Title:
マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017507355
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、光パルス（４２−１から４２−３，４２−１，４２−２，５２−１，５２−２）のシーケンスを生成するように設計された光源（ＬＳ；ＬＳ１，ＬＳ２）を含むマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系（１２）に関する。更に、照明系は、２つの切換位置の間でデジタル式に切り換えることができる光学要素（３２）のアレイ（２８）を含む。制御デバイス（３４）は、光学要素（３２）を光学要素がその切換位置を２つの連続光パルス間でのみ変化させ、かつ光パルス中にその切換位置を維持するように制御する。【選択図】図３
Inventors:
Degunter Marx
Davidenko Vladimir
Kolb Thomas
Eisenmenger Johannes
Davidenko Vladimir
Kolb Thomas
Eisenmenger Johannes
Application Number:
JP2016553306A
Publication Date:
March 16, 2017
Filing Date:
February 10, 2015
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B5/08
Domestic Patent References:
| JP2009272624A | 2009-11-19 | |||
| JP2013210517A | 2013-10-10 | |||
| JP2008182115A | 2008-08-07 | |||
| JP2006191063A | 2006-07-20 | |||
| JP2009152607A | 2009-07-09 | |||
| JP2008306186A | 2008-12-18 |
Foreign References:
| US20080304034A1 | 2008-12-11 | |||
| US20090279066A1 | 2009-11-12 | |||
| US20090280441A1 | 2009-11-12 | |||
| US20090190197A1 | 2009-07-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi