Title:
光学構成要素
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017509922
Kind Code:
A
Abstract:
投影露光装置のための光学構成要素（２３）は、瞳ファセットとして機能する多数の可変位置決め可能ビーム案内要素（２４）を含む。光学構成要素（２３）は、投影光学ユニットのビーム経路に配置することができる。【選択図】図３
Inventors:
Patra Michael
Degunter Marx
Buttner Paul
Hinter Villi
Bittinger Henner
Degunter Marx
Buttner Paul
Hinter Villi
Bittinger Henner
Application Number:
JP2016557246A
Publication Date:
April 06, 2017
Filing Date:
March 11, 2015
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B7/198
Domestic Patent References:
| JP2008135743A | 2008-06-12 | |||
| JP2004128449A | 2004-04-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi