ausgang des beispielhaften dritten Tiefpassfilters LP3 zu genau solchen Zeitpunkten ab, zu denen diese Bedingungen erfüllt sind. Die technische Lehre dieser Schrift sieht dabei von den unvermeidlichen leichten Abweichungen durch Rauschen und Fertigungsfehler etc. ab.

Um nun einen Defekt des Referenzelements oder des Sensorelements zu detektieren, erfolgt bevorzugt ein zweiter Vergleich des Werts des dritten Ausgangssignals out3 oder des Werts eines daraus abgeleiteten Signals mit einem dritten Erwartungswertintervall. Des Weiteren folgt bevorzugt das Schließen auf einen Fehler, wenn der Wert des dritten Ausgangssignals out3 bzw. der Wert des daraus abgeleiteten Signals außerhalb des dritten Erwartungswertintervalls liegt. Ein dritter Komparator kann beispielsweise den Wert des dritten Ausgangssignals out3 mit einem dritten Schwellwert vergleichen. Ein vierter Komparator kann beispielsweise den Wert des dritten Ausgangssignals out3 mit einem vierten Schwellwert vergleichen. Beispielsweise der dritte Komparator und ein vierter Komparator oder ein Signalprozessor oder dergleichen können den zweiten Vergleich durchführen. Um nun solche Verfahren durchführen zu können, sind besondere Drucksensoren bzw. Sensoren vorteilhaft.

Es wird somit ein Drucksensor zur Verwendung in einem Verfahren nach einem oder mehreren der zuvor beschriebenen Verfahren vorgeschlagen. Der vorgeschlagene Drucksensor umfasst eine Wheatstone-Brücke mit vier piezoresistiven Widerständen RI, R2, R3, R4 und eine Referenz- Wheatstone-Brücke mit vier piezoresistiven Referenzwiderständen R5, R6, R7, R8. Bevorzugt sind die Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 der Referenz-Wheatstone-Brücke RW in gleicher Weise wie die Widerstände RI, R2, R3, R4 der Wheatstone-Brücke WB angeordnet. Um eine gute thermische Kopplung und damit eine bessere Gleichheit des Rauschens zu erreichen, ist der Drucksensor mit der Wheatstone-Brücke WB als Sensorelement und der Referenz-Wheatstone-Brücke RW als Referenzelement auf einem monolithischen Kristall gemeinsam angeordnet. Hierdurch sind sie bei der Fertigung und im Betrieb in etwa den gleichen Einflüssen ausgesetzt. Die gleiche Ausrichtung der Bauelemente und die gleiche Anordnung der Bauelemente zueinander maximiert diese Gleichheit.

Der Drucksensor umfasst mindestens eine erste Kavität, die auf zumindest einer Seite durch eine erste Membran verschlossen ist und von einem durchgängigen Wall umgeben ist. Die der ersten Membran gegenüberliegende Kavitätsfläche der ersten Kavität kann im Fall von Differenzdrucksensoren ganz oder teilweise geöffnet sein, um einem Medium Zutritt zu gewähren, oder im Fall von Absolutdrucksensoren geschlossen sein. Die piezoresistiven Widerstände RI, R2, R3, R4 der Wheatstone-Brücke WB sind bevorzugt zumindest teilweise auf der ersten Membran angeordnet. In diesem Zusammenhang verweist die hier vorgelegte Schrift beispielhaft auf die Schutzrechte EP 2 524 389 Bl, EP 2 524 390 Bl, EP 2 524 198 Bl, EP 2 523 896 Bl und EP 2 523 895 Bl.

Für das Referenzsensorelement gibt es nun mehrere Möglichkeiten:

A) Das Referenzsensorelement kann so gestaltet sein, dass es ein Referenzsignal Rs liefert, das gleich dem Eingangssignal Si sein sollte. Dabei sind das Referenzsignal Rs und das Eingangssignal Si von dem Wert der physikalischen Größe, die das jeweilige Ausgangssignal des Sensorelements und das Ausgangssignal des Referenzelements beeinflusst, in gleicher Weise abhängig. Somit hat dann eine Änderung des Werts dieser physikalischen Größe eine wertgleiche Änderung des Eingangssignals Si und des Referenzsignals Rs zur Folge. In dem hier diskutierten Beispiel eines Drucksensors ist diese beispielhafte physikalische Größe der Druck.

B) Das Referenzsensorelement kann so gestaltet sein, dass es ein Referenzsignal Rs liefert. Dieses Referenzsignal Rs sollte in vorbekannter Weise abweichend von dem Eingangssignal Si sein. Das Eingangssignal Si liefert dabei das Sensorelement. Dabei sind das Referenzsignal Rs und das Eingangssignal Si von dem Wert der physikalischen Größe, die das jeweilige Ausgangssignal des Sensorelements und das Ausgangssignal des Referenzelements beeinflusst, in ungleicher Weise abhängig. Somit hat eine Änderung des Werts dieser physikalischen Größe eine nicht wertgleiche Änderung des Eingangssignals Si und eine nicht verschwindende Änderung des Referenzsignals Rs zur Folge. In dem hier diskutierten Beispiel eines Drucksensors ist diese beispielhafte physikalische Größe typischerweise der Druck.

C) Das Referenzsensorelement kann so gestaltet sein, dass es ein Referenzsignal Rs liefert, das in vorbekannter Weise abweichend dem Eingangssignal Si, nämlich im Wesentlichen konstant, sein sollte. Dabei ist das Referenzsignal Rs hier nun bevorzugt im Wesentlichen nicht von dem Wert der physikalischen Größe, die das jeweilige Ausgangssignal des Sensorelements beeinflusst, abhängig. Demgegenüber ist das Eingangssignal Si weiterhin von dem Wert der physikalischen Größe, die das jeweilige Ausgangssignal des Sensorelements beeinflusst, abhängig, sodass eine Änderung des Werts dieser physikalischen Größe eine Änderung des Eingangssignals Si und keine oder nur eine vernachlässigbare Änderung des Referenzsignals Rs zur Folge hat. In dem hier diskutierten Beispiel eines Drucksensors ist diese beispielhafte physikalische Größe der Druck.

Fall A) Referenzelement und Sensorelement sind gleich ausgeführt.

In dem Drucksensorbeispiel des Falls A umfasst der Drucksensor eine Referenzkavität, die auf zumindest einer Seite durch eine zweite Membran verschlossen ist und von einem durchgängigen Wall umgeben ist. Die zweite Membran ist bevorzugt gleich der ersten Membran ausgeführt. Bevorzugt sind die Dimensionen und die Form der ersten Membran gleich den Dimensionen und der Form der zweiten Membran. Bevorzugt ist die Referenzkavität in der gleichen Weise ausgeführt wie die erste Kavität. Die der zweiten Membran gegenüberliegende Kavitätsfläche der Referenzkavität kann ganz oder teilweise geöffnet sein, um einem Medium Zutritt zu gewähren, oder geschlossen sein. Bevorzugt ist diese Kavitätsfläche der Referenzkavität geschlossen, wenn die entsprechende Kavitätsfläche der ersten Kavität geschlossen ist. Bevorzugt ist diese Kavitätsfläche der Referenzkavität geöffnet, wenn die entsprechende Kavitätsfläche der ersten Kavität geöffnet ist, wobei dann die Öffnungen der entsprechenden Kavitätsflächen in gleicher Weise ausgeführt sind. Im Falle von geschlossenen Kavitäten sind die erste Kavität und die Referenzkavität bevorzugt mit gleichen Gasen mit gleichem Druck oder mit bevorzugt gleich gutem Vakuum gefüllt. Die piezoresistiven Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 der beispielhaften Referenz-Wheatstone-Brücke RW sind bevorzugt zumindest teilweise auf der zweiten Membran über der Referenzkavität angeordnet. Im optimalen Fall stimmen das Verhalten der ersten Wheatstone-Brücke WB im Zusammenwirken mit der ersten Membran und der ersten Kavität mit dem Verhalten der Referenz- Wheatstone-Brücke RW im Zusammenwirken mit der zweiten Membran und der Referenzkavität überein, sodass sich am dritten Ausgangssignal out3 im Wesentlichen kein von Null verschiedenes Signal außer Rauschen messen lässt. Ist am dritten Ausgang out3 ein von Null verschiedenes Signal zu messen, das außerhalb des dritten Erwartungswertintervalls liegt, so liegt ein Fehler vor.

Fall B) Referenzelement und Sensorelement sind ungleich ausgeführt und das Referenzelement ist gegenüber der physikalischen Größe anders empfindlich als das Sensorelement.

In diesem Drucksensorbeispiel des Falls B umfasst der Drucksensor eine Referenzkavität, die auf zumindest einer Seite durch eine zweite Membran verschlossen ist und von einem durchgängigen Wall umgeben ist. Der durch die Referenzkavität und die zweite Membran erzielte mechanische Aufbau weicht in diesem Fall bevorzugt von dem mechanischen Aufbau, den die erste Kavität und die erste Membran erzielen, ab. Die zweite Membran kann beispielsweise anders als die erste Membran ausgeführt sein. Sie kann beispielsweise dicker, dünner, größer, kleiner, anders geformt oder anders strukturiert sein. Die Referenzkavität kann anders als die erste Kavität ausgeformt sein. Die Referenzkavität kann beispielsweise kleiner oder größer, tiefer oder flacher oder anders geformt oder anders gefüllt sein. Die der zweiten Membran gegenüberliegende Kavitätsfläche der Referenzkavität kann anders ausgeformt sein als die der ersten Membran gegenüberliegende Kavitätsfläche der ersten Kavität. Sie kann geschlossen sein, während die andere geöffnet ist oder sie kann geöffnet sein, während die andere geschlossen ist. Sind beide geöffnet, können Form, Lage der Öffnung innerhalb der jeweiligen Kavität und Größe voneinander abweichen. Im Falle von geschlossenen Kavitäten können diese mit ungleichen Gasen und/oder mit ungleichem Druck, wobei diese Schrift unter niedrigem Druck auch ein Vakuum versteht, gefüllt sein. Natürlich ist es auch denkbar, dass die piezoresistiven Widerstände RI, R2, R3, R4 der Wheatstone-Brücke WB anders ausgeführt sein können als die piezoresistiven Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 der Referenz- Wheatstone-Brücke RW. Diese andere Ausführung kann die Widerstandswerte, die Größe, Dimensionen, Ausführungen, Orientierungen, Dotierstoffe etc. betreffen. Das dritte Ausgangssignal out3 und das erste Ausgangssignal outl bilden dabei zusammen einen Ausgangssignalvektor, dessen Ausgangssignalvektorwert sich nur in vorbestimmten Bereichen befinden darf. Es ist daher möglich, entweder den zweidimensionalen Ausgangssignalvektorwert dieses zweidimensionalen Vektors auf Übereinstimmung mit einem zweidimensionalen Erwartungswertbereich zu prüfen, oder aus diesem zweidimensionalen Ausgangssignalvektorwert die beiden Werte zweier verschiedener, das Sensorelement und das Referenzelement unterschiedlich beeinflussender physikalischer Parameter zu extrahieren. Verlässt der zweidimensionale Wert des zweidimensionalen Ausgangsvektors den zweidimensionalen Erwartungswertbereich, so kann das Sensorsystem oder ein übergeordnetes Rechnersystem auf einen Fehler schließen.

Fall C) Referenzelement und Sensorelement sind ungleich ausgeführt und das Referenzelement ist gegenüber der physikalischen Größe nicht empfindlich.

Im Fall C umfasst der Drucksensor bevorzugt keine Referenzkavität. Dadurch weicht der mechanische Aufbau des Referenzelements in Form der Referenz-Wheatstone-Brücke RW massiv von dem mechanischen Aufbau des Sensorelements in Form der Wheatstone-Brücke WB ab. Der Fall C ist im Idealfall ein Extremfall des Falls B. In diesem Extremfall weist dann typischerweise das Referenzelement in diesem Fall keine Empfindlichkeit gegenüber der physikalischen Größe mehr auf. Das Referenzelement hat hierbei die Form der Referenz-Wheatstone-Brücke RW. Die physikalische Größe ist dabei die physikalische Größe, die das Sensorsystem mittels des Sensorelements, hier in Form der Wheatstone-Brücke WB, erfassen soll. Das Referenzsensorelement RW erfasst dann typischerweise parasitäre Parameter, wie beispielsweise Druck oder Feuchtigkeit. Die Auswertung erfolgt analog der Auswertung im Fall B.

Bevorzugt sind in diesem beispielhaften Fall eines mikromechanischen Drucksensors die piezoresistiven Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 so angeordnet, dass eine Auslenkung der ersten Membran die Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 der Referenz-Wheatstone-Brücke RW nicht beeinflusst. Bevorzugt befinden sich die Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 zu diesem Zweck nicht auf der ersten Membran. Der erste Widerstand RI der Wheatstone-Brücke WB gleicht einem fünften Widerstand R5 der Referenz-Wheatstone-Brücke WB dadurch, dass er in der gleichen Weise konstruiert ist.

Der zweite Widerstand R2 der Wheatstone-Brücke WB gleicht einem sechsten Widerstand R6 der Referenz-Wheatstone-Brücke WB dadurch, dass er in der gleichen Weise konstruiert ist.

Der dritte Widerstand R3 der Wheatstone-Brücke WB gleicht einem siebten Widerstand R7 der Referenz-Wheatstone-Brücke WB dadurch, dass er in der gleichen Weise konstruiert ist.

Der vierte Widerstand R4 der Wheatstone-Brücke WB gleicht einem achten Widerstand R8 der Referenz-Wheatstone-Brücke WB dadurch, dass er in der gleichen Weise konstruiert ist.

Dieses Referenzelement in diesem Beispiel in Form einer Referenz-Wheatstone-Brücke RW nutzt das Sensorsystem dann bevorzugt als Referenzrauschquelle für die nachfolgende Signalverarbeitung des Eingangssignals Si aus dem Sensorelement, hier der Wheatstone-Brücke WB.

Diese Schrift schlägt somit einen Sensor zur Verwendung in einem der zuvor vorgestellten Verfahren vor. Der Sensor kann insbesondere ein Drucksensor sein. Der vorgeschlagene Sensor weist einen ersten Widerstand RI mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss auf. Der vorgeschlagene Sensor weist einen zweiten Widerstand R2 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss auf. Der vorgeschlagene Sensor weist einen dritten Widerstand R3 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss auf. Der vorgeschlagene Sensor weist einen vierten Widerstand R4 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss auf. Um nun eine erste differentielle Modulationsspannung V _mO di erzeugen zu können, weist der Sensor in dieser Ausführungsvariante eine erste Spannungsquelle VI mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss und eine zweite Spannungsquelle V2 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss auf. Der erste Anschluss der ersten Spannungsquelle VI ist mit einer ersten

Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der zweite Anschluss der ersten Spannungsquelle VI ist mit dem ersten Anschluss des ersten Widerstands RI verbunden. Der zweite Anschluss des ersten Widerstands RI ist mit dem ersten Anschluss des zweiten Widerstands R2 verbunden. Der zweite Anschluss des zweiten Widerstands R2 ist mit einer zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Der erste Anschluss der zweiten Spannungsquelle V2 ist mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der zweite Anschluss der zweiten Spannungsquelle V2 ist mit dem ersten Anschluss des dritten Widerstands R3 verbunden. Der zweite Anschluss des dritten Widerstands R3 ist mit dem ersten Anschluss des vierten Widerstands R4 verbunden. Der zweite Anschluss des vierten Widerstands R4 ist mit der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Die erste Spannung der ersten Spannungsquelle VI hängt von dem Testsignal TSS ab. Die zweite Spannung der zweiten Spannungsquelle V2 hängt von dem Testsignal TSS in umgekehrte Weise wie die erste Spannung der ersten Spannungsquelle VI ab.

Statt der Einspeisung eines Testsignals über Spannungsquellen VI, V2, Vlb, V2b kann die Einspeisung auch über entsprechende Stromquellenpaare erfolgen, wobei dann das Sensorsystem die Wheatstone-Brücke WB und die Referenz-Wheatstone-Brücke RW nicht aus mittels Spannungsquellenpaaren [VI, V2], [Vlb, V2b], sondern aus mittels Stromquellenpaaren erregen muss. Der Wheatstone-Brücke WS ist dabei ein erstes Stromquellenpaar zugeordnet. Der Referenz- Wheatstone-Brücke RW ist dabei ein zweites Stromquellenpaar zugeordnet. Jedes Stromquellenpaar dieser Stromquellenpaare besteht dann aus jeweils zwei Stromquellen. Von den Stromquellen eines solchen Stromquellenpaares speist eine erste Stromquelle dieses Stromquellenpaares einen ersten Strom in einen ersten Zweig der Wheatstone-Brücke WB bzw. der Referenz-Wheatstone-Brücke RW je nach Zuordnung ein. Von den Stromquellen dieses Stromquellenpaares speist die zweite Stromquelle dieses Stromquellenpaares einen zweiten Strom in den zweiten Zweig der Wheatstone- Brücke WB bzw. der Referenz-Wheatstone-Brücke RW je nach Zuordnung ein. Der erste Strom und der zweite Strom hängen dabei vom Testsignal TSS mit unterschiedlichem Vorzeichen ab. Insgesamt benötigt das Sensorsystem dann also vier Stromquellen, die die Konstruktion des Sensorsystems bevorzugt wieder gleich (englisch: matchend) ausführt. Hierzu umfasst diese Schrift keine Zeichnung, weil dem Fachmann diese Möglichkeit offensichtlich ist.

Statt der Einspeisung des Testsignalanteils in das Eingangssignal Si durch Spannungs- oder Stromquellen ist auch die Modulation des Werts der Widerstände RI, R2, R3, R4 der Wheatstone- Brücke WB und der Referenzwiderstände R5, R6, R7, R8 der Referenz-Wheatstone-Brücke RW möglich. Hierzu schlägt die hier vorgelegte Schrift hier als weitere Ausführungsvariante einen Sensor, insbesondere einen Drucksensor, vor, der typischerweise zur Verwendung in einem Verfahren nach einem oder mehreren der zuvor vorgestellten Verfahren bestimmt ist. Der Sensor umfasst dann einen ersten Widerstand RI mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss und einen zweiten Widerstand R2 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss und einen dritten Widerstand R3 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss und einen vierten Widerstand R4 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss. Des Weiteren umfasst der Sensor einen ersten variablen Widerstand RV1 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss und einen zweiten variablen Widerstand RV2 mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss.

Der erste Anschluss des ersten variablen Widerstands RV1 ist mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der zweite Anschluss des ersten variablen Widerstands RV1 ist mit dem ersten Anschluss des ersten Widerstands RI verbunden. Der zweite Anschluss des ersten Widerstands RI ist mit dem ersten Anschluss des zweiten Widerstands R2 verbunden. Der zweite Anschluss des zweiten Widerstands R2 ist mit einer zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Der erste Anschluss des zweiten variablen Widerstands RV2 ist mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der zweite Anschluss des zweiten variablen Widerstands RV2 ist mit dem ersten Anschluss des dritten Widerstands R3 verbunden. Der zweite Anschluss des dritten Widerstands R3 ist mit dem ersten Anschluss des vierten Widerstands R4 verbunden. Der zweite Anschluss des vierten Widerstands R4 ist mit der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Der Widerstandswert des ersten variablen Widerstands RV1 hängt von einem Testsignal TSS ab und der Widerstandswert des zweiten variablen Widerstands RV2 hängt von dem Testsignal TSS in umgekehrter Weise wie der Widerstandswert des ersten variablen Widerstands RV1 ab. Bevorzugt führt die Konstruktion des Sensorsystems den ersten variablen Widerstand RV1 und den zweiten variablen Widerstand RV2 gleich (englisch: matchend) aus.

Vorteil

Solche Verfahren und die beispielhaften Vorrichtungen der folgenden Figuren ermöglichen zumindest in einigen Realisierungen die Überprüfung des Signalpfads während des Betriebs. Die Vorteile sind hierauf aber nicht beschränkt.

Beschreibung der Figuren

Die Figuren stellen beispielhafte Ausführungen der Vorschläge dieser Schrift dar. Sie sind schematisch und vereinfacht dargestellt. Figur 1

Figur 1 zeigt eine einfache, beispielhafte Ausführung der Erfindung. Als beispielhafter Sensor mit einem differentiellen Ausgang ist eine Wheatstone-Brücke WB gewählt. Die beispielhafte Wheatstone-Brücke WB umfasst einen ersten Widerstand RI, einen zweiten Widerstand R2, einen dritten Widerstand R3 und einen vierten Widerstand R4. Bei Verwendung in einem piezoresistiven Drucksensor sind beispielsweise der erste Widerstand RI ein piezoresistiver erster Widerstand RI und der zweite Widerstand R2 ein piezoresistiver zweiter Widerstand R2 und der dritte Widerstand R3 ein piezoresistiver dritter Widerstand R3 und der vierte Widerstand R4 ein piezoresistiver vierter Widerstand R4. Der erste Widerstand RI ist mit dem zweiten Widerstand R2 zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND in Serie geschaltet. Der dritte Widerstand R3 ist mit dem vierten Widerstand R4 zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND ebenfalls in Serie geschaltet. Das Sensorsystem betreibt beispielhaft die Wheatstone-Brücke WB mit der Versorgungsspannung zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND. Die Wheatstone-Brücke WB ist dementsprechend mit einem ersten Anschluss mit der Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden und mit einem zweiten Anschluss mit der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Der Knoten zwischen dem ersten Widerstand RI und dem zweiten Widerstand R2 bildet beispielhaft ein negative Eingangssignal Sin des differentiellen Eingangssignals Si. Der Knoten zwischen dem dritten Widerstand R3 und dem vierten Widerstand R4 bildet beispielhaft ein positives Eingangssignal Sip des differentiellen Eingangssignals Si.

Der Einsatz von Wheatstone-Brücken ist von vielen Sensorsystemen zur Wandlung des betreffenden physikalischen Parameters in ein Differenzspannungssignal zwischen einem positiven Eingangssignal Sip und einem negativen Eingangssignal Sin bekannt. Beispielsweise kann es sich bei der Wheatstone-Brücke WB um eine solche Brücke aus piezoresistiven Widerständen RI, R2, R3, R4 der Sensorelemente eines piezoresistiven mikromechanischen Drucksensors oder dergleichen handeln.

Das Signalpaar aus positivem Eingangssignal Sip und negativem Eingangssignal Sin bildet das differentielle Eingangssignal Si. In dem Beispiel der Figur 1 addiert ein erster Addierer Al ein differentielles Testsignal TSS zu dem differentiellen Eingangssignal Si und bildet so das differentielle Eingangssignal mit Testsignalanteil SiT. Der erste Multiplizierer Ml multipliziert das differentielle Eingangssignal mit Testsignalanteil SiT mit einem Chopper-Signal Cs und bildet so das differentielle, multiplizierte Eingangssignal mit Testsignalanteil MSiT. Bevorzugt ist das Chopper-Signal Cs ein digitales Signal mit zwei logischen Werten, hier beispielhaft mit 0 und 1 belegt. Beispielsweise kann eine Umschaltvorrichtung den ersten Multiplizierer Ml bilden. Die Konstruktion bildet die Funktion der Umschaltvorrichtung dann beispielsweise wie folgt:

A) Bei einer logischen 0 als Wert des Chopper-Signals Cs entspricht das differentielle, multiplizierte Eingangssignal mit Testsignalanteil MSiT dem differentiellen Eingangssignal mit Testsignalanteil SiT,

B) Bei einer logischen 1 als Wert des Chopper-Signals Cs entspricht das differentielle, multiplizierte Eingangssignal mit Testsignalanteil MSiT dem differentiellen Eingangssignal mit Testsignalanteil SiT mit vertauschten Leitungen.

Ein Differenzverstärker DV verstärkt das differentielle, multiplizierte Eingangssignal mit Testsignalanteil MSiT zu einem Verstärkerausgangssignal VO.

Ein Analog-zu-Digital-Wandler ADC wandelt das Verstärkerausgangssignal VO in ein Eingangssignal DFI eines digitalen Filters DF um. Dieses Eingangssignal DFI des digitalen Filters DF ist typischerweise ein digitales Signal von Abtastwerten des Verstärkerausgangssignals VO aus dem Analog-zu-Digital- Wandler ADC.

Der digitale Filter DF filtert das Eingangssignal DFI des digitalen Filters DF zu einem Ausgangssignal DFO des digitalen Filters DF. Dabei unterdrückt der digitale Filter ggf. vorhandene Signalanteile, die ggf. auf Störfrequenzen liegen. Typischerweise handelt es sich um einen Dezimationsfilter für die durch die Abtastung mittels des Analog-zu-Digital-Wandlers ADC hinzugefügten Wandlungsartefakte.

Ein beispielhafter Phasen-Kompensator PC korrigiert die dabei entstehenden Phasenfehler und bildet ein Phasenkompensatorausgangssignal PCO.

Nach Verstärkung und Digitalisierung multipliziert ein zweiter Multiplizierer M2 das Phasenkompensatorausgangssignal PCO mit dem Chopper-Signal CS zu einem ersten demodulierten Signal DM1.

Ein erster Tiefpassfilter LP1 unterdrückt im ersten demodulierten Signal DM1 die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des Chopper-Signals Cs entsprechen. Der erste Tiefpassfilter LP1 unterdrückt auch die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum eines orthogonalen Chopper-Signals Cs90 entsprechen. Des Weiteren unterdrückt der erste Tiefpassfilter LP1 die durch eine Multiplikation des Chopper-Signals Cs mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 ggf. entstehenden Mischfrequenzen. Der erste Tiefpassfilter LP1 unterdrückt diese Signalanteile bis auf einen Gleichanteil im ersten demodulierten Signal DM1. Der erste Tiefpassfilter LP1 bildet so ein erstes Ausgangssignal outl, dessen Wert mit dem Wert des differentiellen Eingangssignals Si korrespondiert.

Ein dritter Multiplizierer M3 mischt das erste demodulierte Signal DM1 mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 zu einem zweiten demodulierten Signal DM2. Ein zweiter Tiefpassfilter LP2 unterdrückt im zweiten demodulierten Signal DM2 die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des Chopper-Signals Cs entsprechen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt darüber hinaus die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des orthogonalen Chopper- Signals Cs90 entsprechen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt außerdem die durch eine Multiplikation des Chopper-Signals Cs mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 ggf. entstehenden Mischfrequenzen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt diese Frequenzen bis auf einen Gleichanteil im zweiten demodulierten Signal DM2. Der zweite Tiefpassfilter LP2 bildet so ein zweites Ausgangssignal out2.

In dem Beispiel der Figur 1 erzeugt ein Signalgenerator Gl das Chopper-Signal Cs und das orthogonale Chopper-Signal Cs90. Bevorzugt ist das Chopper-Signal Cs bandbreitenbegrenzt oder monofrequent. Bevorzugt ist das orthogonale Chopper-Signal Cs90 ebenfalls bandbreitenbegrenzt oder monofrequent. Bevorzugt ist das orthogonale Chopper-Signal Cs90 vom Chopper-Signal Cs verschieden. Der erste Tiefpassfilter LP1 weist eine erste Filtereigenschaft in Form einer ersten Filterfunktion Fl[] auf, sodass gilt: outl=Fl[DMl], Der zweite Tiefpassfilter LP2 weist eine Filtereigenschaft in Form einer zweiten Filterfunktion F2[] auf, sodass gilt: out2=F2[DM2], Typischerweise weisen der erste Tiefpassfilter LP1 und der zweite Tiefpassfilter LP2 eine ganz besonders bevorzugt gleiche Filtereigenschaft in Form einer gleichen Filterfunktion F[]=F1[]=F2[] auf.

Das Chopper-Signal CS und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 sollen zueinander orthogonal bezüglich des ersten Filters LP1 und bezüglich des zweiten Filters LP2 sein. Das heißt, es soll zumindest zu bevorzugten Zeitpunkten gelten: a) Fl[Cs(t) x Cs90(t)]=0 b) F2[Cs(t) x Cs90(t)]=0

Hierbei soll Cs(t) den zeitlichen Verlauf der Werte des Chopper-Signals Cs darstellen und Cs90(t) den zeitlichen Verlauf der Werte des orthogonalen Chopper-Signals Cs90 darstellen

Darüber hinaus soll die erste Filterfunktion Fl[] bevorzugt eine im Wesentlichen lineare Filterfunktion sein. D.h. es soll für eine Signalsumme aus einem beliebigen ersten Beispielsignal Xl(t) und einem beliebigen zweiten Beispielsignal X2(t) und für eine reelle Zahl a gelten:

A) Fl[Xl(t)+X2(t)]= Fl[Xl(t)]+Fl[X2(t)]

B) Fl[a x Xl(t)]=a x F1[X1]

Darüber hinaus soll die zweite Filterfunktion F2[] bevorzugt eine im Wesentlichen lineare Filterfunktion sein. D.h. es soll für eine Signalsumme aus einem beliebigen ersten Beispielsignal Xl(t) und einem beliebigen zweiten Beispielsignal X2(t) und für eine reelle Zahl a gelten:

C) F2[Xl(t)+X2(t)]= F2[Xl(t)]+F2[X2(t)]

D) F2[a x Xl(t)]=a x F2[X1]

Schließlich sollen die erste Filterfunktion Fl[] und die zweite Filterfunktion F2[] jeweils eine Tiefpasseigenschaft haben. D.h. es soll gelten:

Fl[l]=ßi und F2[l]=ß ₂ mit ßi als reeller, von Null verschiedener Konstante und ß ₂ als reeller, von null verschiedener Konstante.

Beispielsweise kann es sich bei dem Chopper-Signal Cs um ein monofrequentes PWM-Signal mit den Werten -1 und 1 und einem Tastgrad von 50% und einer Chopper-Signalfrequenz handeln. Bei dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 kann es sich dann beispielsweise um ein um +/-90 ⁰ phasenverschobenes Signal mit den Werten -1 und 1 handeln und einem Tastgrad von 50% handeln. Alternativ kann es sich um ein monofrequentes PWM-Signal mit den Werten -1 und 1 handeln und einem Tastgrad von 50% und einer Signalfrequenz, die beispielsweise ein ganzzahliges mehrfaches der Chopper-Signalfrequenz beträgt. Es kann sich bei dem Chopper-Signal Cs auch um ein bandbegrenztes, nicht monofrequentes Signal handeln. Wichtig ist nur die Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen. Typischerweise sind das Chopper-Signal Cs periodisch und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 periodisch. Ggf. ist es sinnvoll, den ersten Tiefpassfilter LP1 und den zweiten Tiefpassfilter LP2 mit jeweils einer Halteschaltung (englisch: sample & hold) an ihrem jeweiligen Ausgang zu versehen. In diesem Fall ist es sinnvoll, zu Zeiten, zu denen die Orthogonalitätsbedingungen a) und b) erfüllt sind, den Ausgang des ersten Tiefpassfilters LP1 mit einer ersten Halteschaltung dieser Halteschaltungen abzutasten. Die erste Halteschaltung gibt den so abgetasteten ersten Wert als Wert des ersten Ausgangssignals outl bis zur nächsten Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen a) und b) aus. In dem besagten Fall ist es auch sinnvoll, zu Zeiten, zu denen die Orthogonalitätsbedingungen a) und b) erfüllt sind, den Ausgang des zweiten Tiefpassfilters LP2 mit einer zweiten Halteschaltung dieser Halteschaltungen abzutasten. Die zweite Halteschaltung gibt dann den so abgetasteten zweiten Wert als Wert des zweiten Ausgangssignals out2 bis zur nächsten Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen a) und b) aus.

In dem Beispiel der Figur 1 erzeugt ein Testsignalgenerator TSG, der auch Teil des Signalgenerators Gl sein kann, das Testsignal TSS aus dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90. Der Testsignalgenerator TSG stellt die Amplitude dabei typischerweise entsprechend einer Vorgabe ein.

Die Konstruktion kann den digitalen Filter DF, die Phasenkompensation PC, den Signalgenerator Gl, den Testsignalgenerator TSG, den zweiten Multiplizierer M2, den dritten Multiplizierer M3, den ersten Tiefpassfilter LP1 und den zweiten Tiefpassfilter LP2 beispielsweise auch mit Hilfe einer digitalen Schaltung oder mittels eines Signalprozessorsystems mit einer entsprechenden Programmierung realisieren.

Bevorzugt vergleicht ein Vergleichsmittel, beispielsweise ein erster Komparator im Zusammenwirken mit einem zweiten Komparator oder der besagte Signalprozessor, den Wert des zweiten Ausgangssignals mit einem Erwartungswertbereich, der durch einen ersten Erwartungswert und einen zweiten Erwartungswert begrenzt ist. Liegt der Wert des zweiten Ausgangssignals zwischen dem ersten Erwartungswert und dem zweiten Erwartungswert, also innerhalb des Erwartungswertbereichs, so arbeitet die Eingangsstufe umfassend den ersten Multiplizierer Ml, den Differenzverstärker DV1, den Analog-zu-Digital-Wandler ADC, den digitale Filter DF, den Phasenkompensator PC und den zweiten Multiplizierer M2 vermutlich korrekt. Somit kann das Sensorsystem auf diese Weise eine Aussage über die vermutlich korrekte Funktion der Eingangsstufe treffen.

Figur 2 Figur 2 zeigt beispielhafte Signalformen für den Betrieb einer Vorrichtung gemäß Figur 1. Die Pegel sind willkürlich gewählt. Die mit kürzeren Strichen gestrichelte Linie soll die jeweilige Null-Line darstellen. Die mit längeren Strichen gestrichelte Linie soll die jeweilige Line des Mittelwerts darstellen.

Figur 3

Die Figur 3 entspricht weitestgehend der Figur 1, wobei nun jedoch der erste Addierer Al und der erste Multiplizierer Ml im Signalpfad vom Sensor zum ersten Ausgangssignal outl die Reihenfolge getauscht haben. Dies hat den Vorteil, dass die Konstruktion des Sensorsystem den ersten Addierer Al in der Regel in die Eingangsstufe des Differenzverstärkers DV leicht mitintegrieren kann. Dies hat jedoch den Nachteil, dass das Testsignal TSS den ersten Multiplizierer Ml nun nicht mehr mitprüft. Außerdem wird ein weiterer Multiplizierer innerhalb des Testsignalgenerators TSG notwendig, der das orthogonale Sendesignal Cs90 mit dem Sendesignal (Cs) multipliziert und zum Testsignal TSS aufbereitet.

Figur 4

Figur 4 zeigt im Wesentlichen die beispielhaften Signale der Figur 2 nun aber angepasst an die Figur 3.

Figur 5

Die Figur 5 basiert auf der Figur 3. In dem Beispiel der Figur 3 ist eine Referenz-Wheatstone-Brücke RW zusätzlich vorgesehen.

Als beispielhafter Sensor mit einem differentiellen Ausgang ist wieder eine Wheatstone-Brücke WB gewählt. Die Wheatstone-Brücke WB umfasst einen ersten piezoresistiven Widerstand RI, einen zweiten piezoresistiven Widerstand R2, einen dritten piezoresistiven Widerstand R3 und einen vierten piezoresistiven Widerstand R4. Der erste Widerstand RI ist mit dem zweiten Widerstand R2 zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND in Serie geschaltet. Der dritte Widerstand R3 ist mit dem vierten Widerstand R4 zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND ebenfalls in Serie geschaltet. Das Sensorsystem betreibt die Wheatstone-Brücke WB beispielhaft mit der Versorgungsspannung. Die Wheatstone-Brücke WB ist dementsprechend mit einem ersten Anschluss mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden und mit einem zweiten Anschluss mit der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Der Knoten zwischen dem ersten Widerstand RI und dem zweiten Widerstand R2 bildet beispielhaft das negative Eingangssignal Sin des differentiellen Eingangssignals Si. Der Knoten zwischen dem dritten Widerstand R3 und dem vierten Widerstand R4 bildet beispielhaft das positive Eingangssignal Sip des differentiellen Eingangssignals Si.

Viele Sensorsysteme nutzen Wheatstone-Brücken w zur Wandlung des betreffenden physikalischen Parameters in ein Differenzspannungssignal zwischen einem positiven Eingangssignal Sip und einem negativen Eingangssignal Sin. Beispielsweise kann es sich bei der Wheatstone-Brücke WB um eine solche Brücke aus piezoresistiven Widerständen der Sensorelemente eines piezoresistiven mikromechanischen Drucksensors oder dergleichen handeln. An dieser Stelle sei beispielsweise auf die Schutzrechte EP 2 524389 Bl,

EP 2 524390 Bl, EP 2 524 198 Bl, EP 2 523 896 Bl und EP 2 523895 Bl als Beispiele für solche Drucksensoren verwiesen.

Die Referenz-Wheatstone-Brücke RW umfasst beispielsweise einen fünften piezoresistiven Widerstand R5, einen sechsten piezoresistiven Widerstand R6, einen siebten piezoresistiven Widerstand R7 und einen achten piezoresistiven Widerstand R8. Der fünfte Widerstand R5 ist mit dem sechsten Widerstand R6 zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND in Serie geschaltet. Der siebte Widerstand R7 ist mit dem achten Widerstand R8 zwischen der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD und der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND ebenfalls in Serie geschaltet. Das Sensorsystem betreibt die Referenz-Wheatstone-Brücke RW beispielhaft mit der Versorgungsspannung. Die Referenz- Wheatstone-Brücke RW ist dementsprechend mit einem ersten Anschluss mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Die Referenz-Wheatstone-Brücke RW ist mit einem zweiten Anschluss mit der zweiten Versorgungsspannungsleitung GND verbunden. Der Knoten zwischen dem fünften Widerstand R5 und dem sechsten Widerstand R6 bildet beispielhaft ein negatives Referenzsignal Rin eines differentiellen Referenzsignals Rs. Der Knoten zwischen dem siebten Widerstand R7 und dem achten Widerstand 8 bildet beispielhaft ein positives Referenzsignal Rip des differentiellen Referenzsignals Rs. Der fünfte Widerstand R5 und der sechste Widerstand R6 und der siebte Widerstand R7 und der achten Widerstand R8 stellen die Widerstände der Referenz- Wheatstone-Brücke RW dar. Der erste Widerstand RI und der zweite Widerstand R2 und der dritte Widerstand R3 und der vierte Widerstand R4 stellen die Widerstände der Wheatstone-Brücke WB dar. Bevorzugt fertigt der Herstellungsprozess die Widerstände der Referenz-Wheatstone-Brücke RW mit den gleichen Arbeitsschritten zeitgleich mit den Widerständen der Wheatstone-Brücke WB. Beispielsweise kann es sich bei der Wheatstone-Brücke WB um die Messbrücke eines piezoelektrischen mikromechanischen Drucksensors, beispielsweise auf einem Siliziumeinkristallstück handeln. In einem solchen Beispiel fertigt der Herstellungsprozess entsprechend der Konstruktion bevorzugt die Referenz-Wheatstone-Brücke RW auf dem gleichen Siliziumeinkristallstück mit der Wheatstone-Brücke WB zusammen. In einem solchen Beispiel fertigt der Herstellungsprozess entsprechend der Konstruktion bevorzugt auch in gleicher Ausrichtung der korrespondierenden Widerstände. Der Fachausdruck hierfür ist "matchend". Die Referenz- Wheatstone-Brücke RW kann beispielsweise Teil eines zweiten Drucksensors sein, der dem Drucksensor der Wheatstone-Brücke WB gleicht und im gleichen Substrat, also beispielsweise im gleichen Halbleiterkristall, gefertigt ist. In dem Fall sollte ein drittes Ausgangssignal, out3, dass den Wert des Unterschieds zwischen dem differentiellen Wert des Referenzsignals Rs und dem differenziellen Wert des differenziellen Eingangssignals Si wiedergibt, nahezu Null sein.

Im Falle einer gleich zur Wheatstone-Brücke WB ausgeführten Referenz-Wheatstone-Brücke, sollte dann eine Abweichung zwischen dem differentiellen Wert des Referenzsignals Rs und dem differenziellen Wert des differenziellen Eingangssignals Si, den der Wert des dritten Ausgangssignals out3 repräsentiert, verschwinden. Ein Wert des dritten Ausgangssignals out3 außerhalb eines zulässigen Erwartungswertbereiches um diesen Nullwert herum deutet dann im Falle einer gleich zur Wheatstone-Brücke WB ausgeführten Referenz-Wheatstone-Brücke auf einen Fehler hin. In diesem Fall gibt übrigens der Wert des ersten Ausgangssignals nur den Mittelwert zwischen dem Signalanteil, der auf dem Wert des Eingangssignals Si beruht, und dem Signalanteil, der auf dem Wert des Referenzsignals beruht, an. Insofern hat das System der Figur 5 den Nachteil, dass die Empfindlichkeit typischerweise halbiert ist. Nur wenn die Referenz-Wheatstone-Brücke RW in gleicher Weise wie die Wheatstone-Brücke WB dem Einfluss des beeinflussenden physikalischen Parameters ausgesetzt ist, ändert die Referenz-Wheatstone-Brücke RW ihr Referenzsignal RS in Abhängigkeit vom Wert dieses physikalischen Parameters in gleicher Weise wie die Wheatstone- Brücke WB das Eingangssignal Si in Abhängigkeit von diesem physikalischen Parameter. Nur dann entspricht der Wert des ersten Ausgangsignals outl bei maximaler Empfindlichkeit dem Wert dieses physikalischen Parameters. Bei dem physikalischen Parameter kann es sich beispielsweise um einen Druck im Falle von Drucksensoren handeln.

Im Falle einer ungleich zur Wheatstone-Brücke WB ausgeführten Referenz-Wheatstone-Brücke RW, kann dann aber eine Abweichung zwischen dem differentiellen Wert des Referenzsignals Rs und dem differenziellen Wert des differenziellen Eingangssignals Si, den der Wert des dritten Ausgangssignals out3 repräsentiert, nicht mehr verschwinden. Ist die Referenz-Wheatstone-Brücke für den von der Wheatstone-Brücke WB zu erfassenden physikalischen Parameter im Wesentlichen unempfindlich, so gibt der Wert des dritten Ausgangssignals out3 typischerweise einen Wert für diesen physikalischen Parameter wieder, der typischerweise um solche Einflussfaktoren im Wesentlichen bereinigt ist, die die Referenz-Wheatstone-Brücke RW und die Wheatstone-Brücke in gleicher Weise beeinflussen.

Es ist aber auch denkbar, dass in dem Beispiel eines mikromechanischen Drucksensors die Referenz- Wheatstone-Brücke RW sich nicht auf einer Membran befindet. In einem solchen Fall sollte die Referenz-Wheatstone-Brücke RW somit im Wesentlichen kein druckabhängiges Signal zeigen. Der Messwert erscheint dann in dem Beispiel der Figur 5 als Wert des dritten Ausgangssignals out3.

Der Vorteil der Anordnung der Figur 5 ist, dass bei einer guten thermischen Kopplung der Referenz- Wheatstone-Brücke RW mit der Wheatstone-Brücke WB die Referenz-Wheatstone-Brücke RW in gleicher Weise rauscht, wie die Wheatstone-Brücke WB selbst. Hierdurch kann das Sensorsystem das 1/f Rauschen der Wheatstone-Brücke WB selbst ebenfalls sicher unterdrücken, was in Figur 1 nicht möglich ist.

Das Signalpaar aus positivem Eingangssignal Sip und negativem Eingangssignal Sin bildet das differentielle Eingangssignal Si. Das Signalpaar aus positivem Referenzsignal Rip und negativem Referenzsignal Rin bildet das differentielle Referenzsignal Rs.

Ein Dicke-Schalter DS schaltet mit Hilfe eines zweiten Chopper-Signals Cs2 zwischen dem differentiellen Eingangssignal Si und dem differentiellen Referenzsignal Rs in Abhängigkeit von dem zweiten Chopper-Signal Cs2 hin und her. In dem Beispiel der Figur 5 multipliziert ein erster Multiplizierer Ml das so entstandene Mischsignal aus differentiellem Eingangssignal Si und differenziellen Referenzsignal Rs mit dem Chopper-Signal Cs und bildet auf diese Weise das multiplizierte Eingangssignal MSi.

Der erste Addierer Al addiert zum multiplizierten Eingangssignal MSi das differentielle Testsignal TSS und bildet daraus so wie in Figur 3 das differentielle, multiplizierte Eingangssignal mit Testsignalanteil MSiT. Bevorzugt ist das Chopper-Signal Cs wie zuvor ein digitales Signal mit zwei logischen Werten, hier beispielhaft mit 0 und 1 belegt.

Der Differenzverstärker DV verstärkt das differentielle, multiplizierte Eingangssignal mit Testsignalanteil MSiT zum Verstärkerausgangssignal VO.

Der Analog-zu-Digital-Wandler ADC wandelt das Verstärkerausgangssignal VO in das Eingangssignal DFI des digitalen Filters DF um. Dieses Eingangssignal DFI des digitalen Filters DF ist typischerweise ein digitales Signal von Abtastwerten des Verstärkerausgangssignals VO aus dem Analog-zu-Digital- Wandler ADC.

Der digitale Filter DF filtert das Eingangssignal DFI des digitalen Filters DF zum Ausgangssignal DFO des digitalen Filters DF. Dabei unterdrückt der digitale Filter DF ggf. vorhandene Signalanteile auf Störfrequenzen. Typischerweise handelt es sich um einen Dezimationsfilter für die durch die Abtastung mittels des Analog-zu-Digital-Wandlers ADC hinzugefügten Wandlungsartefakte.

Der Phasen-Kompensator PC korrigiert die dabei entstehenden Phasenfehler und bildet das Phasenkompensatorausgangssignal PCO.

Nach Verstärkung und Digitalisierung multipliziert ein zweiter Multiplizierer M2 das Phasenkompensatorausgangssignal PCO mit dem Chopper-Signal Cs zum ersten demodulierten Signal DM1.

Ein erster Tiefpassfilter LP1 unterdrückt im ersten demodulierten Signal DM1 die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des Chopper-Signals Cs entsprechen. Der erste Tiefpassfilter LP1 unterdrückt die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des orthogonalen Chopper- Signals Cs90 entsprechen. Der erste Tiefpassfilter LP1 unterdrückt die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des zweiten Chopper-Signals Cs2 entsprechen. Der erste Tiefpassfilter LP1 unterdrückt die durch eine Multiplikation des Chopper-Signals Cs mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 und dem zweiten Chopper-Signal Cs2 ggf. entstehenden Mischfrequenzen. Der erste Tiefpassfilter LP1 unterdrückt diese Frequenzen bis auf einen Gleichanteil im ersten demodulierten Signal DM1. Der erste Tiefpassfilter LP1 bildet so das erste Ausgangssignal outl. Der Wert des ersten Ausgangssignals outl entspricht dem Wert des differentiellen Eingangssignals Si, wenn der Sensor der Referenz-Wheatstone-Brücke RW dem Sensor der Wheatstone-Brücke WB gleicht.

Ein dritter Multiplizierer M3 mischt das erste demodulierte Signal DM1 mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 zum zweiten demodulierten Signal DM2. Ein zweiter Tiefpassfilter LP2 unterdrückt im zweiten demodulierten Signal DM2 die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des Chopper-Signals Cs entsprechen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des orthogonalen Chopper-Signals Cs90 entsprechen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des zweiten Chopper-Signals Cs2 entsprechen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt die durch eine Multiplikation des Chopper-Signals Cs mit dem orthogonalen Chopper- Signal Cs90 und dem zweiten Chopper-Signal Cs2 ggf. entstehenden Mischfrequenzen. Der zweite Tiefpassfilter LP2 unterdrückt diese Frequenzen bis auf einen Gleichanteil im zweiten demodulierten Signal DM2. Der zweite Tiefpassfilter LP2 bildet so das zweite Ausgangssignal out2. Wie zuvor ist der Wert dieses zweiten Ausgangssignals out2 ein Maß für die korrekte Funktion der Eingangsstufe.

