Title:
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015534130
Kind Code:
A
Abstract:
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システムが、光積分器（７０）を備え、光積分器（７０）が、第１の光学ラスタプレート（７４）と第２の光学ラスタプレート（７６）とを含む。第１の光学ラスタプレート（７４）は、基準方向（Ｘ）に沿って第１の焦点距離ｆ1を有する第１のレンズ（７８）のアレイを備え、第２の光学ラスタプレート（７６）は、基準方向（Ｘ）に沿って第２の焦点距離ｆ2を有する第２のレンズ（８４）のアレイを備える。第１のレンズの頂点と第２のレンズの頂点が、第２の焦点距離ｆ2よりも大きい距離ｄだけ離隔され、ｄ＞１．０１・ｆ2である。これは、光積分器の照明のレーザポインティングまたは他の過渡的な変動が、光積分器（７０）によって照明される平面（９０）内の空間放射照度分布に悪影響を及ぼさないことを保証する。
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Inventors:
Patra Michael
Application Number:
JP2015538303A
Publication Date:
November 26, 2015
Filing Date:
October 27, 2012
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00
Domestic Patent References:
| JP2002040327A | 2002-02-06 | |||
| JP2000089684A | 2000-03-31 | |||
| JP2010192868A | 2010-09-02 | |||
| JP2009236819A | 2009-10-15 | |||
| JP2011091177A | 2011-05-06 | |||
| JP2011522289A | 2011-07-28 | |||
| JP2005292316A | 2005-10-20 |
Foreign References:
| WO2011039261A2 | 2011-04-07 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo