Title:
ナノチューブを堆積するための装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017520675
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は例えばナノチューブ又はグラフェン形態の層である炭素質構造を、プロセスチャンバハウジング19内に配置された基板キャリア１により支持された基板6上に堆積するための装置に関し、プロセスチャンバハウジング１９に配置されたガス入口部材24,25のガス送出孔39を通してプロセスガスを少なくとも１つの基板6の方向に供給可能である。機能的に有利な変更として本発明では、プロセスチャンバハウジング19が保持凹部34,35,36,37,38を具備する２つの対向する壁48,48'を有する。少なくとも１つの板状部材24,25,26,30,31がプロセスチャンバハウジング19内に配置され、それらの板状部材は２つの互いに反対側の縁部を具備し、各々が２つの壁48,48'の保持凹部34〜38に挿入される。【選択図】図１
Inventors:
Joe Bray, Alexandre
Rippton, David Eric
Theo, Kenneth Bee Kay
Loupe Singhe, Narin El
Rippton, David Eric
Theo, Kenneth Bee Kay
Loupe Singhe, Narin El
Application Number:
JP2016558373A
Publication Date:
July 27, 2017
Filing Date:
March 19, 2015
Export Citation:
Assignee:
Ixtron, S.E.
International Classes:
C23C16/44; C01B32/152; C01B32/158; C23C16/26
Domestic Patent References:
| JP2012036022A | 2012-02-23 | |||
| JP2005126257A | 2005-05-19 | |||
| JP2014011178A | 2014-01-20 | |||
| JP2013100205A | 2013-05-23 | |||
| JPH09326366A | 1997-12-16 |
Foreign References:
| KR20130098664A | 2013-09-05 | |||
| WO2013161819A1 | 2013-10-31 |
Attorney, Agent or Firm:
Takashiro Kojima
Noriko Kawai
Noriko Kawai