Ein vierter Multiplizierer M4 mischt das erste demodulierte Signal DM1 mit dem zweiten Chopper- Signal Cs2 zum dritten demodulierten Signal DM3. Ein dritter Tiefpassfilter LP3 unterdrückt im dritten demodulierten Signal DM3 die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des Chopper- Signals Cs entsprechen. Der dritte Tiefpassfilter LP3 unterdrückt die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des orthogonalen Chopper-Signals Cs90 entsprechen. Der dritte Tiefpassfilter LP3 unterdrückt die Frequenzen, die den Frequenzen im Signalspektrum des zweiten Chopper-Signals Cs2 entsprechen. Der dritte Tiefpassfilter LP3 unterdrückt die durch eine Multiplikation des Chopper- Signals Cs mit dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 und dem zweiten Chopper-Signal Cs2 ggf. entstehenden Mischfrequenzen. Der dritte Tiefpassfilter LP3 unterdrückt diese Frequenzen bis auf einen Gleichanteil im dritten demodulierten Signal DM3. Der dritte Tiefpassfilter LP3 unterdrückt bildet so das dritte Ausgangssignal out3. Ein Nutzer oder ein übergeordnetes Rechnersystem oder ein andere übergeordnetes System können den Wert dieses dritten Ausgangssignals out3 kann als Maß für die korrekte Funktion der Wheatstone-Brücke WB verwenden, wenn der Sensor der Referenz- Wheatstone-Brücke RW dem Sensor der Wheatstone-Brücke WB gleicht. In dem Beispiel der Figur 5 erzeugt ein Signalgenerator Gl das Chopper-Signal Cs und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 und das zweite Chopper-Signal Cs2. Bevorzugt ist das Chopper- Signal Cs bandbreitenbegrenzt oder monofrequent. Bevorzugt ist das zweite Chopper-Signal Cs2 bandbreitenbegrenzt oder monofrequent. Bevorzugt ist das orthogonale Chopper-Signal Cs90 bandbreitenbegrenzt oder monofrequent. Bevorzugt ist das orthogonale Chopper-Signal Cs90 vom Chopper-Signal Cs verschieden. Bevorzugt ist das zweite Chopper-Signal Cs2 vom orthogonalen Chopper-Signal Cs90 und vom Chopper-Signal Cs verschieden. Der erste Tiefpassfilter LP1 weist eine Filtereigenschaft in Form einer ersten Filterfunktion Fl[] auf, sodass gilt: outl=Fl[DMl(t)]. Der zweite Tiefpassfilter LP2 weist eine Filtereigenschaft in Form einer zweiten Filterfunktion F2[] auf, sodass gilt: out2=F2[DM2(t)]. Der dritte Tiefpassfilter LP3 weist eine Filtereigenschaft in Form einer dritten Filterfunktion F3[] auf, sodass gilt: out3=F3[DM3(t)]. Typischerweise weisen der erste Tiefpassfilter LP1 und der zweite Tiefpassfilter LP2 und der dritte Tiefpassfilter LP3 eine bevorzugt gleiche Filtereigenschaft in Form einer gleichen Filterfunktion F[]=F1[]=F2[]=F3[] auf.

Das Chopper-Signal Cs und das zweite Chopper-Signal Cs2 und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 sollen jeweils zueinander orthogonal bezüglich des ersten Filters LP1 und bezüglich des zweiten Filters LP2 und bezüglich des dritten Filters LP3 sein. Das heißt, es soll gelten: i) Fl[Cs(t)]=O ii) Fl[Cs90(t)]=0 iii) Fl[Cs2(t)]=O iv) Fl[Cs(t) x Cs90(t)]=0 v) Fl[Cs(t) x Cs2(t)]=0 vi) Fl[Cs90(t) x Cs2(t)]=0 vii) F2[Cs(t)]=O viii) F2[Cs90(t)]=0 ix) F2[Cs2(t)]=O x) F2[Cs(t) x Cs90(t)]=0 xi) F2[Cs(t) x Cs2(t)]=0 xii) F2[Cs90(t) x Cs2(t)]=0 xiii) F3[Cs(t)]=0 xiv) F3[Cs90(t)]=0 xv) F3[Cs2(t)]=0 xvi) F3[Cs(t) x Cs90(t)]=0 xvii) F4[Cs(t) x Cs2(t)]=0 xviii) F3[Cs90(t) x Cs2(t)]=0

Hierbei soll Cs(t) den zeitlichen Verlauf der Werte des Chopper-Signals Cs darstellen und Cs90(t) den zeitlichen Verlauf der Werte des orthogonalen Chopper-Signals Cs90 darstellen und Cs2(t) den zeitlichen Verlauf der Werte des zweiten Chopper-Signals Cs2 darstellen.

Darüber hinaus soll die erste Filterfunktion Fl[] bevorzugt eine im Wesentlichen lineare Filterfunktion sein. D.h. es soll für eine Signalsumme aus einem ersten Beispielsignal Xl(t) und einem zweiten Beispielsignal X2(t) und für eine reelle Zahl a gelten:

A) Fl[Xl(t)+X2(t)]= Fl[Xl(t)]+Fl[X2(t)]

B) Fl[a x Xl(t)]=a x F1[X1]

Darüber hinaus soll die zweite Filterfunktion F2[] bevorzugt eine im Wesentlichen lineare Filterfunktion sein. D.h. es soll für eine Signalsumme aus einem ersten Beispielsignal Xl(t) und einem zweiten Beispielsignal X2(t) und für eine reelle Zahl a gelten:

C) F2[Xl(t)+X2(t)]= F2[Xl(t)]+F2[X2(t)]

D) F2[a x Xl(t)]=a x F2[X1]

Schließlich soll die dritte Filterfunktion F3[] bevorzugt eine im Wesentlichen lineare Filterfunktion sein. D.h. es soll für eine Signalsumme aus einem ersten Beispielsignal Xl(t) und einem zweiten Beispielsignal X2(t) und für eine reelle Zahl a gelten: E) F3[Xl(t)+X2(t)]= F3[Xl(t)]+F3[X2(t)]

F) F3[a x Xl(t)]=a x F3[X1]

Schließlich sollen die erste Filterfunktion Fl[] und die zweite Filterfunktion F2[] und die dritte Filterfunktion F3[] jeweils eine Tiefpasseigenschaft haben. D.h. es soll gelten:

Fl[l]=ßi und F2[l]=ß2 und F3[l]=ßs mit ßi als reeller, von Null verschiedener Konstante und ß2 als reeller, von null verschiedener Konstante und ßs als reeller, von null verschiedener Konstante.

Beispielsweise kann es sich bei dem Chopper-Signal Cs um ein monofrequentes PWM-Signal mit den Werten -1 und 1 und einem Tastgrad von 50% und einer Chopper-Signalfrequenz handeln. Bei dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 kann es sich dann beispielsweise um ein um +/-90 ⁰ phasenverschobenes Signal mit den Werten -1 und 1 handeln und einem Tastgrad von 50% mit der Chopper-Signalfrequenz handeln. Alternativ kann es sich um ein monofrequentes PWM-Signal mit den Werten -1 und 1 handeln und einem Tastgrad von 50% und einer Signalfrequenz, die beispielsweise ein ganzzahliges mehrfaches der Chopper-Signalfrequenz beträgt. Es kann sich bei dem Chopper-Signal Cs auch um ein bandbegrenztes, nicht monofrequentes Signal handeln. Auch bei dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90 kann es sich um ein bandbegrenztes, nicht monofrequentes Signal handeln. Ebenso kann es sich bei dem zweiten Chopper-Signal Cs2 um ein bandbegrenztes, nicht monofrequentes Signal handeln. Wichtig ist nur die Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen i) bis ix). Ansonsten ist die Wahl der Signale frei. Typischerweise sind das Chopper-Signal Cs periodisch und das zweite Chopper-Signal Cs2 und das orthogonale Chopper-Signal Cs90 periodisch. Ggf. ist es sinnvoll, den ersten Tiefpassfilter LP1 und den zweiten Tiefpassfilter LP2 und den dritten Tiefpassfilter LP3 mit jeweils einer Halteschaltung (englisch: sample & hold) zu versehen. In diesem Fall ist es sinnvoll zu Zeiten, zu denen die Orthogonalitätsbedingungen i) bis ix) erfüllt sind, den Ausgang des ersten Tiefpassfilters LP1 mit einer ersten Halteschaltung dieser Halteschaltungen abzutasten. Die erste Halteschaltung gibt dann so abgetasteten ersten Wert als Wert des ersten Ausgangssignals outl bis zur nächsten Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen i) bis xviii) aus. Außerdem ist es sinnvoll, zu Zeiten, zu denen die Orthogonalitätsbedingungen i) bis xviii) erfüllt sind, den Ausgang des zweiten Tiefpassfilters LP2 mit einer zweiten Halteschaltung dieser

Halteschaltungen abzutasten. Die zweite Halteschaltung gibt dann den so abgetasteten zweiten Wert als Wert des zweiten Ausgangssignals out2 bis zur nächsten Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen i) bis xviii) aus. Schließlich ist es sinnvoll, zu Zeiten, zu denen die Orthogonalitätsbedingungen i) bis xviii) erfüllt sind, den Ausgang des dritten Tiefpassfilters LP3 mit einer dritten Halteschaltung dieser Halteschaltungen abzutasten. Die dritte Halteschaltung gibt dann den so abgetasteten dritten Wert als Wert des dritten Ausgangssignals out3 bis zur nächsten Erfüllung der Orthogonalitätsbedingungen i) bis xviii) aus.

In dem Beispiel der Figur 5 erzeugt ein Testsignalgenerator TSG, der auch Teil des Signalgenerators Gl sein kann, das Testsignal TSS aus dem orthogonalen Chopper-Signal Cs90. Dabei stellt der Testsignalgenerator TSG die Amplitude entsprechend einer Vorgabe ein.

Die Konstruktion des Sensorsystems kann einige Schaltungsteile auch mit Hilfe einer digitalen Schaltung oder mittels eines Signalprozessorsystems mit einer entsprechenden Programmierung realisieren. Dies betrifft vor allem den digitalen Filter DF, die Phasenkompensation PC, den Signalgenerator Gl, den Testsignalgenerator TSG, den zweiten Multiplizierer M2, den dritten Multiplizierer M3, den vierten Multiplizierer M4, den ersten Tiefpassfilter LP1 und den zweiten Tiefpassfilter LP2 und den dritten Tiefpassfilter LP3.

Bevorzugt vergleicht ein Vergleichsmittel, beispielsweise ein erster Komparator im Zusammenwirken mit einem zweiten Komparator oder der besagte Signalprozessor den Wert des zweiten Ausgangssignals out2 mit einem Erwartungswertbereich, der durch einen ersten Erwartungswert und einen zweiten Erwartungswert begrenzt ist. Liegt der Wert des zweiten Ausgangssignals zwischen dem ersten Erwartungswert und dem zweiten Erwartungswert, also innerhalb des Erwartungswertbereichs, so arbeitet die Eingangsstufe umfassend den ersten Multiplizierer Ml, den Differenzverstärker DV1, den Analog-zu-Digital-Wandler ADC, das digitale Filter DF, den Phasenkompensator PC und den zweiten Multiplizierer M2 korrekt. Somit können das Sensorsystem oder ein übergeordnetes Rechnersystem oder eine andere übergeordnete Vorrichtung auf diese Weise eine Aussage über die korrekte Funktion der Eingangsstufe treffen.

Bevorzugt vergleicht ein zweites Vergleichsmittel, beispielsweise ein dritter Komparator im Zusammenwirken mit einem vierten Komparator oder der besagte Signalprozessor den Wert des dritten Ausgangssignals out3 mit einem zweiten Erwartungswertbereich, der durch einen dritten Erwartungswert und einen vierten Erwartungswert begrenzt ist. Liegt der Wert des dritten Ausgangssignals out3 zwischen dem dritten Erwartungswert und dem vierten Erwartungswert, also innerhalb des Erwartungswertbereichs, so arbeitet die Wheatstone-Brücke WB relativ zur Referenz- Wheatstone-Brücke RW korrekt. Somit können das Sensorsystem oder ein übergeordnetes Rechnersystem oder eine andere übergeordnete Vorrichtung auf diese Weise eine Aussage über die korrekte Funktion der Wheatstone-Brücke WB treffen.

Somit ergeben sich im Wesentlichen die folgenden sechs Betriebsmöglichkeiten: Figur 6

Figur 6 entspricht weitestgehend der Figur 5 mit dem Unterschied, dass eine von dem Testsignal TSS abhängige, erste differentielle Modulationsspannung V _mO di aus einer ersten Spannungsquelle VI und einer zweiten Spannungsquelle V2 die Erregungsspannung der Wheatstone-Brücke WB moduliert. , Die jeweiligen Spannungen der ersten Spannungsquelle VI und der zweiten Spannungsquelle V2 hängen bevorzugt in zueinander entgegengesetzter Weise vom Testsignal TSS ab. Ein weiterer Unterschied zwischen Figur 6 und Figur 5 ist, dass eine von dem Testsignal TSS abhängige, zweite differentielle Modulationsspannung V _mO d2 aus einer dritten Spannungsquelle Vlb und einer vierten Spannungsquelle V2b die Erregungsspannung der Referenz-Wheatstone-Brücke RW moduliert. Die jeweiligen Spannungen der dritten Spannungsquelle Vlb und der vierten Spannungsquelle V2b hängen bevorzugt in zueinander entgegengesetzter Weise vom Testsignal TSS ab.

Dies moduliert sowohl das differentielle Eingangssignal Si, als auch das differentielle Referenzsignal Rs mit dem Testsignal TSS anteilig. Das System der Figur 6 hat den Vorteil, dass der überprüfte Signalpfad die Wheatstone-Brücke WB und die Referenz-Wheatstone-Brücke RW in einbezieht. Nachteilig sind die effektive Verringerung der Erregungsspannung und damit die effektive Verringerung des Nutzsignalhubes des Eingangssignals Si. Der erste Addierer entfällt dann. Die Signalverarbeitung erfolgt in analoger Weise, wie für die vorausgehenden Figuren erläutert.

Die differentielle Spannungsquelle, die die erste differentiellen Modulationsspannung V _mO di in der Wheatstone-Brücke WB erzeugt, besteht beispielsweise aus einer ersten Spannungsquelle VI und aus einer zweiten Spannungsquelle V2. Die erste Spannungsquelle VI ist dabei zwischen den ersten Widerstand RI und der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD geschaltet. Die Spannung der ersten Spannungsquelle VI hängt dabei von dem Testsignal TSS ab. Die zweite Spannungsquelle V2 ist zwischen den dritten Widerstand R3 und der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD geschaltet. Die Spannung der zweiten Spannungsquelle V2 hängt von dem Testsignal TSS ab. Dabei hängt die Spannung der ersten Spannungsquelle VI in umgekehrter Weise von dem Testsignal TSS ab, wie die Spannung der zweiten Spannungsquelle V2. Bis auf diesen Vorzeichenunterschied der Abhängigkeit von dem Testsignal TSS sind die erste Spannungsquelle VI und die zweite Spannungsquelle V2 bevorzugt gleich ausgeführt. Bevorzugt sind sie thermisch so gekoppelt, dass sie sich im Wesentlichen gleich verhalten. Bevorzugt sind sie daher auf dem gleichen Halbleitersubstrat gefertigt.

Die differentielle Spannungsquelle, die die zweite differentielle Modulationsspannung V _mO d2 in der Referenz-Wheatstone-Brücke RW erzeugt, besteht beispielsweise aus einer dritten Spannungsquelle Vlb und aus einer vierten Spannungsquelle V2b. Die dritte Spannungsquelle Vlb ist dabei zwischen den fünften Widerstand R5 und der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD geschaltet. Die Spannung der dritten Spannungsquelle Vlb hängt dabei von dem Testsignal TSS ab. Die vierte Spannungsquelle V2b ist zwischen den siebten Widerstand R7 und der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD geschaltet. Die Spannung der vierten Spannungsquelle V2b hängt von dem Testsignal TSS ab. Dabei hängt die Spannung der dritten Spannungsquelle Vlb in umgekehrter Weise von dem Testsignal TSS ab, wie die Spannung der vierten Spannungsquelle V2b. Bis auf diesen Vorzeichenunterschied der Abhängigkeit von dem Testsignal TSS sind die dritte Spannungsquelle Vlb und die vierte Spannungsquelle Vlb bevorzugt gleich ausgeführt. Bevorzugt sind sie thermisch so gekoppelt, dass sie sich im Wesentlichen gleich verhalten. Bevorzugt sind sie daher aus dem gleichen Halbleitersubstrat gefertigt.

Dabei hängt die Spannung der ersten Spannungsquelle VI in gleicher Weise von dem Testsignal TSS ab, wie die Spannung der dritten Spannungsquelle Vlb. Dabei hängt die Spannung der zweiten Spannungsquelle V2 in gleicher Weise von dem Testsignal TSS ab, wie die Spannung der vierten Spannungsquelle V2b. Die erste Spannungsquelle VI und die dritte Spannungsquelle Vlb sind bevorzugt gleich ausgeführt. Die zweite Spannungsquelle V2 und die vierte Spannungsquelle V2b sind bevorzugt gleich ausgeführt. Bevorzugt sind alle vier thermisch so gekoppelt, dass sie sich bis auf das besagte Vorzeichen im Verhalten im Wesentlichen gleich verhalten. Bevorzugt sind sie daher auf dem gleichen Halbleitersubstrat matchend gefertigt.

Figur 7

Figur 7 entspricht weitestgehend der Figur 6 mit dem Unterschied, dass eine von dem Testsignal TSS abhängige erste differentiellen Modulationsspannung V _mO di die Erregungsspannung der Wheatstone- Brücke WB nicht moduliert. Dabei ist die erste differentiellen Modulationsspannung V _mO di die Differenzspannung zwischen dem Ausgangspotenzial einer ersten Spannungsquelle VI und dem Ausgangspotenzial einer zweiten Spannungsquelle V2. Die jeweiligen Spannungen der ersten Spannungsquelle VI und der zweiten Spannungsquelle V2 hängen vorzugsweise in zueinander entgegengesetzter Weise vom Testsignal TSS ab. Im Unterschied zur Figur 6 moduliert eine von dem Testsignal TSS abhängige, die Erregungsspannung der Referenz-Wheatstone-Brücke RW nicht. Die zweite differentiellen Modulationsspannung V _mO d2 ist dabei die Differenzspannung zwischen dem Ausgangspotenzial einer dritten Spannungsquelle Vlb und dem Ausgangspotenzial einer vierten Spannungsquelle V2b. Die jeweiligen Spannungen der dritten Spannungsquelle Vlb und der vierten Spannungsquelle V2b hängen bevorzugt in zueinander entgegengesetzter Weise vom Testsignal TSS ab.

