Verfahren zur Herstellung solch einer Druckform

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Druckform zur Herstellung einer Struktur eines elektronischen Bauelementes, insbesondere einer photovoltaischen Solarzelle gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung solch einer Druckform gemäß Oberbegriff des Anspruchs 9. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Aufbringen einer Druckpaste auf die Oberfläche eines elektronischen Bauelementes, insbesondere einer photovoltaischen Solarzelle mittels einer Druckform gemäß Oberbegriff des Anspruchs 14.

Bei Herstellung von elektronischen Bauelementen wie beispielsweise Halbleiterbauelementen oder Leiterplatten, insbesondere jedoch bei der Herstellung von photovoltaischen Solarzellen ist bei vielen Herstellungsverfahren das Aufbringen einer Druckpaste in einer vorgegebenen, typischerweise linienförmigen, insbesondere geradlinigen Struktur notwendig. Die Druckpaste kann metallische Partikel zur Ausbildung einer metallischen Leitungs- und/oder Kontaktierungsstruktur des Bauelementes aufweisen. Zusätzlich oder alternativ kann die Druckpaste auch Stoffe zur Behandlung des Halbleiters, insbesondere Dotierelemente zum Ausbilden von Dotierregionen im Halbleitermaterial des Bauelementes aufweisen.

Es ist bekannt, mittels Siebdruck eine Druckpaste auf einen oder mehrere lokale Bereiche einer Oberfläche des Bauelementes aufzubringen, um die vorgenannte Struktur auszubilden. Hierbei wird eine Druckform verwendet, welche einen Siebrahmen und ein Sieb umfasst. Dass Sieb ist als flächenförmiges Textil ausgebildet. An dem Sieb ist eine Schablone angeordnet, welche einen für die Druckpaste durchlässigen Druckbereich durch Öffnungen bzw. von der Schablone ausgesparte Bereiche definiert sowie einen für die Druckpaste undurchlässi- gen Sperrbereich definiert, welcher durch die Schablone bedeckt ist. Das als flächenförmiges Textil ausgebildete Sieb weist mehrere längliche Siebelemente auf, welche typischerweise parallel und zueinander beabstandet verlaufen bzw. senkrecht zueinander verlaufen.

Zum Aufbringen der Druckpaste auf die Oberfläche des elektronischen Bauelementes wird die Druckpaste zumindest im Druckbereich der Druckform aufgebracht. Das Sieb verhindert, dass die Druckpaste unmittelbar bei Aufbringen auf die Druckform diese durchdringt. Erst unter Aufwendung einer zusätzlichen Kraft, typischerweise mittels einer Rakel, wird die Druckpaste im Druckbereich durch die Druckform hindurch und somit insbesondere durch das Sieb hindurch auf die Oberfläche des Bauelementes aufgebracht.

Es besteht zunehmend die Anforderung, linienartige Strukturen mit zunehmend geringerer Breite auszubilden. Die durch den Druckbereich definierten Kanäle zur Ausbildung der linienartigen Strukturen müssen somit gemäß dieser Anforderung eine entsprechend geringe Breite aufweisen. Nachteilig an vorbekannten Druckformen ist, dass durch den Aufbau der Druckform an sich eine minimale Kanalbreite nicht unterschritten werden kann, da andernfalls unregelmäßige o- der auch unzusammenhängende linienartige Strukturen der Druckpaste aufgebracht werden.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Druckform zur Verfügung zu stellen, welche die Ausbildung von linienartigen Strukturen aus Druckpaste mit geringer Breite ermöglicht.

Gelöst ist diese Aufgabe durch eine Druckform gemäß Anspruch 1 , ein Verfahren zur Herstellung einer Druckform gemäß Anspruch 9 und ein Verfahren zum Aufbringen einer Druckpaste gemäß Anspruch 14. Vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.

Die erfindungsgemäße Druckform ist bevorzugt durch ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer Druckform, insbesondere eine bevorzugte Ausführungsform hiervon, ausgebildet. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Druckform ist bevorzugt zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Druckform, insbesondere bevorzugt einer vorteilhaften Ausführungsform hiervon, ausgebildet.

Die erfindungsgemäße Druckform zur Herstellung einer Struktur eines elektronischen Bauelementes, insbesondere einer photovoltaischen Solarzelle, weist einen Siebrahmen und ein als flächenförmiges Textil ausgebildetes Sieb mit einer Vielzahl von länglichen Siebelementen auf. Das Sieb ist in dem Siebrahmen angeordnet, bevorzugt unter Aufbringung einer Zugspannung. Das Sieb weist zumindest einen für die Druckpaste durchlässigen Druckbereich und zumindest einen für die Druckpaste undurchlässigen Sperrbereich auf.

Wesentlich ist, dass die länglichen Siebelemente als Glasfaser, Kohlenstofffaser und/oder Kohlenstoffnanoröhre ausgebildet sind.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis der Anmelderin zugrunde, dass die Zugspannung, mit welcher die länglichen Siebelemente in dem Siebrahmen angeordnet sind, ein wesentlicher Parameter für die minimal mögliche Kanalbreite eines Druckbereichs der Druckform ist.

Wird daher für die länglichen Siebelemente ein Material verwendet, welches eine besonders hohe Zugspannung ermöglicht, so können linienförmige Elemente mit besonders geringer Breite ausgebildet werden. Durch Experimente und Berechnungen ist es der Anmelderin gelungen, die Anzahl an Siebelementen pro Strecke (typischerweise angegeben in Siebelemente pro Inch) sowie den Durchmesser der Siebelemente zu verringern, indem das Material, aus welchem die Siebelemente hergestellt werden dahingehend angepasst wird, dass eine materialspezifisch hohe Zugspannung vorliegt.

Untersuchungen der Anmelderin zeigen, dass insbesondere eine maximale Gewebespannung des als flächenförmiges textilausgebildeten Siebs und damit auch die Druckqualität aufgebrachter Strukturen mit geringer Kanalbreite erhöht wird, indem die länglichen Siebelemente als Glasfaser, Kohlenstofffaser und/oder Kohlenstoffnanoröhre ausgebildet sind.

Mit Siebelementen aus Glasfaser und Kohlenstofffaser können Zugspannungen im Bereich von 4.900 Megapascal erzielt werden. Bei Ausbildung der länglichen Siebelemente als Kohlenstoffnanoröhren können Zugspannungen von 63.000 Megapascal erreicht werden.

Das als flächenförmiges textilausgebildetes Sieb ist daher bevorzugt mit einer Zugspannung größer als 15 N/cm, vorzugsweise größer als 20 N/cm, höchstvorzugsweise größer als 25 N/cm in dem Siebrahmen angeordnet.

Untersuchungen der Anmelderin zeigen, dass die Erhöhung der Zugspannung durch die Materialwahl der Siebelemente bei der erfindungsgemäßen Druckform eine erhebliche Verringerung des Durchmessers der Siebelemente ermöglicht. Dies ist insofern überraschend, da der Durchmesser der Siebelemente ein Parameter ist, dessen Erhöhung größere Zugspannungen ermöglicht. Bei vorbekannten Druckformen wurde eine gewünschte Erhöhung der Gewebespannung, d. h. der Zugspannung der länglichen Siebelemente dadurch erzielt, dass der Durchmesser der Siebelemente erhöht wurde. Die Materialwahl bei der erfindungsgemäßen Druckform ermöglicht hingegen die Erzielung hoher Gewebespannungen bei dennoch geringen Durchmessern.

Untersuchungen der Anmelderin zeigen, dass bevorzugt die Druckform mit folgenden Zugspannungen und Durchmessern der länglichen Siebelemente ausgebildet werden:

Durch die vorgenannten bevorzugten Bereiche für die genannten Parameter werden geringe Kanalbreiten und somit geringe Breiten der mittels der Druckpaste ausgebildeten linienartigen Strukturen ermöglicht. Untersuchungen der Anmelderin zeigen, dass bevorzugt bei der Ausbildung der länglichen Siebelemente aus Glasfaser und/oder aus Kohlenstoff eine Dichte der Siebelemente im Bereich von 50 Siebelemente pro Inch bis 3000 Siebelemente pro Inch verwendet wird. Bei der Ausgestaltung der länglichen Siebelemente aus Kohlenstoffnanoröhren werden bevorzugt im Bereich 50 Siebelemente pro Inch bis 10.000 Siebelemente pro Inch angeordnet.

