Title:
被検査物上の関心対象領域の座標決定
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017529684
Kind Code:
A
Abstract:
被検査物上の関心対象領域の座標を決定する方法とシステムが提供される。１つのシステムは、１つまたは複数のコンピュータサブシステムを含み、これは、検査されている被検査物上の関心対象領域について、関心対象領域の最も近くにある１つまたは複数のターゲットを特定するように構成される。コンピュータサブシステムはまた、１つまたは複数のターゲットの１つまたは複数の画像をその被検査物の基準と整列させるように構成される。ターゲットの画像と検査対象領域の画像は、検査中に検査サブシステムにより取得される。コンピュータサブシステムはさらに、ターゲットの画像と基準との間のずれを整列の結果に基づいて判断し、関心対象領域の修正後の座標を、ずれと、検査サブシステムにより検出された関心対象領域の座標に基づいて決定するように構成される。
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Inventors:
Duffy Bryan
Leneck michael
Lee Chen Ho
Leneck michael
Lee Chen Ho
Application Number:
JP2017503102A
Publication Date:
October 05, 2017
Filing Date:
July 22, 2015
Export Citation:
Assignee:
KLA-Tenker Corporation
International Classes:
H01L21/66; G01N21/956; G06T1/00
Domestic Patent References:
| JP2008041940A | 2008-02-21 | |||
| JP2003243466A | 2003-08-29 | |||
| JP2013531880A | 2013-08-08 | |||
| JP2013058508A | 2013-03-28 |
Foreign References:
| US20130064442A1 | 2013-03-14 | |||
| US20140105482A1 | 2014-04-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office