Title:
層を形成する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015517170
Kind Code:
A
Abstract:
多くの薄膜用途において、層がその上に形成されることになる表面は、電気的に絶縁するものや導電するものもあるいくつかの異なる材料、および／またはいくつかの異なる微細構成を含み得る。そのような表面は表面の電荷効果に影響を及ぼし、それにより、荷電粒子を含む入来粒子ビームとの、異なった、かつおそらく未知の相互作用を引起こす可能性がある。現在利用されているプロセスは、電子ビームをイオンビームと組合せることによってビームを構成する荷電粒子を補償するにすぎず、それによりゼロの正味電荷を有することを求める。
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Inventors:
Pitcher, Philip George
Application Number:
JP2014555732A
Publication Date:
June 18, 2015
Filing Date:
February 01, 2013
Export Citation:
Assignee:
Seagate Technology LLC
International Classes:
H01J37/317; C23C14/00; H01J27/02; H01J37/08
Domestic Patent References:
| JPS62229100A | 1987-10-07 | |||
| JP2002289583A | 2002-10-04 | |||
| JPS62229100A | 1987-10-07 | |||
| JP2002289583A | 2002-10-04 | |||
| JP2008050670A | 2008-03-06 |
Foreign References:
| US6090456A | 2000-07-18 | |||
| US6090456A | 2000-07-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office