Insbesondere ist es vorteilhaft, bei Ausbildung der länglichen Siebelemente aus Glasfaser oder Kohlenstoff zwischen 280 Siebelemente und 950 Siebelemente pro Inch oder bei Ausbildung der länglichen Siebelemente aus Kohlenstoffnanoröhren zwischen 70 Siebelemente und 2025 Siebelemente pro Inch anzuordnen.

Die vorgenannten Dichten für die Siebelemente werden bevorzugt zumindest im Druckbereich der Druckform ausgebildet, weiter bevorzugt im Druckbereich und Sperrbereich.

Wie zuvor beschrieben, ist die erfindungsgemäße Druckform insbesondere zur Herstellung von länglichen, linienförmigen Strukturen aus Druckpaste geeignet. Vorteilhafterweise ist der Druckbereich daher zumindest teilweise als eine längliche Kanalöffnung, insbesondere eine linienförmige Kanalöffnung, bevorzugt eine geradlinige Kanalöffnung ausgebildet, bevorzugt mit einer Längserstre- ckung und einer Kanalbreite (b). Die Kanalbreite (b) ist bevorzugt kleiner als 40 pm, vorzugsweise kleiner als 20 pm, insbesondere bevorzugt kleiner als 10 pm.

Das als flächenförmiges Textil ausgebildete Sieb weist bevorzugt zumindest eine erste Gruppe von länglichen Siebelementen auf, wobei die länglichen Siebelemente dieser Gruppe parallel zueinander und weiter bevorzugt äquidistant zueinander angeordnet sind. Vorzugsweise ist bei Vorsehen mindestens einer geradlinigen Kanalöffnung im Druckbereich die Kanalöffnung in einem Winkel ungleich 0° gegenüber der Längsachse der Kanalöffnung angeordnet. Insbesondere ist es vorteilhaft, einen Winkel und eine maximale Kanalbreite vorzusehen, wie in DE 10 2019 122 126.9 beschrieben. Dieses Dokument wird per Referenz vollumfänglich einbezogen. Insbesondere ist es vorteilhaft, dass der zuvor beschriebene zumindest eine geradlinige Kanal des Druckbereichs einen Winkel mit einem Siebelement des Druckbereichs mit einer Toleranz von +/- 0,1 ° ein- schließt, wobei der Winkel aus der Gruppe 1 1 ,31 °, 14,04°, 18,44°, 26,57°, 45°, 33,69°, insbesondere 1 1 ,31 °, 14,04°, 18,44°, 26,57°, 33,69° ausgewählt ist.

Hierdurch lässt sich eine vorteilhafte Verringerung der Knoten von Siebelementen innerhalb der Kanalöffnung erzielen, wie aus DE 10 2019 122 126.9 bekannt.

Vorteilhafterweise weist das als flächenförmiges Textil ausgebildete Sieb der Druckform zumindest eine zweite Gruppe von länglichen Siebelementen auf, wobei die länglichen Siebelemente der zweiten Gruppe parallel zueinander und bevorzugt äquidistant angeordnet sind. Insbesondere ist es vorteilhaft, dass die Siebelemente der ersten und der zweiten Gruppe einen Winkel im Bereich von 30° bis 150°, bevorzugt 60° bis 120°, insbesondere bevorzugt 85° bis 95°, bevorzugt 90° einschließen.

Insbesondere ist es vorteilhaft, dass die länglichen Siebelemente der Druckform vollständig der vorgenannten ersten und zweiten Gruppe zugeordnet sind.

Die länglichen Siebelemente sind somit bevorzugt paarweise parallel oder senkrecht zueinander angeordnet.

Untersuchungen der Anmelderin haben ergeben, dass bevorzugt in dem Druckbereich ein Flächenverhältnis SUI, welches sich aus dem Verhältnis der freien Fläche im Druckbereichs zu der von den länglichen Siebelementen im Druckbereich abgedeckten Fläche ergibt, größer als 0,5, bevor vorzugsweise größer als 0,75, insbesondere größer als 1 ist. Hierdurch wird ein vorteilhaftes Öffnungsverhältnis erzielt, um Druckpaste mit einem vorteilhaft geringen Druck, insbesondere mittels einer Rakel, durch das Sieb hindurch auf die Oberfläche des Bauelementes aufzubringen.

Wie vorangehend beschrieben, weist die erfindungsgemäße Druckform eine Vielzahl von länglichen Siebelementen auf. Es liegt im Rahmen der Erfindung, dass die Siebelemente miteinander verbunden sind und insbesondere aus einem oder mehreren länglichen, biegeschlaffen Siebelement-Grundelement mittels Umlenkung im Bereich des Siebrahmens ausgebildet werden. Die eingangs genannte Aufgabe ist weiterhin durch ein Verfahren zur Herstellung einer Druckform mit einem Siebrahmen und einem flächigen Sieb mit einer Vielzahl von länglichen Siebelementen und zumindest einem für Druck passte durchlässigen Druckbereich und einen für Druckpaste undurchlässigen Sperrbereich gelöst.

Wesentlich ist, dass die länglichen Siebelemente in Form von Glasfasern und/oder Kohlenstofffasern und/oder Kohlenstoffnanoröhren ausgebildet werden und in einem Bindungsschritt zu einem biegeschlaffen, flächigen Textil, insbesondere einem Gewebe oder Gelege gefügt werden. Das flächige Textil wird in einem Spannschritt mit dem Randbereich an dem Siebrahmen angeordnet und mit dem Siebrahmen verbunden, bevorzugt unter Aufbringung einer Zugspannung.

Hierdurch ergeben sich die zu der erfindungsgemäßen Druckform genannten Vorteile. Insbesondere ist es wie vorbeschrieben vorteilhaft, dass das Textil mit einer Zugspannung größer 15 N/cm, vorzugsweise größer als 20 N/cm, höchstvorzugsweise größer 25 N/cm in dem Siebrahmen angeordnet wird.

Die Zugspannung des Textils wird bevorzugt erzielt, indem die länglichen Siebelemente unter Zugspannung insbesondere in einem zur Herstellung verwendeten Siebrahmen angeordnet werden und anschließend fixiert werden, insbesondere bevorzugt mittels des Materials, mittels dessen der Sperrbereich ausgebildet wird. Bei dieser vorteilhaften Ausführungsform muss somit die Zugspannung des Textils nicht zwingend durch ein Einspannen in einem Rahmen wie beispielsweise dem Siebrahmen der Druckform erfolgen. Durch die Fixierung mittels des Fixiermaterials, insbesondere des Materials einer Schablone, welche den Sperrbereich definiert, kann die Zugspannung des Textils auch ohne äußeren Rahmen fixiert werden.

In einer alternativen bevorzugten Ausgestaltung wird die Zugspannung des Textils wird erzielt, indem das Sieb unter Zugspannung in dem Rahmen angeordnet und an dem Rahmen fixiert wird.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung erfolgt das Ausbilden der Zugspannung des Textils durch eine Kombination des Einspannens des Textils in dem Siebrahmen der Druckform und einem Fixieren des Textils mit einem Material, bevorzugt mittels des Materials, mittels dessen der Sperrbereich ausgebildet wird, insbesondere des Materials einer Schablone, welche den Sperrbereich definiert.

Vorteilhafterweise erfolgt in einem Beschichtungsschritt eine für Druckpaste undurchlässige Sperrschicht, vorzugsweise eine Ethylen-Propylen-Dien-Kautschuk enthaltende Sperrschicht, welche an dem Sieb angeordnet wird. In dem Strukturierungsschritt wird bevorzugt in der Sperrschicht eine Öffnung für den Druckbereich ausgestaltet, insbesondere bevorzugt eine längliche Kanalöffnung. Die Öffnung wird bevorzugt mittels eines Lasers ausgebildet, insbesondere mittels Laserablation. Dies ermöglicht eine präzise und zugleich kostengünstige Ausbildung des oder der Druckbereiche.

Diese Öffnung bildet somit einen für die Druckpaste durchlässigen Druckbereich aus.

Vorteilhafterweise wird in der Druckschablone zumindest eine Kanalöffnung ausgebildet, welche linienartig, insbesondere bevorzugt geradlinig ausgebildet ist und eine Kanalbreite aufweist, welche kleiner 40 pm ist, bevorzugt kleiner 20 pm ist, höchstvorzugsweise kleiner 10 pm ist.

Vorteilhafterweise wird in einem Öffnungsschritt ein Schablonenrohling, insbesondere ein dünnwandiges Blech, mittels eines Lasers zu einer Druckschablone verarbeitet, wobei im Schablonenrohling eine längliche Kanalöffnung, bevorzugt eine geradlinige Kanalöffnung ausgeschaltet wird, und in einem Montageschritt wird die Druckschablone an dem Sieb angeordnet.

In dieser vorteilhaften Ausführungsform erfolgt somit die Definition des Druckbereiches in der Druckschablone, bevor die Druckschablone an dem Sieb angeordnet wird. Hierdurch wird eine Beschädigung des Siebs bei Ausbilden des o- der der Druckbereiche vermieden.

Die eingangs genannte Aufgabe ist weiterhin durch ein Verfahren zum Aufbringen einer Druckpaste auf die Oberfläche eines elektronischen Bauelementes, insbesondere einer photovoltaischen Solarzelle mittels einer Druckform gelöst, wobei mittels einer Rakel Druckpaste durch die Druckform auf ein Substrat des elektronischen Bauelementes aufgebracht wird. Wesentlich ist, dass eine erfindungsgemäße Druckform, insbesondere eine bevorzugte Ausführungsform hiervon, verwendet wird.

Hierdurch lassen sich in vorteilhafter Weise linienartige Strukturen von Druckpaste mit geringer Breite auf eine Oberfläche des elektronischen Bauelementes aufbringen.

Weitere vorteilhafte Merkmale und bevorzugte Ausführungsformen werden im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen und den Figuren erläutert. Dabei zeigt

Figur 1 eine erste Ausführungsform einer Siebdruckvorrichtung mit einem ersten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckform zum Flachbett-Siebdruck;

Figur 2 eine zweite Ausführungsform einer Siebdruckvorrichtung mit einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckform zum Rotationssiebdruck;

Figur 3 eine Schnittdarstellung des ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Druckform der Siebdruckvorrichtung gemäß Figur 1 ;

Figur 4 eine Draufsicht von oben auf die Druckform gemäß Figur 3.

Die Figuren zeigen schematische, nicht maßstabsgetreue Darstellungen. Gleiche Bezugszeichen in den Figuren bezeichnen gleiche oder gleichwirkende Elemente.

In Figur 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer Siebdruckvorrichtung in Seitenansicht dargestellt. Die Vorrichtung ist zum Durchführen eines Flachbett- Siebdruckverfahrens ausgebildet. Die Vorrichtung weist ein als Siebdruckform 1 ausgebildetes erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckform auf, welche als Flachbett- Siebdruckform ausgebildet ist. Die Siebdruckform 1 ist teilweise für eine Siebdruckpaste 2 durchlässig und teilweise für die Siebdruckpaste 2 undurchlässig ausgebildet, um eine vorgegebene Struktur auszubilden. Dies wird nachfolgend anhand der Figuren 3 und 4 näher erläutert.

Bei der Druckpaste 2 handelt es sich vorliegend um eine Metallpartikel enthaltende Druckpaste, welche dazu dient, nach thermischer Behandlung eine metallische Kontaktierungsstruktur in Form eines an sich bekannten Kontaktierungsgitters auf der Vorderseite eines als photovoltaische Solarzelle ausgebildeten elektronischen Bauelementes auszubilden.

Die Vorrichtung weist eine Rakel 3 auf, welche entlang der durch den über der Rakel abgebildeten Pfeil angegebenen Richtung mittels nicht dargestellter motorischer Mittel bewegt werden kann. Hierdurch wird die Siebdruckpaste 2 über die Siebdruckform 1 gestrichen und durchdringt die Siebdruckform 1 an den durchlässigen Stellen, sodass die Struktur 4 aus Siebdruckpaste auf einem Substrat 5 aufgebracht wird.

