Title:
ドアに輸送用クッションが取り付けられたウェーハ容器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015517730
Kind Code:
A
Abstract:
大径ウェーハを搬送するための着脱式ウェーハクッションを備えたクッション付きウェーハ容器システム。前面開口と後壁のあるウェーハ容器収容部があって、この収容部に複数の挿入部が形成されたウェーハ支持部材が複数設けられており、ウェーハ収容部の前面開口に取り付けられるよう構成された前側と裏側のある前面ドアがあり、前面ドアの裏側の中央部に主ウェーハクッションが設けられており、この主ウェーハクッションに複数のウェーハ溝が形成され、この主ウェーハクッションの溝がそれぞれウェーハ支持部材の挿入部と一直線上に並んでおり、前面ドアの裏側に主ウェーハクッションと隣接させて取り付けることのできる第１の着脱式ウェーハクッションがあって、この第１の着脱式ウェーハクッションに溝および挿入部と一直線上に並ぶ複数のウェーハ受け溝が形成されている。
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Inventors:
Barry Gregerson
Application Number:
JP2015510512A
Publication Date:
June 22, 2015
Filing Date:
May 06, 2013
Export Citation:
Assignee:
Entegris Incorporated
International Classes:
H01L21/673; B65D85/86
Domestic Patent References:
| JP2011060994A | 2011-03-24 | |||
| JP2012004380A | 2012-01-05 | |||
| JP2000021966A | 2000-01-21 | |||
| JP2004304122A | 2004-10-28 | |||
| JP2011233934A | 2011-11-17 | |||
| JP2000159288A | 2000-06-13 |
Foreign References:
| US20070295638A1 | 2007-12-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Okada International Patent Office