Stattdessen moduliert das Sensorsystem in der Wheatstone-Brücke WB den Wert des ersten Widerstands RI und den Wert des dritten Widerstands R3 und in der Referenz-Wheatstone-Brücke RW den Wert des fünften Widerstands R5 und den Wert des siebten Widerstands R7.

In der Figur 7 moduliert das Sensorsystem den effektiven Wert des ersten Widerstands RI. Hierzu ist der erste Anschluss des ersten Widerstands RI mit dem zweiten Anschluss eines ersten variablen Widerstands RV1 verbunden. Des Weiteren ist zu diesem Zweck der erste Anschluss des ersten variablen Widerstands RV1 statt des ersten Anschlusses des ersten Widerstands RI mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der Widerstandswert des ersten variablen Widerstands RV1 hängt hierbei von dem Wert des Testsignals TSS ab. In dem Beispiel der Figur 7 schaltet das Testsignal TSS einen Transistor, der parallel zum Widerstandswert des ersten variablen Widerstands RV1 geschaltet ist. Im Sinne dieser Schrift bilden dieser Transistor und der zu diesem Transistor parallelgeschaltete Widerstandswert zusammen den ersten variablen Widerstand RV1. Das mittels eines ersten invertierenden Verstärkers INV1 invertierte Testsignals TSS steuert den Transistor des ersten variablen Widerstands RV1.

In der Figur 7 moduliert das Sensorsystem den effektiven Wert des dritten Widerstands R3. Hierzu ist der erste Anschluss des dritten Widerstands R3 mit dem zweiten Anschluss eines zweiten variablen Widerstands RV2 verbunden. Des Weitere ist zu diesem Zweck der erste Anschluss des zweiten variablen Widerstands RV2 statt des ersten Anschlusses des dritten Widerstands R3 mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der Widerstandswert des zweiten variablen Widerstands RV2 hängt hierbei von dem Wert des Testsignals TSS ab. In dem Beispiel der Figur 7 schaltet das Testsignal TSS einen Transistor, der parallel zum Widerstandswert des zweiten variablen Widerstands RV2 geschaltet ist. Im Sinne dieser Schrift bilden dieser Transistor und der zu diesem Transistor parallelgeschaltete Widerstandswert zusammen den zweiten variablen Widerstand RV2. Das Testsignal TSS steuert dabei den Transistor des zweiten variablen Widerstands RV2. In der Figur 7 moduliert das Sensorsystem den effektiven Wert des fünften Widerstands R5. Hierzu ist der erste Anschluss des fünften Widerstands R5 mit dem zweiten Anschluss eines dritten variablen Widerstands RV3 verbunden. Des Weiteren ist hierzu der erste Anschluss des dritten variablen Widerstands RV3 statt des ersten Anschlusses des fünften Widerstands R5 mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der Widerstandswert des dritten variablen Widerstands RV3 hängt hierbei von dem Wert des Testsignals TSS ab. In dem Beispiel der Figur 7 schaltet das Testsignal TSS einen Transistor, der parallel zum Widerstandswert des dritten variablen Widerstands RV3 geschaltet ist. Im Sinne dieser Schrift bilden dieser Transistor und der zu diesem Transistor parallelgeschaltete Widerstandswert zusammen den dritten variablen Widerstand RV3. Das mittels eines zweiten invertierenden Verstärkers INV2 invertierte Testsignals TSS steuert dabei den Transistor des dritten variablen Widerstands RV3.

In der Figur 7 moduliert das Sensorsystem den effektiven Wert des siebten Widerstands R7. Hierzu ist der erste Anschluss des siebten Widerstands R7 mit dem zweiten Anschluss eines vierten variablen Widerstands RV4 verbunden. Des Weiteren ist hierzu der erste Anschluss des vierten variablen Widerstands RV4 statt des ersten Anschlusses des siebten Widerstands R7 mit der ersten Versorgungsspannungsleitung VDD verbunden. Der Widerstandswert des vierten variablen Widerstands RV4 hängt hierbei von dem Wert des Testsignals TSS ab. In dem Beispiel der Figur 7 schaltet das Testsignal TSS einen Transistor, der parallel zum Widerstandswert des vierten variablen Widerstands RV4 geschaltet ist. Im Sinne dieser Schrift bilden dieser Transistor und der zu diesem Transistor parallelgeschaltete Widerstandswert zusammen den vierten variablen Widerstand RV4. Das Testsignal TSS steuert dabei den Transistor des vierten variablen Widerstands RV4.

Durch diese beispielhafte Konstruktion moduliert das Testsignal TSS sowohl das differentielle Eingangssignal Si als auch das differentielle Referenzsignal Rs anteilig. Das System der Figur 6 hat den Vorteil, dass der überprüfte Signalpfad die Wheatstone-Brücke WB und die Referenz-Wheatstone- Brücke RW miteinbezieht. Nachteilig sind die effektive Verringerung der Erregungsspannung und damit die effektive Verringerung des Hubes. Der erste Addierer entfällt dann. Die Signalverarbeitung erfolgt in analoger Weise, wie für die vorausgehenden Figuren erläutert.

Dabei hängen bevorzugt die Widerstandswerte des ersten variablen Widerstands RV1 und des dritten variablen Widerstands RV3 bevorzugt in gleicher Weise von dem Testsignal TSS ab. Dabei hängen bevorzugt die Widerstandswerte des zweiten variablen Widerstands RV2 und des vierten variablen Widerstands RV4 bevorzugt in gleicher Weise von dem Testsignal TSS ab.

Dabei hängen bevorzugt die Widerstandswerte des ersten variablen Widerstands RV1 und des zweiten variablen Widerstands RV2 bevorzugt in umgekehrter, aber ansonsten gleicher Weise von dem Testsignal TSS ab.

Dabei hängen bevorzugt die Widerstandswerte des dritten variablen Widerstands RV3 und des vierten variablen Widerstands RV4 bevorzugt in umgekehrter, aber ansonsten gleicher Weise von dem Testsignal TSS ab.

Bevorzugt ist der erste variable Widerstand RV1 gleich (englisch: matchend) zum zweiten variablen Widerstand RV2 ausgeführt.

Bevorzugt ist der dritte variable Widerstand RV3 gleich (englisch: matchend) zum vierten variablen Widerstand RV4 ausgeführt.

Bevorzugt ist der erste variable Widerstand RV1 gleich (englisch: matchend) zum dritten variablen Widerstand RV3 ausgeführt. Bevorzugt ist der zweite variable Widerstand RV2 gleich (englisch: matchend) zum vierten variablen Widerstand RV4 ausgeführt.

Bezugszeichenliste

Al erster Addierer;

ADC Analog-zu-Digital-Wandler;

Cs Chopper-Signal;

Cs2 zweites Chopper-Signal;

Cs90 orthogonales Chopper-Signal;

DF digitaler Filter;

DFI Eingangssignal des digitalen Filters (DF);

DFO Ausgangssignal des digitalen Filters (DF);

DM1 erstes demoduliertes Signal;

DM2 zweites demoduliertes Signal;

DM3 drittes demoduliertes Signal;

DS Dicke-Schalter;

DV Differenzverstärker;

Gl Signalgenerator;

GND zweite Versorgungsspannungsleitung;

INV1 erster invertierender Verstärker oder Inverter;

INV2 zweiter invertierender Verstärker oder Inverter;

LP1 erstes Tiefpassfilter;

LP2 zweites Tiefpassfilter;

LP3 drittes Tiefpassfilter;

Ml erster Multiplizierer; M2 zweiter Multiplizierer;

M3 dritter Multiplizierer;

M4 vierter Multiplizierer;

MSi multipliziertes Eingangssignal;

MSiT differentielles, multipliziertes Eingangssignal mit Testsignalanteil; outl erstes Ausgangssignal; out2 zweites Ausgangssignal; out3 drittes Ausgangssignal;

PC Phasenkompensator;

PCO Phasenkompensatorausgangssignal;

RI erster Widerstand;

R2 zweiter Widerstand;

R3 dritter Widerstand;

R4 vierter Widerstand;

R5 fünfter Widerstand;

R6 sechster Widerstand;

R7 siebter Widerstand;

R8 achter Widerstand;

Rin negatives Referenzsignal;

Rip positives Referenzsignal;

Rs Referenzsignal;

RV1 erster variabler Widerstand; RV2 zweiter variabler Widerstand;

RV3 dritter variabler Widerstand;

RV4 vierter variabler Widerstand;

RW Referenz-Wheatstone-Brücke;

Si differentielles Eingangssignal;

Sin negatives Eingangssignal;

Sip positives Eingangssignal;

SiT differentielles Eingangssignal mit Testsignalanteil; t Zeit;

TSG Testsignalgenerator;

TSS Testsignal;

WB Wheatstone-Brücke aus erstem Widerstand (RI), zweitem Widerstand (R2), drittem Widerstand (R3) und viertem Widerstand (R4);

VI erste Spannungsquelle;

Vlb dritte Spannungsquelle;

V2 zweite Spannungsquelle;

V2b vierte Spannungsquelle;

Vmodi erste differentiellen Modulationsspannung;

V _mO d2 zweite differentiellen Modulationsspannung;

VO Verstärkerausgangssignal;

VDD erste Versorgungsspannungsleitung; Liste der zitierten Schriften

EP 2524389 Bl,

EP 2524390 Bl,

EP 2524 198 Bl, EP 2523896 Bl,

EP 2523895 Bl.

Nicht-Patentliteratur

Skriptum "Einführung in die Differentialgeometrie" von Christopher R. Nerz

Links https://de.wikipedia.Org/wiki/Lp-Raum#Der_Hilbertraum_L2 https://www.math.uni-tuebingen.de/de/forschung/gadr/lehre/so se2015/diffgeo.pd