Das Substrat 5 ist vorliegend als Siliziumwafer ausgebildet, welcher bereits p- und n-dotierte Bereiche zum Ausbilden von Emitter und Basis aufweist. Das Substrat 5 stellt somit einen Solarzellen-Precursor dar, zur Fertigstellung der Solarzelle bedarf es weiterhin des Anordnens der metallischen Kontaktierungsstruktur auf der Vorderseite des Halbleitersubstrates 5.

Die Vorrichtung weist eine Zuführeinheit zum Zu- und Abführen von Halbleitersubstraten auf, welche ein (nicht dargestelltes) Förderband aufweist, auf dem mehrere Shuttles angeordnet sind. Beispielhaft ist in Figur 1 ein Shuttle 6 mit darauf liegendem Substrat 5 dargestellt.

In Figur 2 ist als alternative Ausführungsform eine zweite einer Druckvorrichtung mit einem als Siebdruckform 1 ‘ ausgebildeten zweiten Ausführunsgsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckform dargestellt. Diese Druckvorrichtung ist zur Durchführung eines Rotationssiebdruckverfahrens ausgebildet. Wie ein Vergleich der Figuren 1 und 2 zeigt, sind einige Elemente identisch ausgebildet und angeordnet. Wesentlich ist jedoch, dass bei dem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß Figur 2 die Siebdruckform 1 ‘ als Rundsieb mit einer zylindrischen Form ausgebildet ist. Die Rakel 3 ist im Inneren der zylindrisch ausgebildeten Siebdruckform 1 ‘ angeordnet, sodass die Druckpaste 2 aus dem Inneren der Siebdruckform 1 ‘ durch die Siebdruckform hindurch nach außen gedrückt wird, um die Struktur 4 aus Druckpaste auf dem Substrat 5 auszubilden.

Hierzu weist die als Rundsieb ausgebildete Siebdruckform 1 ‘ eine Drehachse 1 a auf und ist mittels motorischer Mittel in der durch den Kreisbogenpfeil gekennzeichneten Richtung drehbar. Die Drehachse 1 a steht somit in Figur 2 senkrecht zur Zeichenebene.

Gleichzeitig wird mittels des Shuttles 6 das Halbleitersubstrat 5 in der als geradliniger Pfeil dargestellten Richtung bewegt, derart, dass die Relativgeschwindigkeit zwischen Substrat 5 und Mantelfläche der Siebdruckform 1 ‘ am Berührungspunkt zwischen Siebdruckform 1 ‘ und Substrat 5 Null oder zumindest vernachlässigbar gering ist.

Die Rakel 3 führt hingegen keine Drehbewegung durch, sodass die Druckpaste 2 im Inneren der Siebdruckform 1 ‘ aufgrund der Drehbewegung der Siebdruckform 1 ‘ gegen die Rakel 3 gedrückt wird und mittels der Rakel durch die Siebdruckform hindurch auf das Substrat 5 aufgebracht wird.

Die Siebdruckformen 1 und 1 ‘ sind grundsätzlich gleich aufgebaut, lediglich weist die Siebdruckform 1 eine ebene, rechteckige Form auf, wohingegen die Form der Siebdruckform 1 ‘ der Mantelfläche eines Zylinders entspricht.

Die Siebdruckformen 1 und 1 ‘ stellen jeweils somit Ausführungsbeispiele einer erfindungsgemäßen Druckform, welche einen Siebrahmen aufweist, in welchem ein als Siebdruckgewebe ausgebildetes flächenförmiges Textil als Sieb unter Zugspannung angeordnet ist. Im Fall der Siebdruckform gemäß Figur 1 ist der Siebrahmen und auch das Sieb rechteckig ausgebildet. Im Fall der Siebdruckform gemäß Figur 2 ist das Sieb als Mantelfläche eines Zylinders ausgebildet. Der Siebrahmen weist ringförmige Elemente auf, welche an den beiden Kanten des mantelflächenförmigen Siebs angeordnet sind. Das Gewebe wird bevorzugt auf die ringförmigen Elemente geklebt. Bei der Siebdruckform gemäß Figur 1 wird die Zugspannung im Wesentlichen durch Einspannen des Siebs in den Siebrahmen ausgebildet. Bei der Siebdruckform gemäß Figur 2 wird die Zugspannung im Wesentlichen durch Fixieren des Siebdruckgewebes durch die Schablone ausgebildet. In einer alternativen Ausgestaltung sind zusätzlich Stege zwischen den ringförmigen Elementen vorgesehen, so dass die Zugspannung durch Einspannen des Siebs erzielt wird.

