Title:
薄膜トランジスター及びその製作方法、表示装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016507905
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、薄膜トランジスターおよびその製作方法、表示装置を提供する。当該薄膜トランジスターは、ゲート電極（５０２）、ゲート絶縁層（５０３）、活性層（５０４）、オーミックコンタクト層（５０５ａ−１，５０５ａ−２，５０５ａ−３）、ソース電極（５０７ａ）及びドレイン電極（５０７ｂ）を備え、前記ソース電極（５０７ａ）とドレイン電極（５０７ｂ）が前記オーミックコンタクト層（５０５ａ−１，５０５ａ−２，５０５ａ−３）を介して前記活性層（５０４）に接続され、前記オーミックコンタクト層（５０５ａ−１，５０５ａ−２，５０５ａ−３）が前記活性層（５０４）の側面に位置し、且つ、前記活性層（５０４）の側面に接触されている。
Inventors:
Shoei
Army
王 ▲東▼方
Go Hiro
Army
王 ▲東▼方
Go Hiro
Application Number:
JP2015557319A
Publication Date:
March 10, 2016
Filing Date:
October 29, 2013
Export Citation:
Assignee:
BOE TECHNOLOGY GROUP CO.,LTD.
International Classes:
H01L29/786; H01L21/28; H01L21/336; H01L29/417
Domestic Patent References:
| JP2003203926A | 2003-07-18 | |||
| JP2000323714A | 2000-11-24 | |||
| JPH10173192A | 1998-06-26 | |||
| JP2001284592A | 2001-10-12 | |||
| JPS64500551A | ||||
| JPS63182863A | 1988-07-28 | |||
| JP2004297011A | 2004-10-21 | |||
| JP2010028103A | 2010-02-04 | |||
| JPH04233512A | 1992-08-21 | |||
| JP2005333118A | 2005-12-02 | |||
| JP2006237593A | 2006-09-07 |
Foreign References:
| WO2012039272A1 | 2012-03-29 | |||
| WO2009086105A1 | 2009-07-09 | |||
| US20070296333A1 | 2007-12-27 | |||
| US20050099551A1 | 2005-05-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Takashi Watanabe
Shinya Mitsuhiro
Takashi Watanabe
Shinya Mitsuhiro