Die Erfindung betrifft supraleitende Tunnelelemente, daraus hergestellte Tun¬ nelstapel sowie deren Verwendung.

In der EP 0 513 557 A2 sind supraleitende Tunnelelemente, daraus herge¬ stellte Tunnelstapel sowie darauf beruhende Verwendungen bekannt. Diese Tunnelelemente haben den Aufbau Supraleiter, Tunnelbarriere, Supraleiter, wobei innerhalb der beiden Supraleiter jeweils eine isolierte supraleitende Steuerschicht vorhanden ist. Durch diese Anordnung wird eine gleichmäßige und homogene Durchflutung der Supraleiter mit den strominduzierten

Magnetfeldern der Steuerschichten erreicht, so daß die Energielücke der Su¬ praleiter sehr genau gesteuert werden kann. Der symmetrische Aufbau dieses Elements ermöglicht außerdem eine unproblematische Integration mehrerer Elemente zu einem Tunnelstapel, indem abwechselnd Supraleiter und Barrie- ren fortlaufend übereinander angeordnet werden. Nachteilig an dieser Vor¬ richtung ist jedoch, daß eine große Anzahl von Einzelschichten vorhanden sind. So besteht ein Supraleiter bereits aus 5 Einzelschichten (eine Steuer¬ schicht, zwei Isolationsschichten zur Isolierung der Steuerschicht, sowie zwei supraleitende Schichten). Entsprechend ist die Herstellung dieser Tunπelzel- len sehr aufwendig und teuer.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, ein Tunnelelement anzugeben, das bei gegenüber der EP 0 513 557 A2 kaum verschlechterter Steuerbarkeit we-

sentlich einfacher und billiger herzustellen ist.

Diese Aufgabe wird durch ein Tunnelelement mit den Merkmalen des An¬ spruchs 1 gelöst. Die Ansprüche 2 bis 4 geben vorteilhaft ausgestaltete Tun- nelelemente wieder. Die Unteransprüche 5 bis 9 geben vorteilhafte Schal¬ tungsmöglichkeiten der Tunnelelemente, die Unteransprüche 10 bis 13 aus den neuen Tunnelelementen hergestellte vorteilhafte Tunnelstapel an. Die Ansprüche 14 bis 17 betreffen Anwendungen der Tunnelemente.

Nachstehend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen von Tun¬ nelelementen, deren Schaltungen sowie von Tunnelstapel und deren Ver¬ wendungen näher erläutert:

Es zeigt: Fig. 1 ein Tunnelelement mit Schaltschema,

Fig. 2 eine Variante eines Tunnelelements mit Schaltschema, Fig. 3 eine weitere Variante eines Tunnelelemeπts mit Schaltschema, Fig. 4 eine weitere Variante eines Tunnelelements für Rechner- Schaltungen mit Schaltschema, Fig. 5 bis 8 jeweils einen Tunnelstapel aus einzelnen Tunnelelementen mit Schaltschema Fig. 9 ein Tunnelstapelfeld auf einem Substratquader, Fig. 10 eine digitale supraleitungselektronische Kamera im schwenk¬ baren Dewar mit Cassegrain-Spiegelsystem in schematischer Darstellung,

Fig. 11 einen supraleitungselektronischen kohärenten Strahler mit normalen Spiegeln,

Fig. 12 einen supraleitungselektronischen kohärenten Strahler mit phasenkonjugierten Spiegeln und mit Frequenzvervielfachung,

Fig. 13 eine supraleitungselektronische Strahlenpinzette in schematischer Darstellung, Fig. 14 ein RF-SQUID auf Tunnelstapelbasis in schematischer Darstel¬ lung,

Fig. 15 ein DC-SQUID auf Tunnelstapelbasis in schematischer Darstel¬ lung,

Fig. 16 ein DC-SQUID-Achsen-Feld in schematischer Darstellung, Fig. 17 ein Schaltschema eines quanteπmechanisches Interferenz- Systems.

Das in Fig. 1 dargestellte Tunnelelement weist folgenden symmetrischen Schichtaufbau auf. Beiderseits auf einer schichtförmigen Barriere B sind schichtförmige Supraleiter S2 und S3 angeordnet, auf deren freien Ober¬ flächen schichtförmige Isolatoren I und darauf schichtförmige Supraleiter S1 und S4 angeordnet sind. Jeder Supraleiter S1 bis S4 weist individuelle su¬ praleitende Anschlüsse auf. Die Supraleiter S2 und S3 sind supraleitende Tunnelschichten und an eine regelbare Signalstromquelle A sowie an eine Steuerung der Arbeitsspannung U angeschlossen, in dem Schaltkreis der letzteren ist eine Tunneldiode oder ein Transistor geschaltet. Die Supraleiter S1 und S4 dienen als supraleitende Steuerschichten zur Energielückensteuerung E. Die strominduzierten Felder durchfluten jeweils gleichmäßig das gesamte Volumen der supraleitenden Schichten S2 und S3. Der hier gezeigte Schichtaufbau ist die dichtest mögliche Packung, die noch das Prinzip der individuellen Steuerung durch die beiden supraleitenden Steuerschichten erfüllen kann. Die Fertigung ist wegen der geringen Anzahl

der einzelnen Schichten relativ wenig aufwendig, was sich insbesondere bei einem Stapel aus einer großen Anzahl einzelner Tunnelelemente auswirkt.

Der Begriff Barrieren bzw. Tunnelbarrieren ist in der vorliegenden Anmeldung so zu verstehen, daß durch derartige Schichten eine Tunneln erlauben sollen. Demgegenüber ist der Begriff Isolatoren so zu verstehen, daß durch diese Schichten ein Tunneln in jedem Fall vermieden werden soll. Dem Fachmann ist bekannt, daß dieser Unterschied insbesondere durch eine entsprechende Wahl der Schichtdicken erreicht werden kann. Isolatoren haben typischer wei- se eine Dicke von größer oder gleich 5 nm. Barrieren haben bevorzugt eine Dicke von unter 5 nm, insbesondere 1 bis 1 ,5 nm.

Aus dem Tunnelelement gemäß Fig. 1 kann auch ein Proximity-Tunnelele- ment hergestellt werden. Dieses ist in Fig. 2 dargestellt. Hierbei ist zwischen der zentralen Barriere B und den benachbarten, als Tunnelschicht dienenden Supraleitern S2 bzw S3, jeweils eine normal leitende oder halbleitende Schicht oder eine supraleitende Schicht P1.P2 mit einer gegenüber den Ener¬ gielücken der Tunnelschichten S2.S3 kleineren Energielücke vorgesehen. Die Schaltung eines solchen Tunnelelements bleibt bis auf die Steuerung P der Proximity-Schichten P1.P2 unverändert und ist so ausgeführt, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist. Die Proximity-Einflüsse reichen von den supraleitenden Schichten in den angrenzenden Normalleiter und umgekehrt mit einer Reich¬ weite, die der Kohärenzlänge entspricht. Im Ergebnis wird der Normalleiter su¬ praleitend und beim Supraleiter sinkt die kritische Temperatur. Der Proximity- Tunneleffekt wird durch die zwischengeschaltete Schicht zwischen Barriere und Supraleiter hervorgerufen. Diese Zwischenschichten weisen typischer¬ weise Dicken bis zu 2 nm auf. Die Tunnelzustandsdichte ändert sich in einer

Proximity-Tunnelschaltung deutlich. Die Proximity-Tunnelzelle ermöglicht es, über mesoskopische Quantenphänomene die supraleitungselektronischen Anwendungen auszudehnen. Besondere Anwendungsgebiete sind die De- tektion von Röntgen- und Gammastrahlen, beispielsweise über photonenun- terstützte Tunnelprozesse.

Proximity-Effekte können auch in der in Fig. 3 dargestellten Ausbildung eines Tunnelstapels genutzt werden. Zwischen der zentralen Barriere B und den be¬ nachbarten, als Tunnelschicht dienenden Supraleitern S2 bzw S3 ist jeweils eine normal leitende oder halbleitende Schicht oder eine supraleitende Schicht P1.P2 mit kleiner Energielücke vorgesehen. Dieses Tunnelelement weist im übrigen den gleichen Grundaufbau wie das in Fig. 1 gezeigte Tunnel¬ element auf, es sind lediglich jeweils auf den aussen liegenden Supraleitern S1 bzw. S4 zusätzlich Schichten in Form eines Isolators I und eines weiteren Supraleiters SO bzw. S5 vorhanden. Bei diesem Tunnelelement sind die als Steuerschichten dienenden Supraleiter S1 , S4 zwischen zwei als Tunnel¬ schichten dienenden Supraleitern SO, S2 bzw. S3, S5 angeordnet, wodurch ein besonders symmetrischer Aufbau und homogene Felder erzielt werden. Die ström induzierten Felder durchfluten die supraleitenden Schichten SO, S2 bzw. S3, S5 von der Mitte her, was besonders vorteilhaft für die volle Steuer¬ fähigkeit des Tunnelelements ist. Auch hier sind alle Supraleiter SO bis S6 mit individuellen supraleitenden Anschlüssen versehen. Daraus folgt eine große Anzahl möglicher sinnvoller Kombinationen elektronischer Schaltungen, wo¬ bei es nicht nur um kombinatorische Schaltungen mit supraleitenden Schich- ten, sondern auch um die Größen von Gleich- und Wechselspannungen und Frequenzen von Wechselspannungen geht. Da die Steuerung zentral erfolgt, kann ein besonders homogenes Feld aufgebaut werden.

Vorzugsweise sind die als Tunnelschichten dienenden Supraleiter SO, S2, bzw. S3, S5 beiderseits der Barriere B über eine Kurzschlußbrücke K verbun¬ den, die vorzugsweise ebenfalls supraleitend ausgebildet ist. Jede Kurz- schiußbrücke K ist durch einen schichtförmigen Isolator I von dem jeweiligen als Steuerschicht dienenden Supraleiter S1 bzw. S4 getrennt. Die Schaltung dieses Elements entspricht der in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellten und wird da¬ her nicht mehr erläutert.

