Title:
光学的干渉計用ミラープレート、ミラープレートの製造方法及び光学的干渉計
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018508826
Kind Code:
A
Abstract:
ファブリ・ペロー干渉計（３００）用のミラープレート（１００）は、シリコン（Ｓｉ）を含む基板（５０）と、基板（５０）上に実装された半透明反射コーティング（１１０）と、基板（５０）上に形成されたデカップリング構造（ＤＣ１）と、デカップリング構造（ＤＣ１）の上面に形成された第１のセンサ電極（Ｇ１ａ）と、第２のセンサ電極（Ｇ１ｂ）と、を備え、デカップリング構造（ＤＣ１）は、電気絶縁層（６０ａ）、及び第１のセンサ電極（Ｇ１ａ）と基板（５０）との間に配置された第１の安定化電極（Ｇ０ａ）を含む。【選択図】図１
Inventors:
Valpora Arpo
Holmundo Christel
Lyssanen Ana
Holmundo Christel
Lyssanen Ana
Application Number:
JP2017544031A
Publication Date:
March 29, 2018
Filing Date:
December 18, 2015
Export Citation:
Assignee:
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
International Classes:
G02B26/00; B81B3/00; G01B9/02; G01N21/45
Attorney, Agent or Firm:
Fumio Takino
Toshiaki Tsuda
Masashi Torino
Yasuhiro Fukuda
Toshiaki Tsuda
Masashi Torino
Yasuhiro Fukuda