Title:
金属板、蒸着用マスクおよびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019507829
Kind Code:
A
Abstract:
実施例による蒸着用マスクの製作に使用される金属板において、前記金属板は、前記金属板の表面から１μｍ以下の厚さ範囲で定義される外部層；および前記外部層以外の内部層；を含み、前記外部層のエッチング速度は、前記内部層のエッチング速度より遅く、ＦｅＣｌ３を３５ないし４５重量％含んだエッチング液で４５℃で行われたエッチング条件で測定した、前記外部層のエッチング速度は、０．０３μｍ／ｓｅｃ以下であり、前記内部層のエッチング速度は、０．０３ないし０．０５μｍ／ｓｅｃであることを含む。【選択図】図５
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Inventors:
Han, Tae Hoon
Kim, Nam Ho
Gonho
Pak, Chessok
Lee, Sambom
Kim, Nam Ho
Gonho
Pak, Chessok
Lee, Sambom
Application Number:
JP2018542774A
Publication Date:
March 22, 2019
Filing Date:
January 31, 2017
Export Citation:
Assignee:
LG Innotek Co., Ltd
International Classes:
C23C14/04; C23F1/00; C23F1/02; C23F1/28; H01L51/50; H05B33/10
Domestic Patent References:
| JP2015168847A | 2015-09-28 | |||
| JPS60200985A | 1985-10-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Makoto Ono
Kenkyo Kanayama
Kazuki Shigemori
Kenji Ando
Hidehiko Ichikawa
Takahiro Aoki
Yoshie Sakurada
Yousuke Kawasaki
Takuya Gomibuchi
Toshikazu Imato
Yoichi Iino
Yusuke Ichikawa
Masahiro Moriyama
Yoshikazu Iwase
Kenkyo Kanayama
Kazuki Shigemori
Kenji Ando
Hidehiko Ichikawa
Takahiro Aoki
Yoshie Sakurada
Yousuke Kawasaki
Takuya Gomibuchi
Toshikazu Imato
Yoichi Iino
Yusuke Ichikawa
Masahiro Moriyama
Yoshikazu Iwase