Fig. 4 zeigt ein Tunnelelement zur Umsetzung des Speicherprinzips von Juri Matisoo für Rechnerschaltungen (Juri Matisoo, Josephson Computer Technology, LT15, Seiten 1590 bis 1597, (1978)). Dieses Tunnelelement geht von einem grundsätzlichen Aufbau aus, wie es in Fig. 1 beschrieben ist, d.h. es sind beiderseits einer Barriere B durch Isolatoren I getrennte Supraleiter ^" S1 und S2, bzw. S3 und S4 vorhanden. Neu ist, daß sich an einer Seite zu¬ sätzliche Schichten: ein Isolator I, ein Supraleiter S5, ein weiterer Isolator I, ein weiterer Supraleiter S6, eine zusätzliche Barriere B sowie ein weiterer Su¬ praleiter S7 anschließen. Bei dieser Ausführung des Tunnelelements sind die Supraleiter S2 und S3 die Tunnelschichten, der Supraleiter S1 wird zur Schreibleitung, der Supraleiter S4 wird Teil einer Tunnelschleife, der Supra¬ leiter S5 dient als Leseleitung, wobei die Leseleitung S5 mit dem Josephson- Kontakt aus Supraleiter S6, zusätzlicher Barriere B und Supraleiter S7 einen Stromkreis bildet. Alle zusammen stellen die Speicherzelle für "binär 0" bzw. "binär 1" dar. In Fig. 4 ist eine Schaltung dargestellt, wobei mit T der Tunnel- ström, mit S die Schreibleitung, mit L die Leseleitung und mit U die Arbeits- spannungssteuerung bezeichnet sind, wobei in den Schaltkreis der Arbeits- spannungssteuerung eine Tunneldiode ein ein Transistor geschaltet sind.

In der Funktion "Schreiben" liegt über der Tunnelschleife als Steuerleitung die Schreibleitung. Unter der Tunnelschieife liegt als Steuerleitung die Leselei¬ tung. Wenn man gleichzeitig Ströme durch die Schreibleitung schickt, geht der Tunnelkoπtakt der Tunnelschleife in den normalleitenden Zustand über und drängt den Schleifenstrom in den anderen Schleifenzweig. Wenn beide Ströme abgeschaltet werden, wird der Kontakt wieder supraleitend, und das Magnetfeld induziert eine "binäre 1". Um den Elementinhalt "binär 0" zu schreiben muß die Schreibleitung stromlos bleiben. Der Schleifenstrom fließt dann durch beide Zweige der Schleife ab und hebt sich in der Wirkung auf. Es entsteht deshalb kein Dauerstrom.

In der Funktion "Lesen" werden gleichzeitig Ströme durch die Tunnelschleife und durch die Leseleitung geschickt. Wenn das Element einen Dauerstrom enthält, fließt der zusätzliche Schleifenstrom durch den Zweig der Schleife, die den Tunnelkoπtakt der Leseleitung steuert. Der Kontakt der Leseleitung wird normalleitend und an seinem Ausgang erscheint ein Signal. Wenn die Tunnelschleife "binär 0" enthält, teilt sich der Schleifenstrom symmetrisch auf beide Zweige. Damit bleibt der Kontakt in der Leseleitung supraleitend und an seinem Ausgang erscheint kein Signal.

Jede der beschriebenen Tunnelelement kann zu einem Tunπelstapel zusam¬ mengesetzt werden, wobei jeweils zwischen zwei benachbarten Tunnelele¬ menten Isolatoren oder Barrieren zur schaltuπgsmäßigen Abtrennung der ein- zelnen Tunnelelemente angeordnet sind.

Fig. 5 zeigt einen Tunnelstapel aus drei einzelnen Tunnelelementen gemäß

Fig. 1. Zwischen den Tunnelzellen sind Isolatoren \- angeordnet, um parasitä¬ re Tunnelprozesse zwischen supraleitenden Steuerschichten und supralei¬ tenden Tunnelschichteπ zu unterbinden. Mit B _t sind die Tunnelbarrieren inner¬ halb einer einzelnen Tunnelzelle bezeichnet. Die übrigen Bezeichnungen der einzelnen Schichten entsprechen den in der Fig. 1 verwendeten. Die Steue¬ rung der Intensität kann am nichtlinearen Teil der Kennlinie durch Steuerung des Tunnelstroms stufenlos und durch Abschaltung der einzelnen supraleiten¬ den Tunnelzellen erfolgen. Die Energielücken der einzelnen Schichten kön¬ nen einheitlich und individuell von Null bis Maximum gesteuert werden.

Die in der Fig. 5 bis 8 angegebenen Bezugszeichen haben folgende Bedeu¬ tung:

A Signalstrom E Energielückensteuerung TT Tunneldiode oder Transistor U Arbeitsspannungssteuerung K supraleitende Kurzschlußbrücke I Isolierschichten für die Kurzschlußbrücken

T Tunnelstrom L Leseleitung S Schreibleitung

Fig. 6 zeigt einen Tunnelstapel aus drei einzelnen Tunnelelementen gemäß Fig. 2. Zwischen den Tunnelzellen sind Isolatoren l _s angeordnet.

Fig. 7 zeigt einen Tunnelstapel aus drei einzelnen Tunnelelementen gemäß

Fig. 3. Zwischen den Tunnelelementen sind Tunnelbarrieren B _t angeordnet.

In einer weiteren hier nicht gezeigten Ausführung können anstatt Tuπnelbar- rieren auch Isolatoren angeordnet sein.

Bei den Proximity-Stapeln gemäß Fig. 6 und 7 kommen weitere interessante Eigenschaften hinzu. Dies sind vor allem verschiedene Grenzflächeneffekte. Darüberhinaus werden Wechselwirkungen von Effekten verschiedener Anre¬ gungsmechanismen, sogenannte mesoskopische Phänomene auf den nm- Skala mit Grenzflächeneffekten und Tunnelprozessen technisch für verschie¬ dene Detektionsmechanismen genutzt. Eine mögliche Anwendung ist eine Kamera für Röntgen- und Gammastrahlung.

Fig. 8 zeigt einen Tunnelstapel aus drei einzelnen Tunnelelementen gemäß Fig. 4. Zwischen den Tunnelelementen sind Isolatoren Ig angeordnet. Mit der¬ artigen Tunnelstapein ist eine Datenspeicherung mit hoher Speicherdichte möglich. Typischerweise umfaßt ein solcher Stapel etwa 40 000 Tunnelele¬ mente, wobei sich eine Stapelhöhe von ca. 2 Zentimeter ergibt. Bei einem Durchmesser eines Stapels (mit Isolierung) von ca. 1 μm sind auf einem Tun¬ nelstapelfeld (siehe Fig. 9) von 2,5 cm Kantenlänge etwa 25 ^* 10 ¹² Tunnele¬ lemente vorhanden. Ein Tunnelelement speichert ein Bit, so daß der Speicher über ca. 3 Terabyte Speicherkapazität verfügt.

Da alle Supraleiter mit individuellen, vorzugsweise supraleitenden Anschlüs¬ sen versehen sind, ist eine beliebige sinnvolle Kombination elektronischer Schaltungen möglich, wobei unter Einsatz von Programmsteuerungen pro- blemorientiert die beste mathematisch gefundene Schaltstruktur umgesetzt werden kann. Die dadurch sehr flexible Tunnelstapelschaltung wird dadurch zu einem überlegenen Instrument der Supraleitungselektronik. Grundsätzlich

weisen Tunnelstapel gegenüber den einzelnen Tunnelzellen völlig andere Ei¬ genschaften auf. Beispielsweise wächst mit jeder weiteren Tunnelzelle im Stapel die Strahlungsintensität des Tunnelstapels quadratisch an. Die im Tun¬ nelstapelsystem wirksam werdende Selbstsynchronisation hat das praktische Ergebnis, daß die Linienbreite der Tunnel-Strahlung mit wachsender Tunnel¬ zellenzahl immer schmaler wird.

Der Nachteil der kleinen Signalstärke bei allen supraleitenden Schaltungen wird durch eine ideale Reihenschaltung von Tunnelelementen im Stapel aus- geglichen. Wenn z.B. die Arbeitsspannung die Bedingung für den Detektions- modus erfüllt, d.h. kleiner als 2 DELTA ist und alle Schichten mit gleichen Energielücken gesteuert werden, summiert sich mit jeder Schicht die Detek- tionsleistung abzüglich der Rauschleistung. Bei einem Detektor verbessert sich das Signal-Rausch-Verhältnis für das Nutzsignal proportional zu der An- zahl der Schichtpaare. Mit einer Anzahl von n Tunnelelementen werden im Detektionsmodus n verschiedene Frequenzen gleichzeitig detektiert, wenn jedes n-te Tunnelelement verschiedene Energielücken aufweist. Die n ver¬ schiedenen Frequenzen können individuell eingestellt werden. Der Sensor¬ strom wächst proportional mit der Anzahl der einfallenden Photonen. Der Wir- kungsgrad liegt sehr nahe bei Eins.

Wenn die Arbeitsspannung die Bedingung für den Sendemodus erfüllt, d.h. größer 2 DELTA ist, und alle Tunnelelemente mit gleicher Energielücke ge¬ steuert werden, summiert sich mit jedem zusätzlichen Tunnelelement die Strahlungsintensität. Mit einer Anzahl n an Tunnelelementen werden im Sendemodus n verschiedene Frequenzen gleichzeitig gesendet, wenn alle Tunnelelemente verschiedene Energielückeπ aufweisen. Wegen der sehr

geringen Ausgangsleistung eines Josephson-Elementes empfiehlt es sich, möglichst viele Tunnelelemente für die gewünschten Frequenzen zusammen¬ zuschalten.

Da jedes Tunnelelement einzeln gesteuert werden kann, gibt es neben der Option "alle Tunnelelemente mit gleichen Energielücken" oder der Option "alle Tunnelelemente mit verschiedenen Energielücken " die Option "beliebi¬ ge Kombinationen" zu schalten. So können z.B. eine beliebige Anzahl an Tunnelelementen für beliebig gewünschte Frequenzen zusammengefaßt wer- den, um die Detektionsleistung oder die Sendeintensität zu bündeln.

Supraleitende Tunnelelemente arbeiten bei einer definierten Arbeitsspan¬ nung als parametrischer Verstärker. Wegen der individuellen Steuerbarkeit jedes einzelnen Tunnelelements bietet es sich an, die Fähigkeit supraleiten- der Tunnelelemente, Signale parametrisch verstärken zu können, beispiels¬ weise mit dem Detektormodus zu koppeln. Dabei werden ein oder mehrere Tunnelelemente, die auf der der Strahlung abgewandten Seite angeordnet sind, zum Verstärken verwendet.

Jedes einzelne Tunnelelement eignet sich auch als Schalter, weil es die erfor¬ derlichen Steuerleitungen als integrierte Steuerschichten aufweist. Mit den in den supraleitenden Steuerschichten erzeugten Magnetfeldern kann der Tun¬ nelkontakt normalleitend oder supraleitend geschaltet werden. Für den Ein¬ satz in Rechnern auf Supraleitungsbasis sind auch die zwei erforderlichen unabhängigen Steuerleitungen am Tunnelelement vorhanden.

Ein Tunnelstapel wird in Form eines heteroepitaktischen Übergitters herge-

stellt. Dazu wird zunächst das Material der Substratgrundplatte derart ausge¬ wählt, daß es sich mit den zu verwendenden Materialien bezüglich der Gitter¬ konstanten verträgt. Auf der Substratgruπdplatte kann wahlweise als Option ein Spiegel aus geeigneten Supraleitern gefertigt werden. Schichten ausrei- chender Dicke aus Supraleitern sind als Spiegel für einen besonders interes¬ sierenden Spektralbereich sehr viel leistungsfähiger, als konventionelle Spie¬ gel. Der supraleitende Spiegel kann die Leistungen des Stapels verbessern. Auf dieser oben beschriebenen Unterlage kann dann der eigentliche Tunnel¬ stapel gefertigt werden. Er besteht aus einer definierten Schichtfolge aus supraleitenden Schichten und Barrieren (dünne Isolatoren) bzw. Isolatoren (dicke Isolatoren).

Die beiden supraleitenden Tunnelschichten sind durch dünne Barrieren ge¬ trennt, um den Tunnelprozess zu ermöglichen. Die den supraleitenden Tunneischichten benachbarten Steuerschichten sind durch eine Isolator¬ schicht isoliert, um störende Tuπnelphänomene zu unterdrücken.

Die supraleitenden Schichten sollen so dünn sein, wie es die Funktionsfähig¬ keit der Supraleitung zuläßt. Beispielsweise ist das Material der Hochtempe- ratur-Supraleiter wegen der besonders kleinen Kohärenzlänge in der Grös- senordnung nm noch supraleitend. Die Isolatoren an den Flanken der Steuer¬ supraleiter müssen das Tunneln unterbinden und sind deshalb bevorzugt um 5 nm dick. Sie müssen so gewählt werden, daß sie möglichst durchlässig für die Strahlung sind. An die Barriere werden die höchsten Anforderungen ge- stellt. Sie müssen alle absolut dicht sein und sollen eine Dicke von 1 bis 1,5 nm haben. Die der Strahlung zugewandte Schichtfolge soll die Bedingung ei¬ ner optisch dünnen Schicht erfüllen, d.h. die supraleitenden Schichten müs-

sen viel kleiner als die Wellenlänge der Strahlung sein, mit der man arbeiten will. Die supraleitenden Schichten müssen mindestens die Dicke der material¬ spezifischen Kohärenzlänge erreichen. Das bedeutet, daß der ganze Stapel eine Dicke in der Größenordnung μm hat. Da die Schichten sehr dünn sind, ist auch der ganze Stapel nur eine dünne Folie.

Je kleiner die Oberfläche eines Tunnelkontaktes ist, desto besser ist er vor Fehlern gesichert. Für die angestrebten Sensorikziele muß die Tunnelfläche mindestens so groß sein, wie der Radius des ersten Beugungsringes des sogenannten Airy-Scheibchens der Arbeitswellenlänge. Da man aus vielen kleineren Flächen schaltungstechnisch nahezu jede gewünschte größere Fläche durch Zusammenschalten realisieren kann, kann man sich von der Energielückenabhängigen kurzwelligen Grenze an, die man nicht unterschrei¬ ten kann, jeder längeren Wellenlänge anpassen. Wenn ein einzelnes Tunnel- element mit 60 nm Dicke gefertigt würde, würde ein Tunnelstapel von bei¬ spielsweise 10.000 Tunnelelementen etwa 0,6 mm dick.

An den supraleitenden Tunnelschichten liegen die Anschlüsse für die Arbeits¬ spannung und für den Sigπalstrom. Die in jeder supraleitenden Tunnelschicht von der Umgebung isoliert liegenden supraleitenden Steuerschichten sind an eine eigene Stromschleife angeschlossen. Dies wiederholt sich für alle Tun¬ nelelemente eines Tunnelstapels. Weiter sollen zwei einander gegenüberlie¬ gende Flanken eines Stapels bevorzugt frei von Schaltkontakten bleiben. Da¬ mit soll gewährleistet werden, daß außer einer Einkopplung mittels optisch dünner Schichten auch die Einkopplung über die Flanke direkt in die Barriere offen bleibt.

Für die Arbeit eines Tunnelelemeπtes muß eine Vorspannung an die beider¬ seits der Barriere liegende supraleitenden Tunnelschichten gelegt werden. Die Größe dieser Vorspannung entscheidet über die Betriebsart: Detektieren, parametrisch Verstärken oder Senden. Die Arbeitsvorspannung muß an die variabel gesteuerte Energielücke gekoppelt werden, uns sie muß mit einer Genauigkeit in der Größenordnung Nanovolt präzise gesteuert werden.

Eine stufenlose Steuerung der Intensität wird durch Steuerung des Tunnel¬ stroms durchgeführt. Anstelle des Einsatzes supraleitender Bauelemente für die Steuerung kann z.B. eine Transistorschaltung in Reihe mit einer Präzi- sionsspannungsquelle geschaltet, diese Aufgabe erfüllen. Im linearen Kenn¬ linienbereich kann ein linearer Widerstand die Arbeitsspannung steuern. Im nichtlinearen Kennlinienbereich ändert sich die Arbeitsspannung nur wenig, aber der Tunnelstrom steigt steil an. Wegen der nichtlinearen Kennlinienfelder des Transistors läßt sich damit ein geeignetes Steuerelement zum stufenlosen Steuern des Tunnelstroms realisieren.

Die Größe der Energielücke im Anregungsspektrum eines Supraleiters ist von der Temperatur, von der Größe des anliegenden elektromagnetischen Feldes und von der Größe des durchfließenden Stromes abhängig. Die Steuerung kann mittels Feldern oder mittels Temperaturen erfolgen.

Die Energielücken in supraleitenden Schichten können durch Einwirkung von elektromagnetischen Felder verändert und damit gesteuert werden. Die Magnetfelder werden in integrierten supraleitenden Steuerschichten erzeugt. Dabei muß das ström induzierte Steuerfeld homogen sein und gleichmäßig die supraleitende Schicht durchfluten. Dies ist auch ein Grund, daß die supra-

leitenden Schicht so dünn wie möglich sein sollen.

Die supraleitenden Steuerschichten können auch über die Temperatur ge¬ steuert werden. Dies kann auf zwei verschiedenen Wegen erfolgen. Die eine Möglichkeit besteht darin, mit hochfrequenten Wechselspannungen an den Steuerschichten, die supraleitenden Tunnelschichten induktiv aufzuheizen. Die zweite Möglichkeit besteht darin, nach Überschreiten des kritischen Stro¬ mes in den Steuerschichten die Steuerschichten als Heizung zu verwenden. Die Tunnelschichten werden dann über den Wärmekontakt aufgeheizt. Wegen der sehr dünnen supraleitenden Schichten kann die sehr schlechte Wärmeleitung der Supraleiter vernachlässigt werden. Bei einer Energie¬ lückensteuerung über Temperaturänderungen liefern die nicht gebundenen Elektronen über sehr hohe Frequenzen Beiträge zur Temperaturerhöhung und führen deshalb zu einer Absenkung des kritischen Stromes. Die Energie- lückensteuerung über die Temperatur läßt schärfere Frequenzeinstellungen erwarten, als die Steuerung über das Magnetfeld, wohingegen ein höherer Zeitverbrauch zu erwarten ist.

Jede Veränderung der Energielücke verändert die Bedingung für die Arbeits- Spannung, so daß die Steuerung der Arbeitsspannung an die aktuellen Werte der Energielücke gekoppelt sein soll.

Die Funktion Detektieren bedeutet, daß die elektrischen Wellen die optisch dünnen Schichten ohne Schwächung durchdringen, wobei sie mit Cooper- Paaren wechselwirken. Diese Wechselwirkungen führen zu erzwungenen Schwingungen und brechen dann die Cooper-Paare auf, wenn die Relation hf = DELTA erfüllt ist. Der entstehende Wechselstrom ist der Frequenz der

elektrischen Wellen streng proportional.

Bei der Funktion "Senden", wenn die Arbeitsspannung größer als 2 DELTA ist, wird den Cooper-Paaren gleich bzw. mehr Energie zugeführt, als der Bindungsenergie der Cooper-Paare entspricht. Die Bindungsenergie der

Cooper-Paare entspricht der Energielücke DELTA im Anregungsspektrum des Supraleiters. Es entstehen eine Mikrowellenstrahlung und Gitterschwin¬ gungen (Hyperschall). Die Frequenz der entstehenden elektrischen Wellen und die Frequenz der Gitterschwingungen sind der Größe der Energielücke streng proportional. Die Größe der Vorspannung entscheidet über: ein breit- bandiges oder frequenzselektives Detektieren, über ein parametrisches Ver¬ stärken oder über das Senden, wobei die Größe der Vorspannung an die Größe der aktuellen Energielücke gekoppelt ist.

Wenn ein Tunnelstapel Detektieren, Senden, oder wenn einige Tunnel¬ elemente parametrisch verstärken sollen, muß die Arbeitsspannung präzise Werte aufweisen. Wenn bestimmte Wellenlängen gewählt werden, muß die Energielücke bestimmte präzise Werte aufweisen. Die Arbeitswellenlänge oder umgerechnet die Arbeitsfrequenz wird über die dazu äquivalente Ener- gielücke im Anregungsspektrum des Supraleiters erzielt. Die Energielücke in den supraleitenden Tunnelschichten wird - wie oben dargelegt - über Magnet¬ felder oder Temperaturen der supraleitenden Steuerschicht gesteuert. Die Steuerparameter sind von anderen Parametern wie beispielsweise der Ener¬ gielücke abhängig und müssen daran gekoppelt werden. Wegen der großen Zahl der Tunnelelemente in einem Tunnelstapel und wegen der äußerst flexi¬ blen möglichen Kombinationen mit verschiedenen Einstell- und Anwendungs¬ funktionen mit Kontrollstrukturen mit oder ohne Rückkopplungsmechanismen,

automatisch oder halbautomatisch, ist es sinnvoll, eine intelligente Programm¬ steuerung einzusetzen. Vorzugsweise werden Prozeßrechner verwendet, wo¬ bei eine besonders gute Leistung dann erzielt wird, wenn alle Schalt- und Re¬ chenvorgänge auf supraleitenden Schaltungen beruhen. Die Verwendung von neuronalen Netzen verbessert die Leistung.

Für verschiedene Anwendungen ist es erforderlich, eine Anzahl an Tunnel¬ stapeln TS zu einem Tunnelstapelfeld F zusammenzufügen. In Fig. 9 ist ein Tunnelstapelfeld F auf einem Substratquader dargestellt, bei dem auf einer Fläche von 2,5 x 2,5 cm beispielsweise 25 000 Zeilen mit jeweils 25 000 Tun¬ nelstapeln TS angeordnet sind. In dem Substratquader sind hinter den Tun¬ nelstapeln TS digitale Kontaktwählschaltungen KW 1 für jeden Tunnelstapel TS vorgesehen, die zum Steuern aller Tunnelzellen im Stapel einzeln oder in beliebigen Kombinationen dienen. Im Anschluß daran ist eine digitale Kon- taktwählschaltung KW 2 für alle Tunnelstapel TS vorgesehen, die wiederum mit Daten- und Steuerleitungen DS zu elektronischen Steckverbindungen auf der Rückwand des Quaders verbunden sind, wie sie von Steckkarten konven¬ tioneller Anlagen bekannt sind.

Die Flächenform für die Anordnung des Tunnelfeldes kann beliebig sein. Be¬ vorzugt ist eine kreisförmige oder quadratische Fläche. Im allgemeinen wird ein Tunnelstapelfeld aus gleichartigen Tunnelelementen bzw. Tunnelstapeln zusammengesetzt. Für spezielle Anwendungen ist es jedoch auch möglich, verschiedene Ausführungen von Tunnelelementen und/oder Tunnelstapeln in einem Feld zu kombinieren.

Wie der Einzeltunnelstapel, befindet sich auch das Tunnelstapelfeld auf einer

Kontaktplatte, die auf der Rückseite Platz für die Steuerungs- und Auswerte¬ logik bietet. Dies kann in Modulbauweise, wie bei konventionellen Elektronik¬ karten, erfolgen. Dies bietet den Vorteil, große Schaltgeschwindigkeiten, etwa in der Größenordnung Picosekunden und kurze Signallaufzeiten für 1 cm etwa 10 ^{" "} ' ¹ Sekunden, zu erzielen, was der besondere Vorteil der Supralei- tuπgselektronik ist.

Eine bevorzugte Verwendung der Erfindung ist durch eine digitale supralei¬ tungselektronische Kamera gegeben gegeben. In Fig. 10 ist das Schema ei- ner digitalen supraleitungselektronischen Kamera im schwenkbaren Dewar mit Cassegrain-Spiegelsystem dargestellt.

Der allgemeine Aufbau eines Kryostaten ist bekannt und wird hier nicht be¬ schrieben. Die in Fig. 10 angegebenen Bezugszeichen bedeuten:

1 supraleitende Steckverbindung

2 normalleitende Steckverbindung

3 miniaturisierte Verflüssigungsanlage nach dem Jouie- Thomson-Prinzip 4 Zuleitung für flüssigen Stickstoff

5 Abflußleitung für flüssigen Stickstoff

6 Superisolierung

7 Stoßdämpfung aus Kunststoff

8 Vakuum 9 Sicherheitsventil

10 Montagehalter mit Steuer- und Signalleitung

1 1 Dom

12 Cassegrain-Parabolspiegel

13 Abschirmung auf Supraleitungsbasis

14 Tunnelstapelfeld

15 Auswerteelektronik auf Supraleitungsbasis. Die eigentliche digitale supraieitungselektronische Kamera besteht aus fol¬ genden Baugruppen: einem oder mehreren Substratquadern mit je einem Tunnelstapelfeld, einer elektronischen Steuerung zur Bedienung der Tunnel¬ stapel, einem supraleitenden Schirm gegen Störfelder und Steuer- und Signalleitungen.

Jeder einzelne Tunnelstapel kann als ein multispektrales Sende- und Emp¬ fangssystem aufgefaßt werden. Wenn man einer angestrebten Auflösung ent¬ sprechend genügend viele Tunnelstapel zeilenweise in einem Feld oder auf einer Fläche anordnet, können die entstehenden einzelnen Signalpunkte zu einem Bild zusammengesetzt werden, wodurch durch das Tunnelstapelfeld das Raumgebiet im Blickwinkel der Kamera abgebildet werden kann. Da jeder Tunnelstapel ab einer kurzweiligen Grenze in Richtung längerer Wellenlän¬ gen unbegrenzt frequenzselektiv sehen kann, bekommt die Kamera wegen der Frequenzabhängigkeit der Absorption durchdringende Eigenschaften. Die Kamera ermöglicht folgende Funktionen: den Erhalt von Infrarot- und Mikro¬ wellenbildern auf der Basis jeder gewünschten Wellenlänge, Präzisionsver¬ messungen von Objekten im Raum durch Laufzeitmessungen und ein erstell¬ tes Koordinatensystem und die Erfassung von Spektren chemischer Verbin¬ dungen, die den Vergleich mit Daten in Spektralbibliotheken ermöglichen. Somit kann die Kamera ganz besonders zum Auffinden, Vermessen und Iden¬ tifizieren von Objekten verwendet werden.

In Fig. 10 ist die Kamera mit einem Cassegrain-Parabolspiegel versehen, in dessen Brennpunkt sich das Tunnelstapelfeld befindet. Die Kamera kann selbstverständlich auch ohne Spiegel eingesetzt werden. Eine andere An¬ wendungsmöglichkeit besteht darin, sie in einem schwenkbaren Dewar mit flüssigem Helium statt mit flüssigem Stickstoff anzuwenden, wobei ein zusätz¬ licher Strahlungsschirm mit flüssigem Stickstoff (nicht dargestellt) vorgesehen ist. Der Kamera ist ein weiterer Spektralbereich zugänglich, der im kurzwelli¬ gen Bereich bei einigen Mikrometern beginnt und dann im langwelligen Be¬ reich praktisch bis unendlich gehen kann. Hierdurch ist es möglich, laufend Bilder auf der Basis einer beliebigen Frequenz von Objekten anzufertigen. Das frequenzselektive Fortschreiten zu längeren Wellenlängen führt zur Fähigkeit der Kamera, auch in das Innere der Objekte zu sehen. Es ist mög¬ lich, Präzisionsmessungen von IR- und Mikrowellenspektren mit hoher Auf¬ lösung zu erzielen, die im Vergleich mit gespeicherten Spektren einer Datei eine chemische Analyse ermöglichen. Mit Hilfe von Dopplermessungen kön¬ nen radiale Geschwindigkeiten gemessen werden. Weiter kann mit einer be¬ liebigen Frequenz oder einer beliebig gewählten Gruppe von Frequenzen gesendet und die Laufzeit bis zum Eintreffen des Echos gemessen werden, was räumliche Erfassungen ermöglicht. Durch Messung der Planck'schen Strahlungskurve und durch Bestimmung ihres Maximus kann die Temperatur an einem Zielort berechnet werden. Die Präzisionsmessung der Infrarot- und Mikrowellenspektren ist deshalb besonders wichtig, weil die gesamte Informa¬ tion über den molekularen Aufbau in den Infrarot- bzw. Mikrowellenspektren enthalten ist. Daher kann durch eine Gesamtanalyse jedem beobachteten Spektrum der dazugehörige Molekülaufbau zugeordnet werden. Da verschie¬ dene Verbindungen nie gleiche Infrarotspektren aufweisen, sind diese wie Fingerabdrücke und damit ein sicheres Hilfsmittel der qualitativen Analyse zur

Identifizierung unbekannter chemischer Verbindungen, die durch Vergleich des Spektrums der unbekannten Verbindung mit bekannten Spektren erfolgt. Es kann durch gezielte Impulsstrahlung z.B. durch geeignete Mikrowellen von speziellen supraleitenden Tunnelstapeln eine Anzahl von chemischen Ver- bindungen angeregt werden, die dann ihr eigenes Rotationsspektrum imitie¬ ren, über das die Verbindungen identifizierbar sind. Die zeitlich abklingenden Emissionssignale werden in Abständen von wenigen Nano-Sekunden abge¬ tastet und per Rechner verarbeitet.

Für nicht mit Rotationsspektren erfaßbare nichtpolare Verbindungen, wie z.B. die Gase Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, können Raman-Spektren ausge¬ nutzt werden, die durch unelastische Streuung von Photonen an den Molekü¬ len entstehen. Aus den Raman-Spektren lassen sich Aussagen über die Fre¬ quenzen der Eigenschwingungen die Trägheitsmomente und die Form der Moleküle ermitteln. Beim frequenzselektiven Sehen mit der Kamera dringt diese mit dem Anwachsen der Arbeitswellenlänge immer weiter in die Objekte ein und setzt diese Informationen z.B. für ein bildgebendes Verfahren um. Wenn alle geeigneten Wellenlängen voneinander getrennt zur Informations¬ gewinnung herangezogen werden, sind auch Informationen aus dem Inneren der Objekte zu gewinnen. Eine Anwendung liegt beispielsweise auch in der Chirurgie darin, daß in Wunden zwischen Verschmutzungen und lebendiger Substanz unterschieden werden kann.

In der Anwendung der Kamera zum Lesen und Verstehen von Molekülspek- tren sind sehr geringe Strahlungsleistungen gegeben. Wegen der konkur¬ renzlosen Empfindlichkeit supraleitender Tunnelschaltungen sind sehr schwache Signale erfaßbar, wobei die sich summierenden Schaltzeiten durch

die hohe Schaltgeschwindigkeit dennoch hohe Auflösungen ermöglichen, so daß Molekülspektren mit feinsten Strukturen erkannt werden können, wobei auch Mischspektren besser identifizierbar sind.

Die Kamera durchfährt zum Lesen der Spektren das ganze Spektralgebiet mit einer wählbaren Registriergeschwindigkeit. Die Registriergeschwindigkeit wird durch Zeiten vorgegeben, die die physikalischen Prozesse durchlaufen. Die Koordinatenmaßstäbe werden durch Feinstrukturen vorgegeben, die ge¬ messen werden können und müssen. Der Spektrenmaßstab für die Abszisse könnte beispielsweise aus einer Wellenlängenunterteilung bestehen, die die feinsten Strukturen erfaßt. Für die Ordinate müßte die maximale Intensität er¬ faßt werden und trotzdem könnte eine Feinauflösung der Intensität erreicht werden.

Da Bilder aus vielen einzelnen Bildpunkten zusammengesetzt werden, wer¬ den die Tunnelstapel zeilenweise zu einem Feld geordnet, so daß aus dem durch einen Tunnelstapel, der eine Information als einen Bildpunkt gibt, nun¬ mehr die einzelnen Bildpunkte zu einem aus vielen Bildpunkten bestehenden Bild zusammengesetzt werden. Durch die Möglichkeiten der individuellen Schaltung jedes Tunnelstapels kann die Kamera analytische Vorgänge bis hin zum Vermessen und Identifizieren von Objekten ausführen.

Die Sendeenergie einer einzelnen Tunnelzelle ist sehr gering und liegt in der Größenordnung Nano- bis Mikrowatt. Über das Summationsprinzip im Tunnel- Stapel und über eine spezielle Auslegung der Tunnelelemente kann die Sendeenergie um viele Größenordnungen gesteigert werden.

Die Packungsdichte der Tunnelstapel pro Fläche muß so ausgelegt werden, daß die Zahl der Tunnelstapel und damit die Zahl der Bildpunkte zu einer maximalen Auflösung führen. Durch die Flexibilität der Schaltung ist es mög¬ lich, einen Bildpunkt nicht nur durch ein einziges Tunnelelement zu erzielen, sondern es können auch mehrere Tunnelelemente für die Erstellung eines Bildpunktes zusammengeschlossen werden. Je nach Wunsch kann diese Zusammenschaltung eine variable Sensorfläche für einen neuen Bildpunkt ergeben.

Wenn die verwendete Wellenlänge groß im Vergleich zur Sensorfläche wird, können für das Arbeiten im langwelligen Spektralbereich mehrere räumlich getrennte Sensorflächen zusammengeschaltet werden, um die Auflösung mit den Methoden der Interferometrie zu verbessern. Die Distanzen zwischen den zusammengeschalteten Tunnelstapelflächen müssen viel größer als die ver- wendeten Wellenlängen sein. Das bedeutet, daß wenn man mit einem Such¬ gerät Verschüttete unter 20 m Trümmern erkennen will, Bausätze mit einigen Metern Flächenausdehnung notwendig sind.

Eine weitere Anwendung der Erfindung besteht in supraleitungselektroni- sehen kohärenten Strahlern. In Fig. 11 ist ein supraleitungseiektronischer ko¬ härenter Strahler mit normalen Spiegeln dargestellt. Der Tunnelstapel TS um¬ faßt mehrere Tunnelelemente der in Fig. 1 abgebildeten Art. Er kann alternativ auch aus Tunnelelementen nach Fig. 2 oder nach Fig. 3 (letztere mit oder oh¬ ne Promimity-Schichten P1.P2) aufgebaut sein. Mit P ist ein Piezo-Stapel, der mit Serienschaltung im Substrat angeordnet ist, mit SN ist der auf dem Piezo- Stapel P befindliche bewegliche Spiegel, mit VM das Vakuum, mit SO die Substratoberfläche und mit SP ein von außen durchlässiger und von innen

halbdurchlässiger, das heißt reflektierender Spiegel bezeichnet.

In Fig. 12 ist ein supraleitungselektronischer kohärenter Strahler mit phasen¬ konjugierten Spiegeln und mit Frequenzvervielfachung dargestellt. Die beim Strahler gemäß Fig. 11 enthaltenen Bauteile weisen die gleichen Bezugs¬ zeichen auf. Zusätzlich ist ein supraleitender Schirm SS, Ein Substrat S und ein phasenkonjugierter Spiegel SK vorgesehen, wobei zwischen dem Piezo-Stapel P, ein supraleitender Schirm SS, ein Substrat S und zwei Tun¬ nelstapel TS aus einzelnen Tunnelelementeπ nach Fig. 1 angeordnet sind. Die Tunnelstapel TS können aber auch aus Tunnelelementen nach Fig. 2 oder nach Fig. 3 (letztere mit oder ohne Promimity-Schichten P1 ,P2) aufge¬ baut sein. Vor dem von aussen durchlässigen und von innen halbdurchlässi¬ gen Spiegel SP sind zur Frequenzvervielfachung noch zwei Kristalle aus Kali- umdihydrogenphosphat KDP 1 und KDP 2 angeordnet. Selbstverständlich kann der Strahler gemäß Fig. 12, wenn eine Frequenzvervielfachung nicht er¬ wünscht ist, als supraleitungselektronischer kohärenter Strahler mit phasen¬ konjugierten Spiegeln ohne die Kristalle aus Kaliumdihydrogenphosphat KDP 1 und KDP 2 ausgeführt sein.

Bezüglich der Schaltung wird auf die Schemata gemäß Fig. 11 und 12 verwie¬ sen. Alle Strahler weisen gemeinsam einen spezifischen Substratquader, Mikropiezopositioniersysteme, spezifische Tunnelstapel, ein Resonator¬ system, einen Montagehalter mit Steuer- und Signalleitungen, sowie spezielle elektronische Steuerungen zur Bedienung der Mikropiezopositioniersysteme und Tunnelstapel auf.

Die Tunnelelemente im Stapel sind für hohe Tunnelströme und hohe Intensi-

täten optimiert und ausgelegt. Die aus der Anzahl der Tunnelelemente im Tunnelstapel resultierende Intensität wird mindestens so groß ausgelegt, daß die nicht linearen phasenkonjugierten Spiegel arbeiten können und daß auf die Chemie der Zielverbindungen über die Zuführung von genau dosierter Strahlungsenergie mit der erforderlichen Frequenz - oder einer Gruppe von Frequenzen - Einfluß genommen werden kann. Für Verwendungen des Strah¬ lers zu Modulationsaufgaben im Stoffwechsel sind monochromatische und ko¬ härente Strahlungen erforderlich, wobei als monochromatische Strahlung ein Mikrowellenstrahl definiert ist, wenn seine Teilwellen alle die gleiche Wellen- länge bzw. die gleiche Frequenz haben. Monochromatisch muß die Strahlung sein, um mit einer anwendungsorientiert gewählten Wellenlänge oder Fre¬ quenz auf einen chemischen Prozess einwirken zu können. Kohärent ist ein Mikrowellenstrahl, wenn seine Teilwellen alle konstante Differenzen in ihren Phasenkonstanten haben, wobei zwischen den Teilwellen feste Phasenbezie- hungen bestehen müssen, da sonst die Wellen nicht miteinander interferieren können. Die Strahlung muß kohärent sein, wenn holographische Anwendun¬ gen gewünscht werden.

Ein auf maximale Sendeintensität optimierter Tunnelstapel wird in einen Mi- krowellenresonator eingebaut, wobei das Resonatorprinzip der Lasertechnik übernommen wird. Der Resonator speichert die Energie, die für die Resonanz bzw. Eigenfrequenzen ein Maximum annehmen.

Wenn die Frequenz der Arbeitswelle gleich der Resonanzfrequenz ist, ent- steht zwischen den Spiegeln eine stehende Welle und die Strahlungsdichte im Resonator nimmt ein Maximum an. Daher muß der Resonator durch eine variable Resonatorlänge auf alle Frequenzen einstellbar sein. Im Substrat-

quader wird auf dem Piezo-Stapel das jeweilige Spiegelsystem angeordnet, im Falle eines phasenkonjugierten Spiegels in Form eines nicht linearen Kristalls. Bevorzugt wird ein Vierwellenmischprinzip verwendet. Mit der Pha¬ senkonjugation ist es u.a. möglich, Phasenstörungen und Aberrationen opti- scher Systeme zu korrigieren. Am anderen Ende des Stapels, auf der der Strahlung zugewandten Seite, werden Spiegel aus supraleitendem Material bevorzugt, um die besonderen Vorteile der Supraleitung für Spiegelungen nutzen zu können.

Die physikalischen Eigenschaften der Tunnelstapel ermöglichen die Erzeu¬ gung einer Strahlung mit beliebigen Frequenzen. Die feste Phasenbeziehung der Supraleitung sorgt für die kohärente Eigenschaft und das Resonator¬ system sorgt durch Interferenz für die monochromatische Eigenschaft der Strahlung. Bei der in Fig. 12 dargestellten Version des Strahlers werden mit der Methode der Frequenzvervielfachung nichtlinearer Kristalle die Strah¬ lungseigenschaften des Strahlers bis auf den ultravioletten Bereich ausge¬ dehnt. Mit Hilfe der beiden KDP-Kristalle wird in einem zweistufigen Prozess die dreifache Frequenz der Ausgangsfrequenz des Tunnelstapels erzeugt. Dies kann bis zur Wellenlänge von etwa 0,250 Mikrometer durchgeführt wer- den. Für höhere Frequenzen ist der Kristall nicht mehr transparent. Die er¬ zeugte Strahlung ist monochromatisch und kohärent.

Phasenkonjugierte Spiegel können nach zwei Verfahren hergestellt werden. Einmal durch Vierwellenmischung und zum anderen durch induzierte Streu- ung. Phasenkonjugierte Spiegel sind nichtlineare optische Spiegel, die die Strahlung nur ab einer bestimmten Leistungsdichte reflektieren. Beim phasen¬ konjugierten Spiegel konvergiert die reflektierte Welle und breitet sich entge-

gengesetzt oder "zeitumgekehrt" zur einfallenden Welle aus. Dies bedeutet, daß die Welle nicht dem Reflektionsgesetz ebener Spiegel gehorcht, sondern in sich selbst zurückläuft. Phasenstörungen in optischen Systemen können mit Hilfe von Phasenkonjugatoren kompensiert werden, in dem das optische System zweifach in entgegengesetzten Richtungen durchlaufen wird. Bei einem phasenkonjugierenden Spiegel sind die Wellenfronten der einfallen¬ den und der reflektierten Welle gleich, aber die Ausbreitungsrichtung ist an je¬ der Stelle der Wellenfront umgekehrt. Die in einem Tunnelstapel entstehende Mikrowelienstrahlung wird von einem Phasenkonjugator in den Stapel zu- rückreflektiert. Die stattfindende Interferenz des Resonatorsystems führt zu der angestrebten monochromatischen Welle, die dann aus dem Strahlengang ausgekoppelt wird. Die Phasenkonjugation führt zu einer Verdopplung der ef¬ fektiven Verstärkerlänge bei gleichzeitiger Elimination von Phasenstörungen im Tunnelstapel. Zusätzlich ergibt sich eine verringerte Empfindlichkeit gegen- über möglichen Dejustieruπgen der Spiegel. Phasenkonjugatoren ermögli¬ chen linsenlose Abbildungen.

Die Länge eines Resonatorsystems für Tunnelstapel muß wegen der sich än¬ dernden Arbeitswellenlängen des Tunnelstapelsystems flexibel sein und darf nicht behindert werden. Es ist daher eine automatische Längenanpassung des Resonatorsystems an die jeweiligen Erfordernisse notwendig, wozu sich die Piezo-Technik anbietet. In Fig. 11 ist ein Tunnelstapel, der sich auf einem ausgewählten Substrat befindet, im Resonator dargestellt. In diesem Substrat¬ quader sind alle Steckverbindungen vorgefertigt. Der Substratquader kann Ausdehnungen mit mehreren cm Seitenlänge und einer Dicke von mehreren mm bis mehreren cm aufweisen. Für die Resonatorversion des Tunnelstapel¬ systems bietet es sich an, den beweglichen Spiegel der am Ende eines

Piezo-Systems - bevorzugt eines Piezo-Stapelsystems - angeordnet ist, mit dem ganzen Piezo-Positioniersystem in den Substratquader einzubauen. Das Piezo-Mikropositioniersystem muß eine eigene Spannungsversorgung ha¬ ben, und es muß für Präzisionspositionierungen in der Größenordnungen von Bruchteilen einer Atomlage Genauigkeit aufweisen. Die Länge des Piezo- Stapels ändert sich mit der Spannung bis zu einem Maximalwert der material¬ spezifischen Ausdehnung. Die Längenänderungen erfolgen in Mikrosekun- den und schneller. Für ein mm ist eine Spannung von etwa 200 V erforderlich. Wegen der hohen Spannung, die bei mehreren tausend Volt liegen kann, wenn die Piezo sich um einige mm strecken oder sich zusammenziehen sol¬ len, wird die supraleitende Abschirmung erforderlich. Der Piezo-Stapel wird dazu mit supraleitendem Material eingekapselt.

Wenn eine Phasenkonjugation auf der Basis einer Vierwellenmischung vor- gesehen ist, erfordert dies eine zweite Mikrowellenquelle. Sie wird durch einen zweiten Tunnelstapel mit gleicher Spezifikation auf der dem Signal entgegengesetzten Seite realisiert. Die Reihenfolge ist dann: Piezo-Stapel - Tunnelstapel zur Erzeugung einer Vergleichswelle - nicht linearer Kristall - Tunnelstapel zur Erzeugung der Signalwelle und zum Auslesen der phasen- konjugierten Welle - einseitig wirkenden halbdurchlässiger Spiegel. Ein spe¬ zifischer Tunnelstapel, der speziell für den Anwendungsfall optimiert sein kann, befindet sich auf der Oberfläche des Substratquaders der eigentlichen Substratfläche. Der Tunnelstapel hat die Ausdehnung einer Folie. Auf seiner Oberfläche und in Strahlungsrichtung befindet sich der zweite Resonatorspie- gel. Für den zweiten Spiegel können die Vorteile supraleitender Spiegel ge¬ nutzt werden. Er muß einseitig halbdurchlässig spiegelnd wirken und zwar nur nach innen zurück in den Tunnelstapel.

Für ein Resonatorsystem für die Feldaπordnung vieler Tunnelstapel auf einer kleinen Fläche bieten sich drei Lösungswege an.

1. Ein beweglicher Spiegel für alle Tunnelstapel im Substrat und ein fest an- geordneter oder beweglicher zweiter Spiegel für alle Tunnelstapel am gegen¬ überliegenden Ende der Tunnelstapel (Separatanbringung), die Tunnelstapel sind frei im Resonatorsystem).

2. Der zweite Spiegel wird individuell am Ende jedes Tunnelstapels ange¬ ordnet und 3. für jeden Tunnelstapel wird ein eigenes Mikropositioniersystem vorgese¬ hen, vorzugsweise als letzte Schicht auf dem Tunnelstapel.

Bei der Lösung gemäß 1. kann man mit einem beweglichen Spiegel alle Tun¬ nelstapel bedienen, wobei der unbewegliche bzw. bewegliche zweite Spiegel ebenfalls ein größerer Spiegel sein könnte, der wiederum für alle Tunnelsta¬ pel zuständig und gegebenenfalls gesondert einzubauen wäre. Auch wenn dieser zweite Spiegel für jeden Stapel individuell am Ende des Stapels gefer¬ tigt würde, müssen alle Tunnelstapel bei dieser Version jeweils mit der glei¬ chen Wellenlänge arbeiten.

Gemäß der Lösung 3, die die größtmögliche physikalische Flexibilität eines Tunnelstapelresonatorfeldes zu erreichen ermöglicht, muß jeder Tunnelstapel sein eigenes Mikropositioniersystem erhalten, das dann dem gesamten Sy¬ stem erlaubt, beliebige Kombination kohärenter monochromatischer Strahlen zusammenzustellen. Der einzelne Tunnelstapel darf nur mit jeweils einer Wel¬ lenlänge arbeiten. Die mit Hilfe vieler Tunnelstapel gewählte Kombination mit verschiedenen Wellenlängen kann dann von jedem Tunnelstapel individuell

gleichzeitig gesendet werden.

Ein Piezo-Element oder ein Piezo-Stapel weist Ausdehnungen in der Größen¬ ordnung Millimeter in der Länge und Mikrometer im Durchmesser auf. Das Piezo-Stapelsystem ist damit viel länger als ein Tunnelstapel, dessen Durch¬ messer und dessen Länge bei Mikrometern liegen. Mit zunehmender Länge des Piezo-Stapels wächst auch die Längenausdehnung. Der Durchmesser des Piezostapels und des Spiegels muß in etwa mit dem Durchmesser des je¬ weiligen Tunnelstapels übereinstimmen.

Das ganze Piezo-Spiegelsystem wird in einem Substratquader eingebaut, wobei für die Bewegung der Spiegel ausreichend Leerraum zwischen Stapel und Substratfläche vorgesehen werden muß. Die Substratfläche muß so be¬ züglich ihres Materials ausgewählt und in ihrer Geometrie ausgelegt werden, daß sie durchlässig für eine Strahlung, bevorzugt im Infrarot- und Millimeter¬ spektrum, ist. Das stabilisierende Isoliermaterial im Raum zwischen den Piezo-Stapeln darf die Arbeit der Stapel nicht behindern. Die Piezos müssen sich ungehindert strecken und zusammenziehen können. Dies könnte bei¬ spielsweise mit Substratmaterial geschehen, das dann ebenfalls Ebene für Ebene mitentstehen müßte.

Auf der Aussenseite der Substratfläche befindet sich dann der Tunnelstapel oder das Tunnelstapelfeld mit jeweils dem zweiten Spiegel soll als Auskoppe¬ lungsspiegel für die von aussen kommende Strahlung durchlässig sein, was nach dem Prinzip einseitig durchlässiger Fenster erfolgt.

Der neue kohärente Strahler hat Strahlungseigenschaften wie Lasersysteme,

dehnt sie aber über das ganze Spektralgebiet aus. Wegen seiner gegenüber dem Lasersystem freien Wahl der Wellenlänge bzw. der Frequenz, lassen sich die Strahler beispielsweise für medizinische, biologische und chemische Anwendungen einsetzen. Zum Einsatzgebiet gehört auch die Holographie und die holographische Interferometrie, wobei unter holographischer Interfe- rometrie Bilder von Objekten verstanden werden, die von solchen Interferenz¬ streifen durchzogen sind, die Linien konstanten Abstandes zwischen zwei Zu¬ ständen der Objekte entsprechen. Die holographische Interferometrie dient zur Schwingungsanalyse, zur Materialüberprüfung und zur Untersuchung der Gestaltsänderung von Werkstücken, die z.B. Temperatur und/oder Druckände¬ rung unterworfen werden. Ein Einzelstrahler kann Bauelement anderer Geräte sein. Wenn chemische Veränderungen durch präzise Energiezufuhr und prä¬ zise Resonanzbedingungen durchgeführt werden, wäre es wünschenswert, diesen komplexen chemischen Prozeß mit einer beliebigen Summe indivi- duell verschiedener Strahlungsenergien und Resonanzbedingungen zeit¬ gleich zu modulieren, was durch ein Tunnelstapelresonatorfeld möglich ist, das ebenfalls Bauelement anderer Geräte sein kann.

In Fig. 13 ist das Schema einer Vorrichtung zur Mikropositionierung innerhalb lebender Zellen, im folgenden auch als supraleitungselektronische Strahlen¬ pinzette bezeichnet, dargelegt. Die Bezugszeichen 1 bis 11 haben die bei Fig. 10 erläuterte Bedeutung. Ferner weist die Strahlenpinzette einzel¬ schwenkbare kohärente supraleitungselektronische Strahler 16 auf, deren Strahlen 17 in einer Zelle 18 stehende Wellen 19 induzieren. Die stehenden Wellen 17 positionieren Zellorganellen im Inneren einer lebenden Zelle, wo¬ bei deren Minima und Maxima ortsfest sind.

Die supraleitungselektronische Strahlenpinzette besteht somit im wesent¬ lichen aus einem supraleitungselektronischen Strahler für monochromatische und kohärente Wellen. Die durch den Tunnelstapel mögliche hohe Flexibilität gewährleistet es, daß sie auf allen Wellenlängen präzise arbeiten kann. Damit können auch analytische und diagnostische Hilfen des supraleitenden Sende- und Empfangssystems Mikroarbeiten in einer geschlossenen Zelle durch ständige Rückkopplung mit aktuellen Meßergebnissen unterstützen. Individuell justierbar stehende Wellen in einer Gruppe zusammengefaßt als Strahlenpinzette dienen, wie schon erwähnt, beispielsweise zum Positionie- ren von Zellorganellen. Eine supraleitungselektronische Strahlenpinzette be¬ steht aus folgenden Baugruppen: mehrere Substratquader in sphärischer Anordnung mit einem Fels supraleitungselektronischer kohärenter Strahler, Präzisionsjustiervorrichtungen für die Strahler, elektronische Steuerung zur Bedienung der Tunnelstapel, elektronische Steuerung zur Bedienung der Piezo-Stapel, supraleitende Schirme gegen Störfelder und Montagehaltern mit Versorgungsleitungen (Steuer- und Signalleitungen; siehe auch die Schaltschemata in Fig. 11 und 12).

Mehrere Bausätze, die unter verschiedenen Winkeln positioniert sind bilden eine arbeitsfähige Strahlenpinzette, mit der dann von mehreren Seiten und aus unterschiedlichen Winkeln Mikropositionierungen vorgenommen werden können. Die Steuerung der Strahlenpinzette muß stehende Wellen in der zu bearbeitenden Zelle herbeiführen, aufrechterhalten und im Sinne der Positio¬ nierarbeiten steuern.

Die Erfindung kann auch für Quanteninterferenzgeräte (SQUID) eingesetzt werden. SQUID ist die Abkürzung für super conducting quantum interferenz

devices. Die Funktion der SQUIDS beruht auf dem Josephson-Effekt. Joseph- son-Elemente unterbrechen einen supraleitenden Ring, in dem ein Supra- strom induziert wird.

Eine supraleitende Schleife, die durch einen Tunnelkontakt unterbrochen ist, heißt RF-SQUID. Eine supraleitende Schleife, die symmetrisch durch zwei Tuπnelkontakte unterbrochen ist, heißt DC-SQUID. Eine SQIUD-Anlage bietet eine Empfindlichkeit zur Messung magnetischer Felder, die sechzehn Grös- senordnungen der magnetischen Feldgröße umfaßt. Die Nachweisgrenze für die Feldgrenze liegt bei 10 ^{"1 5} Tesla, was die Messung kleinster Feldunter¬ schiede und kleinster Feldstärken ermöglicht. Anwendungen solcher SQUID- Systeme sind deshalb extrem schwache Magnetfelder, wie sie in der Medizin, in der Altlastauffindung und in der Lagerstättensuche auftreten.

Wenn auf einen supraleitenden Ring ein elektromagnetisches Feld einwirkt, wird in dem Ring ein Suprastrom erzeugt. Das Feld dringt mit einer bestimm¬ ten Tiefe in den Supraleiter ein, und ab einer bestimmten Feldstärke wird die Supraleitung zerstört. Wird der Ring durch einen supraleitenden Tunnel¬ kontakt unterbrochen, wird wegen des viel kleineren kritischen Stroms des Tunnelkontaktes, der kritische Strom erreicht und die Kontaktstelle wird nor¬ malleitend, das heißt der Stromfluß im Ring wird unterbrochen. Der durch ein Tunnelelement fließende Suprastrom induziert in den supraleitenden Steuer¬ schichten, die sich zwischen den supraleitenden Tunnelschichten befinden, eine Spannung, so daß die Steuerschichten die Aufgabe der Induktionsspule zum Auskoppeln der Signalspannung übernehmen. Wenn sich n Tunnelele¬ mente in einem Stapel befinden, dann wird in n Tunnelelementen bei jedem Stromfluß der Tunnelstrom jeweils eine Spannung in den integrierten Steuer-

schichten induzieren. Durch Reihenschaltung der Steuerschichten im Stapel wird die Induktionsspannung entsprechend der Anzahl der Tunnelelemente summiert. Vorteilhafterweise wird die Anzahl der Tunnelelemente in einem Tunnelstapel so hoch gewählt, daß die konventionellen Vorverstärker über- flüssig werden. Weiterhin ist es möglich, eine oder mehrere Tunnelelemente in einem Tunnelstapel zur parametrischen Verstärkung des Signals noch im Ring zu schalten.

Fig. 14 zeigt ein Schema eines RF-SQUIDS auf Tunnelstapelbasis (mit zwei Tunnelelementen gemäß Fig. 1, alternativ können auch Tunnelelemente nach Fig. 2 oder nach Fig. 3, letztere mit oder ohne Promimity-Schichten P1.P2, ver¬ wendet werden) , wobei die Signalspannung U induktiv über die supraleiten¬ den seriell geschalteten Steuerschichten abgegriffen wird. In Fig. 15 ist ein Schema eines DC-SQUIDS auf Tunnelstapelbasis (mit jeweils zwei Tunnele- lementen gemäß Fig. 1 , alternativ können auch Tunnelelemente nach Fig. 2 oder nach Fig. 3, letztere mit oder ohne Promimity-Schichten P1.P2, verwen¬ det werden) mit jeweils zwei Tunnelelementen gemäß Fig. 1) dargestellt, bei dem die Signalspannung U seriell über die Tunnelspannung abgegriffen wird.

Das in Fig. 14 dargestellte RF-SQUID-System besteht aus einem supraleiten¬ den Ring, der durch einen Tunnelstapel unterbrochen ist. Die Signalspan¬ nung wird über die im Tunnelstapel vorhandenen supraleitenden Steuer¬ schichten in einer Reihenschaltung aufsummiert und dann der Signalverar¬ beitung zugeführt. Die Vorteile bei Verwendung des Tunnelstapels im RF- SQUID liegen in der Summierung der Signalspannung. Eine um drei bis vier Größenordnungen höhere Signalspannung benötigt keine aufwendige Ver¬ stärkerelektronik. Das wesentlich kompaktere RF-SQUID-System kann damit

für vielfältige Aufgaben gezielt angepaßt werden.

Das in Fig. 15 dargestellte DC-SQUID-System mit zwei symmetrisch angeord¬ neten Josephson-Tunnelelementen summiert bei einer Reihenschaltung aller Tunnelelemente im Stapel die Tunnelspannung. Durch Anlegen definierter Spannungen an die Steuerschichten beider Stapel können die beiden Tun¬ nelsysteme justiert werden. Die Tunnelstapel allein liefern um drei bis vier Größenordnungen größere Signalspannungen, wodurch eine aufwendige Verstärkerelektronik entfallen kann. Ein Tunnelstapel im RF-SQUID, bzw. zwei Tunnelstapel im DC-SQUID werden auf einem Substratquader mit Halterung vorgesehen. Der freie Ringteil befindet sich in Signalrichtung. Das ganze SQUID-System ist in einem Kryostaten angeordnet.

Die Empfindlichkeit derartiger supraleitungselektronischer Tunnelschaltungen ist so groß, daß Entfernungen zu den Zielen in einem Raumgebiet für auszu¬ führende Messungen um Größenordnungen höher ausfallen können. Es sei beispielsweise ein Geländeabschnitt mit einer bestimmten Länge und Breite vorgegeben. In unterschiedlicher Bodentiefe werden zu suchende Kör¬ per (Altlasten) vermutet. Zum Detektieren teilt man diesen Abschnitt in eine bestimmte Anzahl Streifenabschπitte ein, die man mit einem Bodenfahrzeug oder mit einem Fluggerät abfährt, bzw. abfliegt. Die Streifenbreite ist abhängig vom Gesichtsfeld und der Auflösung der Sensoranlage, die vorzugsweise mindestens der Fahrzeugbreite entspricht. Für den Aufbau eines bildgeben¬ den und identifizierungsfähigen Verfahrens muß der Feldsensor das zu unter- suchende Raumgebiet abtasten. Das jeweils darzustellende Gesichtsfeld der Bodenoberfläche könnte in ein Netz mit einer bestimmten Anzahl Zeilen ein¬ geteilt werden. Auf einer Zeile würde dann eine definiert Anzahl von Meß-

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punkten vorgesehen. Die Dichte des Netzes, das heißt die Dichte der Zeilen- meßpunkte und die Breitenabstände zwischen den Zeilen, würde als Funktion der Meßempfindlichkeit, der Größe der abzusuchenden Fläche und der auftre¬ tenden Entfernungen optimiert. Wenn ein einziger Sensor verwendet wird, muß er jedem Meßpunkt des zu untersuchenden Gebiets zugeführt werden. Das kann auf folgende Weisen erfolgen:

1. Man fährt mit dem Einzelsensor das Gebiet zeilenweise ab, wobei sich der Sensor nur horizontal bewegt. Das Verfahren liefert ein Rasterfeld mit den Da¬ ten über die Feldgrößen von Suchkörpern. Darüber hinaus können für die Meßgrößen, die zum gleichen Suchkörper gehören, mit trigonometrischen Verfahren Richtung und Entfernung zum Suchkörper bestimmt werden.

2. Man erweitert den Einzelsensor um zwei weitere Sensoren, wobei jeder Sensor mit seiner Ausrichtung in Richtung der drei Achsen des kartesischen Koordinatensystems ausgerichtet ist. Dann sind die Meßspannungen in den drei SQUID-Sensoren Funktionen der Winkel und haben die Information über die Richtung des Signals. So wird bei jedem Meßpunkt vorgegangen. Es ist auch möglich einen Einzelsensor durch seine Sensorfläche zu ersetzen, auf der zeilenmäßig SQUID-Sensoren angeordnet werden. Hierbei soll die Aus¬ dehnung der Sensorfiäche so groß sein, daß automatische Triangulations- rechnungen mit der geforderten Genauigkeit möglich sind, wozu Ausdehnun¬ gen von einigen Zentimetern bis zu etwa einem Meter erforderlich sein kön¬ nen. Die Belegungsdichte des SQUID-Feldes entscheidet über die Auflösung der Objekte.

Die zeilenmäßige Abtastung des Gebietes kann jetzt über eine Abtastung der Zeilenstruktur des SQUID-Feldes erfolgen. Auch hier könnten die Sensor¬ flächen auf drei erweitert werden, die dann wiederum in Richtung der drei

Achsen eines kartesischen Koordinatensystems ausgerichtet würden.

Für große Raumgebiete kann auch die Anordnung der SQUID-Felder auf einer Kugelfläche, z.B. einer Viertelkugel sinnvoll sein. Die Abtastung des Raumes könnte dann von räumlichen Polarkoordinaten ausgehen, die

SQUID-Feldern auf den Teilkugeloberflächen sind in ihren Abständen gleich¬ mäßig zu verteilen, wobei ihre Belegungsdichte wiederum entsprechend der angestrebten Auflösung vorgenommen wird. Die Meßdaten können dann, wie bei einem ebenen SQUID-Feldsystem, zeilenweise gelesen werden. Das Sensorsystem auf SQUID-Basis, das in ein angepaßtes Kühlsystem einge¬ baut sein muß, kann in einem transportfähigen Gerätebausatz montiert wer¬ den. Der Gerätebausatz weist eine eigene Erschütterungsisolierung sowie eine autonome Stromversorgung mit Batteriepufferung auf, die gegebenen¬ falls gegen Störungen gesichert ist. Statt auf einer Kugel können die SQUID- Systeme auch auf einem Rohrabschnitt angeordnet sein, z.B. zur Anwendung in der Medizin zur Aufnahme von Patienten.

Die Voraussetzungen für ein bildgesteuertes Verfahren zum Auffinden, Ver¬ messen und Untersuchen von Objekten auf der Basis der Messung magneti¬ scher Felder sind durch Angabe der Koordinaten der Meßpunkte im Raum und der dazugehörenden physikalischen Meßwerte erfüllt. Die Richtung der Felder und die Entfernung des Ursprunges der Felder, die von den Zielobjek¬ ten ausgehen, werden so genau wie mit keinem anderen Verfahren der Tech¬ nik gemessen. Die Meßsignale der Zielobjekte können dann unmittelbar für die Signalanalyse und für das bildgebende Verfahren verwendet werden. Mit dem bildgebenden Verfahren wird auch eine Entfernungsbestimmung und eine allgemeine Vermessung der Zielobjekte verknüpft. Durch Einführung eines Koordinaten-Systems können die Strukturen dann maßstabsgetreu

mit ihrer Orientierung im Raum abgebildet werden und erleichtern eine Identi¬ fizierung der Zielobjekte. Die digital anfallenden Signale werden durch eine supraleitende Digitaltechnik verarbeitet und ausgewertet.

Für medizinische Magnetfeldmessungen, beispielsweise am Herzen, kann die Feinstruktur innerhalb der Pulsintervalle, die Pulsbreite, das Pulswiederholin¬ tervall und Amplitudenschwankungen analysiert werden.

Mediziner könnten auch beispielsweise kleinste Narben am Herzen oder an- deren Organen sehen. Brückenbauer könnten feinste Risse in ihren Konstruk¬ tionen aufspüren.

Der Aufbau einer RF-SQUID-Feld-Anlage unterscheidet sich von einer supra¬ leitenden Kamera im wesentlichen dadurch, daß die Tunnelstapel mit Ringen versehen sind.

Um Winkel und Entfernung für jeden Meßpunkt bestimmen zu können, werden zwei jeweils senkrecht stehende RF-SQUID-Systeme zu einem SQUID-Feld zusammengeschaltet. Für die Winkelbestimmung reicht jeweils ein RF-SQUID aus. Je größer die Abstände zu den beiden Bezugs-RF-SQUID-Systemen sind, um so genauer werden die Winkel zu den einzelnen Meßpunkten erfaßt, und um so genauer sind die Entfernungen zu den Objekten.

Der Aufbau eines DC-SQUID-Achsen-Feldes ist schematisch in Fig. 16 darge- stellt. Eine DC-SQUID-Feld-Anlage mißt den Feldgradienten eines Gleichfel¬ des und ermöglicht unter anderem eine komfortable Bestimmung der Feldrich¬ tung.

Mehrere ineinanderliegende DC-SQUID-Elemente bilden eine DC-SQUID- Achse. Für die drei Achsen Länge, Breite, Höhe wird je eine DC-SQUID- Achse vorgesehen. Das innere DC-SQUID-Paar innerhalb einer Achse hat die kleinste, das äußere DC-SQUID-Paar hat die größte Meßdistanz. Gemes¬ sen wird der Potentialunterschied der elektromagnetischen Feldstärke. Die Messung mit drei Achse ermöglicht es, einzelne Quellen zu identifizieren und ihre Entfernung zu bestimmen.

Eine supraleitungselektronische Apparatur einer DC-SQUID-Feld-Anlage be¬ steht aus folgenden Baugruppen: einem Kryostaten, wobei der Dom für gan¬ ze Würfel gelten muß, drei DC-SQUID-Achsen auf einem Substratquader, ei¬ ner elektronischen Steuerung zur Bedienung der Tunnelstapel-SQUID-Schal- tungen, supraleitende Schirme gegen Störfelder und einem Montagehalter mit Versorgungsleitungen mit Steuer- und Signalleitungen.

Der Aufbau eines quantenmechanischen Interferenz-Systems ist als Schalt¬ schema in Fig. 17 dargestellt. Das quantenmechanische Interferenz-System besteht aus n parallel geschalteten Tunnelstapeln als Zeile. Dabei ist n jede ganze Zahl und kann mehr als tausend Stapel pro mm betragen. Eine 10 cm lange Zeile kann dann etwa eine Million Tunnelstapel enthalten. Diese Zeilen können mit Mikrometer-Abständen zu Tausenden wie ein optisches Gitter an¬ geordnet werden und bilden dann das quantenmechanische Interferenz- Sy¬ stem. Diese Interferenz-System ermöglicht die präzisesten Magnetfeldmes- sungen, die die Physik kennt.

Eine supraleitungselektronische Apparatur eines quantenmechanischen Inter-

ferenz-Systems besteht aus folgenden Baugruppen: einem Kryostaten, wobei der Dom für ganze Würfel gelten muß, einem bzw. mehreren Substratqua- der(n) mit einer zeilenweisen Anordnung von n Tunnelstapeln in Parallel¬ schaltung wie in Fig. 17 dargestellt, eine elektronische Steuerung zur Bedie- nung der Tunnelstapei-Interferenz-Schaltungen, supraleitende Schirme gegen Störfelder und Montagehaltern mit Versorgungsleitungen mit Steuer- und Signalleitungen.