Title:
リソグラフィ装置用基板テーブル、および基板の装填方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018533763
Kind Code:
A
Abstract:
リソグラフィ装置用基板テーブルは、第一基板支持面を画定する、複数の第一突出部と、第二基板支持面を画定する、複数の第二突出部とを含む。基板テーブルは、基板にクランプ力を及ぼすように構成されたクランプデバイスを更に含む。第二基板支持面は、第一基板支持面に平行である。第二基板支持面は、第一基板支持面と第二基板支持面とに直交する方向に、第一基板支持面に対してずらされている。リソグラフィ装置用基板テーブルは、クランプデバイスによりクランプ力を加える前に第二基板支持面における第二突出部上に基板を支持するように構成される。第二突出部は、クランプデバイスにより基板にクランプ力を加えると変形するように構成され、それにより、クランプデバイスにより基板がクランプされたときに基板を第二基板支持面から第一基板支持面に移動させる。【選択図】図２Ａ
Inventors:
Valefi, Mahdia
Rafare, Raymond, Wilhelms, Lewis
Rafare, Raymond, Wilhelms, Lewis
Application Number:
JP2018518722A
Publication Date:
November 15, 2018
Filing Date:
September 28, 2016
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; H01L21/683
Domestic Patent References:
| JPH0414239A | 1992-01-20 | |||
| JP2004228453A | 2004-08-12 | |||
| JPH10242255A | 1998-09-11 | |||
| JP2007273693A | 2007-10-18 | |||
| JP2005032977A | 2005-02-03 | |||
| JPH0312948A | 1991-01-21 | |||
| JP2005228978A | 2005-08-25 | |||
| JP2006339347A | 2006-12-14 | |||
| JP2007207842A | 2007-08-16 | |||
| JPS59195826A | 1984-11-07 | |||
| JPS6426648U | 1989-02-15 | |||
| JP2012079829A | 2012-04-19 | |||
| JP2010515258A | 2010-05-06 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito