Title:
電子または光リソグラフィ用の任意形状の分割方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016507906
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、所望パターンが直線または曲線の形状である場合に表面を複数の基本特徴（７２０ａ）に分割するコンピュータ実装された方法を開示する。所望パターンに応じて、重なりの無い、または重なりの有る第１の分割を実行する。所望パターンが解像度の限界にある場合、ｅＲＩＦ（７３０ａ）を用いて第２の分割ステップを実行することが有利であろう。これらのｅＲＩＦは、所望パターンのエッジまたは中間軸（７１０ａ）あるいは骨格上に配置されている。本発明は更に、第１および第２の分割ステップに用いる基本特徴の位置および形状を画定する方法ステップを開示する。
Inventors:
Charles Tiffine
Caglio, thomas
Martin, Backpack
Caglio, thomas
Martin, Backpack
Application Number:
JP2015558359A
Publication Date:
March 10, 2016
Filing Date:
February 27, 2013
Export Citation:
Assignee:
Aserta nano graphics
International Classes:
H01L21/027; H01J37/305
Domestic Patent References:
| JP2006126823A | 2006-05-18 | |||
| JP2009001403A | 2009-01-08 | |||
| JP2002367901A | 2002-12-20 | |||
| JP2010062562A | 2010-03-18 | |||
| JPH05175107A | 1993-07-13 | |||
| JP2012501475A | 2012-01-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Kawaguchi International Patent Office