レーザの帯域幅を縮小するためのシステムと方法およびレーザを用いた検査システムと方法

Title:

レーザの帯域幅を縮小するためのシステムと方法およびレーザを用いた検査システムと方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2017509923

Kind Code:

A

Abstract:

ＤＵＶレーザは、エタロン等の光学帯域幅フィルタ装置を含み、これは基本レーザのレーザ発振キャビティの外に配置され、１つの波長範囲を周波数変換連鎖の一部に、また別の波長範囲を周波数変換列の別の部分に誘導し、それによって周波数変換連鎖の変換効率を高く保ちながら、ＤＵＶレーザ出力の帯域幅を縮小する。

Inventors:

Den Eugene
Chang Yun-Ho Alex
Fielden John

Application Number:

JP2016557881A

Publication Date:

April 06, 2017

Filing Date:

March 19, 2015

Export Citation:

Assignee:

KLA-Tenker Corporation

International Classes:

G02F1/39; G01N21/956; G02F1/35; H01S3/00; H01S3/067; H01S3/30

Domestic Patent References:

Foreign References:

Attorney, Agent or Firm:

Patent Corporation yki International Patent Office

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