Title:
感光性樹脂組成物及びそれから調製される硬化膜
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018533764
Kind Code:
A
Abstract:
感光性樹脂組成物及びそれから調製される硬化膜が本明細書に開示される。本感光性樹脂組成物は、シロキサンポリマー、１，２−キノンジアジド化合物、エポキシ化合物、及び式１で表される少なくとも１つのシラン化合物を含む。シラン化合物は、本樹脂組成物中のエポキシ化合物と共に、シロキサンポリマー中に存在する高反応性のシラノール基の数をさらに減少させる。その結果、後処理で使用される化学薬品に対する耐性（耐薬品性）が最大化されて、優れた安定性を有する硬化膜を提供することができる。【選択図】なし
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Inventors:
Jin Kwon
Kung Ho
John-Ho Na
John Han Yang
Kung Ho
John-Ho Na
John Han Yang
Application Number:
JP2018518724A
Publication Date:
November 15, 2018
Filing Date:
September 23, 2016
Export Citation:
Assignee:
Rohm and Haas Electronic Materials Korea Limited
International Classes:
G03F7/075; G03F7/004; G03F7/023
Domestic Patent References:
| JP2014178672A | 2014-09-25 | |||
| JP2010170082A | 2010-08-05 | |||
| JP2015094898A | 2015-05-18 | |||
| JP2015069172A | 2015-04-13 | |||
| JP2009204805A | 2009-09-10 | |||
| JP2010134388A | 2010-06-17 |
Foreign References:
| WO2005098539A1 | 2005-10-20 | |||
| WO2012029734A1 | 2012-03-08 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Sender International Patent Office