Title:
幾何学的結像誤差の決定および補償のための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018526667
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、顕微鏡的結像システムによる、逐次的なシングルスポットまたはマルチスポットの走査による物体の結像の間に発生する幾何学的結像誤差の決定および補償のための方法に関する。方法は、定義された平面構造を持つ基準物体を確立する方法ステップと、幾何学的結像誤差のないこの構造の電子的像データセットを生成する方法ステップと、結像システムによって少なくとも１つの電子的実像データセットを生成する方法ステップと、各場合において、実像データセットと、基準像データセットとを、原点として物体の同じ位置を持つ画素の位置に関して比較する方法ステップと、基準像データセットに対する実像データセットにおける位置偏差を決定する方法ステップと、決定された位置偏差を補正データとして保存する方法ステップと、補正データを参照して、実像データセットにおける位置偏差の補正により、幾何学的結像誤差を補償する方法ステップとを備える。
Inventors:
Anfoot, Teemo
Kaofholt, Tobias
Schwet, Daniel
Roscher, Burghard
Krem, Frank
Hase, Daniel
Kaofholt, Tobias
Schwet, Daniel
Roscher, Burghard
Krem, Frank
Hase, Daniel
Application Number:
JP2017564855A
Publication Date:
September 13, 2018
Filing Date:
June 03, 2016
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss Microscopy GmbH
International Classes:
G02B21/36; G02B21/06
Domestic Patent References:
| JP2005115072A | 2005-04-28 | |||
| JP2006031008A | 2006-02-02 | |||
| JP2015513671A | 2015-05-14 | |||
| JP2005308974A | 2005-11-04 | |||
| JP2015511028A | 2015-04-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Michiharu Soga
Kajinami order
Ichiro Oi
Kanayama Asuka
Kajinami order
Ichiro Oi
Kanayama Asuka