Bei beiden Siebdruckformen sind mittels einer Schablone eine Mehrzahl von länglichen, geradlinigen, vorliegend rechteckigen Öffnungen ausgebildet, sodass diese Öffnung einen für Druckpaste durchlässigen Druckbereich ausbilden, wohingegen die Schablone selbst einen für die Druckpaste undurchlässigen Sperrbereich ausbildet.

In Figur 3 ist ein Querschnitt durch die Siebdruckform 1 der Vorrichtung gemäß Figur 1 dargestellt. Die Siebdruckform 1 weist den rechteckigen Rahmen 1 a auf, in welchem das als Siebdruckgewebe 1 b ausgebildete flächenförmige Textil gespannt ist. Das Siebdruckgewebe 1 b weist eine Vielzahl von als Gewebeelemente ausgebildete längliche Siebelemente auf, die in einer ersten Elementrichtung und einer senkrecht stehenden Elementrichtung angeordnet sind. Die erste Elementrichtung steht gemäß Figur 3 senkrecht zur Zeichenebene und entsprechend liegt die zweite Elementrichtung gemäß der Darstellung in Figur 3 parallel zur Zeichenebene.

An dem Siebdruckgewebe 1 b ist die Schablone 1 c angeordnet, welche in an sich bekannter Weise als Emulsion ausgebildet ist. Die Schablone 1 c weist eine Vielzahl von Öffnungen auf, die jeweils als geradliniger, länglicher Kanal 1 d ausgebildet sind. Die Kanäle der Siebdruckform 1 verlaufen parallel zueinander und senkrecht zur Zeichenebene gemäß Figur 3 und weisen vorliegend identische Breiten auf. Exemplarisch sind in Figur 3 drei Kanäle 1 d gekennzeichnet.

Wird nun in Figur 3 von oben mittels der Rakel Siebdruckpaste auf die Siebdruckform 1 gedrückt, so kann die Siebdruckpaste die Siebdruckform nur im Bereich der Kanäle 1 d durchdringen, sodass entsprechend der Positivform der Kanäle eine Struktur aus Siebdruckpaste auf einem unter der Figur 3 liegenden Substrat erzeugt wird, welche aus einer entsprechenden Vielzahl parallel nebeneinander angeordneter Linien aus Siebdruckpaste besteht. In Figur 4 ist eine Rückansicht von unten auf die Siebdruckform 1 gemäß Figur 3 gezeigt. Schematisch ist dargestellt, dass im Bereich der Öffnungen der Schablone 1 c, das heißt im Bereich der Kanäle 1 d, die Siebdruckform nicht vollständig geöffnet ist, da unterhalb der Kanäle 1 d Gewebeelemente des Siebdruckgewebes 1 b verlaufen.

Im Fall der in Figur 1 dargestellten Druckform sind die länglichen Siebelemente aus Glasfaser ausgebildet mit einem Faserdurchmesser von 5 pm und einer Faserdichte von 1500 Drähten pro Inch. Die Zugspannung beträgt 4000 Megapascal. In einer alternativen Ausgestaltung dieses Ausführungsbeispiels sind die länglichen Siebelemente aus Kohlenstofffasern ausgebildet mit den zuvor genannten Parametern.

Die Druckform gemäß Figur 2 weist längliche Siebelemente auf, welche aus Kohlenstoffnanoröhren ausgebildet sind. Der Durchmesser der Siebelemente beträgt 0,5 pm bei einer Faserdichte von 5000 Siebelemente pro Inch. Die Siebelemente sind mit einer Zugspannung von 40.000 Megapascal an dem Siebrahmen angeordnet.

Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass geringe Kanalbreiten realisiert werden können. Vorliegend beträgt die Kanalbreite bei dem ersten Ausführungsbeispiel 10 pm und bei dem zweiten Ausführungsbeispiel 5 pm.