Title:
金属組成物及びその製法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018526668
Kind Code:
A
Abstract:
本願の開示は、酸性化精製水により不純物を低減することによって、精製金属含有ユニットを形成する方法に係る。他の具体例は、精製金属含有ユニットを含んでなる組成物である。さらに他の具体例は、基板上に、精製金属含有ユニットを含んでなる組成物をデポジットし、精製金属含有ユニットを含んでなるフィルムを乾燥し、精製金属含有ユニットを含んでなるフィルムを化学線源に露光し、及びパターンを基板に転写することによって、パターン化基板を形成する方法である。開示された具体例は、精製金属含有ユニットを含んでなるフィルムから、直接的又は間接的パターン転移によるパターン化基板の製造に有益である。【選択図】 図１
Inventors:
Dirocker stephanie
Schwab Joseph J.
Schwab Joseph J.
Application Number:
JP2017568065A
Publication Date:
September 13, 2018
Filing Date:
September 29, 2015
Export Citation:
Assignee:
PRYOG,LLC
International Classes:
G03F7/027; G03F7/11; G03F7/26; G03F7/40
Domestic Patent References:
| JP2011530652A | 2011-12-22 | |||
| JP2015514691A | 2015-05-21 | |||
| JPH06102668A | 1994-04-15 | |||
| JP2011207693A | 2011-10-20 | |||
| JP2008503331A | 2008-02-07 | |||
| JPH07507082A | 1995-08-03 | |||
| JP2015108781A | 2015-06-11 | |||
| JPH10508660A | 1998-08-25 | |||
| JP2004528181A | 2004-09-16 | |||
| JP2012145897A | 2012-08-02 | |||
| JP2008163152A | 2008-07-17 |
Foreign References:
| US20080045682A1 | 2008-02-21 | |||
| US3885076A | 1975-05-20 | |||
| US8007989B1 | 2011-08-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Katsuzo Asakura